Технология лазерной очистки окон вакуумных технологических установок
вакуумная техника микроэлектроника лазерная очистка лазерные технологии
Изобретение относится к способом обработки материалов с использованием лазерной техники и может быть использовано для лазерной очистки от нежелательных загрязнений поверхности технологических окон вакуумных установок. Предлагаемый способ очистки технологических окон заключается в высокоскоростном сканировании интерфейса загрязнение-стекло с помощью лазерного излучения. Техническая реализация способа подразумевает использование лазерного излучения сверхкоротких импульсов (<1 нс) и высокоскоростных гальванометрических систем сканирования. Способ подразумевает создание сценария сканирования загрязненной области в зависимости от типа и площади загрязнения, локализацию воздействия в области контакта загрязняющей пленки с материалом окна за счет прецизионной фокусировки излучения и дальнейшей очистки поверхности. Способ позволяет производить очистку окон без демонтажа вакуумных соединений и без остановки вакуумной системы откачки.
Лазерная очистка окон вакуумных установок, применяемых в производстве микро- и радио- электронных компонентов. Улучшение контроля технологических процессов выращивания пленок, напыления, травления и т.д. за счет обеспечения чистоты технологических окон для контрольных измерений процессов.
47.13.35
Лазерные технологии в электронном производстве
Савелий
Иоффе
Витальевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"ABX-4021-2022"
"-"
"-"
"0000-0001-8214-5761"
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Иоффе Савелий Витальевич
Иоффе Савелий Витальевич
Савелий
Иоффе
Витальевич
Физическое лицо
РОССИЯ