Программа для обработки экспериментальных данных, генерируемых эллипсометрами Sentech
обработка данных эллипсометр автоматизированная обработка
Программа предназначена для автоматизированной обработки exp-файлов, генерируемых эллипсометрами Sentech под управлением приложения SpectraRay. Для каждого измерения в открытом файле программа осуществляет последовательный расчет толщины, показателей преломления и поглощения, а также среднеквадратичной ошибки аппроксимации зависимостей эллипсометрических углов Psi и Delta от длины волны в соответствии с используемой оптической моделью. Полученные результаты можно автоматически добавить в названия выбранных измерений и/или в расширенном виде сохранить в текстовые файлы (до 5 срезов по длинам волн). Программа позволяет задавать необходимое количество подгонок каждого измерения и прямой либо обратный порядок обработки измерений. Для ускорения обработки процесс подгонки можно скрыть. Также реализовано извлечение полных спектров для их дальнейшего подробного анализа в сторонних приложениях.
Программа предназначена для автоматизированной обработки exp-файлов, генерируемых эллипсометрами Sentech под управлением приложения SpectraRay.
Александр
Сигов
Сергеевич
Зав. кафедрой
Доктор физико-математических наук
Академик
L-4103-2017
35557510600
17622
РОССИЯ
Олег
Винокуров
Евгеньевич
Проректор
РОССИЯ
29.19.25
Взаимодействие проникающего излучения с твердыми телами
29.19.31
Полупроводники
Константин
Воротилов
Анатольевич
"Доктор технических наук"
"Отсутствует"
РОССИЯ
Алексей
Вишневский
Сергеевич
"Кандидат технических наук"
"Отсутствует"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
РТУ МИРЭА
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МИРЭА - РОССИЙСКИЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1037739552740
СТАНИСЛАВ
КУДЖ
АЛЕКСЕЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения