Хеморезистивный газовый сенсор и способ его изготовления
Газовый сенсор
Изобретение относится к области газового анализа, сенсорной технике, а более конкретно к детектирующим устройствам для определения концентрации различных газов, в том числе токсичных и взрывоопасных. Задачей изобретения является создание газового сенсора с повышенной чувствительностью.	Газовый сенсор содержит диэлектрическую подложку с измерительными электродами, расположенными на одной стороне подложки, причем их контактные площадки выполнены с возможностью соединения с измерительным прибором с помощью контактных проводников, и металлическим нагревателем, выполненным с возможностью обеспечения равномерного нагрева по всей поверхности подложки, расположенным на другой стороне подложки, а поверхность подложки, содержащая электроды, покрыта газочувствительным слоем
в детектирующих устройствах для определения концентрации различных газов, в том числе токсичных и взрывоопасных.
Светлана
Налимова
Сергеевна
доцент кафедры микро- и наноэлектроники
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
-
-
РОССИЯ
Виктор
Тупик
Анатольевич
Проректор по научной работе
РОССИЯ
47.09.29
Полупроводниковые материалы
47.09.48
Наноматериалы для электроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
02.05.QH
MATERIALS SCIENCE, COMPOSITES
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Алена
Гагарина
Юрьевна
разработка сенсора
РОССИЯ
Юлия
Спивак
Михайловна
разработка сенсора
РОССИЯ
Антон
Бобков
Алексеевич
разработка сенсора
РОССИЯ
Валерий
Кондратьев
Михайлович
разработка сенсора
РОССИЯ
Алексей
Большаков
Дмитриевич
разработка сенсора
РОССИЯ
Вячеслав
Мошников
Алексеевич
разработка сенсора
РОССИЯ
Светлана
Налимова
Сергеевна
разработка сенсора
РОССИЯ
СПбГЭТУ "ЛЭТИ"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “ЛЭТИ” им. В.И. Ульянова (Ленина)"
1027806875381
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения
СПбГЭТУ "ЛЭТИ"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “ЛЭТИ” им. В.И. Ульянова (Ленина)"
1027806875381
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения