Способ электрохимического осаждения кремний-углеродной пленки на электропроводящую подложку из органического прекурсора, содержащего перхлорат лития
Кремний-углеродная пленка Электрохимическое осаждение Перхлорат лития
Способ электрохимического осаждения кремний-углеродной пленки на электропроводящую подложку из органического прекурсора, содержащего перхлорат лития относится к области технологий создания тонкопленочных покрытий и может быть использовано в промышленности для производства материалов суперконденсаторов, топливных элементов, электродов литий-ионных батарей и (фото)катализаторов.
Технический результат достигается с помощью того, что в прекурсор, состоящий из гексаметилдисилазана в метиловом или этиловом спирте, добавляют порошок перхлората лития LiClO4 в количестве, при котором его концентрация в органическом прекурсоре достигает значений не выше 0,4 М, после чего производят электрохимическое осаждение кремний-углеродной пленки в потенциостатическом режиме в трехэлектродной ячейке, где в качестве рабочего электрода (катода) используется электропроводящая подложка, на которую производится электрохимическое осаждение кремний-углеродной пленки, в качестве противоэлектрода (анода) – платиновая пластина и электрода сравнения – серебряная проволока, а на электроды подают напряжение не выше 6 В с плотностью тока до 200 мА/см2.
Предложенный способ позволяет формировать кремний-углеродные пленки методом электрохимического осаждения на любых электропроводящих материалах. Данный способ технически прост, для его реализации не требуется сложное технологическое оборудование. Помимо этого, предлагаемый метод повышает безопасность процессов формирования кремний-углеродных пленок.
Может быть использовано в промышленности для производства материалов суперконденсаторов, топливных элементов, электродов литий-ионных батарей и (фото)катализаторов
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
47.09.29
Полупроводниковые материалы
47.09.48
Наноматериалы для электроники
Михаил
Липкин
Семенович
"Доктор технических наук"
"Доцент"
РОССИЯ
Татьяна
Михайлова
Сергеевна
"Кандидат технических наук"
"Отсутствует"
"ABG-4143-2022"
"57205240322"
"880953"
"https://sfedu.ru/person/tmihaylova"
"0000-0003-3716-225X"
РОССИЯ
Татьяна
Мясоедова
Николаевна
"Кандидат технических наук"
"Доцент"
"E-1827-2014"
"55924019800"
"177254"
"https://sfedu.ru/person/tnmyasoedova"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ, ФГАОУ ВО "ЮФУ", ЮФУ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1026103165241
ИННА
ШЕВЧЕНКО
КОНСТАНТИНОВНА
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения