Способ получения тонких пленок диоксида ванадия, легированного вольфрамом
Растворная технология Легированный диоксид ванадия Переход диэлектрик-металл Тонкие пленки Термохромные материалы
Заявленное изобретение относится к области материаловедения, а именно к технологии получения тонкопленочных материалов диоксида ванадия, легированного вольфрамом (V1-xWxO2), которые могут быть использованы в качестве ключевого компонента транзисторов, микроактуаторов, болометров, термохромных умных окон, модуляторов и переключателей терагерцового (ТГц) диапазона, а также ряда других оптоэлектронных устройств. Для получения тонких пленок состава V1-xWxO2 смешивают твердые навески оксида ванадия (V) и щавелевой кислоты в мольном соотношении 1:3 в смеси этиленгликоль-вода с равными объемными долями.  Затем при постоянном перемешивании добавляют паравольфрамат аммония. Полученный раствор помещают в стальной автоклав с тефлоновой вставкой, в котором располагаются пластины монокристаллического сапфира. Автоклав выдерживается в муфельной печи 20 ч при 180°C. Полученные пленки, промывают дистиллированной водой, высушивают на воздухе и проводят рекристаллизационный отжиг в инертной атмосфере при 600oC  в течение 1 часа. 
Технический результат заключается в упрощении и повышении технологичности процесса формирования тонкопленочных структур за счет использования растворного метода синтеза, что способствует улучшению воспроизводимости заявляемого способа, а также в возможности эффективного контролируемого снижения температуры фазового перехода в диоксиде ванадия.
Изобретение относится к области материаловедения, может быть применено при создании микроэлектроники и оптических структур для использования в качестве основной составляющей ряда миниатюрных устройств: переключателей, термических и оптических сенсоров, а также устройств с эффектом памяти.
Алексей
Иванов
Викторович
Студент
Отсутствует
Отсутствует
AAS-7271-2020
57217453531
1155313
0000-0002-2946-7195
РОССИЯ
Алексей
Иванов
Викторович
Студент
РОССИЯ
31.17.15
Неорганическая химия
01.04.EC
CHEMISTRY, INORGANIC & NUCLEAR
Алексей
Иванов
Викторович
Руководство работой, разработка технологии, синтез экспериментальных образцов, обработка результатов
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Алексей
Иванов
Викторович
Физическое лицо
РОССИЯ