Устройство для измерения толщины и диэлектрической проницаемости тонких пленок
ТОНКИЕ ПЛЕНКИ, ИЗМЕРЕНИЕ ТОЛЩИНЫ,  ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПРОНИЦАЕМОСТЬ, ЛАЗЕР, ДЕЛИТЕЛЬНЫЙ КУБИК, РАСШИРИТЕЛЬ СВЕТОВОГО ПОТОКА, ЛИНЗА, ПОЛЯРИЗАТОРЫ,   ФОТОМАТРИЦА
Устройство для исследования толщины и диэлектрических свойств тонких пленок, содержащее последовательно расположенные на одной оптической оси источник света, поляризатор, линзу, устройство нарушения полного внутреннего отражения, фокусирующий объектив, светочувствительную матрицу. В качестве источника света используют два лазера с различной длинной волны
4.Изобретение относится   к области оптического приборостроения и может быть использовано при создании спектрометров на основе поверхностного плазменного резонанса.
Бурханов Г.С.
зав.лабораторией
Доктор технических наук
Комлев В.С.
директор Института
59.31.29
Приборы для измерения геометрических величин
53.41.37
Получение полупроводниковых соединений
01.03.UH
PHYSICS, ATOMIC, MOLECULAR & CHEMICAL
Михаил
Кононов
Анатольевич
теоретическое обоснование возможности измерения диэлектрической проницаемости пленок выбранным методом
Сергей
Виноградов
Владимирович
теоретическое обоснование возможности измерения толщины пленок выбранным методом, формулировка отдельных положений заявки
Владимир
Дементьев
Аркадьевич
разработка схемы устройства, формулировка отдельных положений заявки
Сергей
Лаченков
Анатольевич
работа с литературой по заявке, формулировка отдельных положений заявки
Сергей
Валянский
Иванович
постановка задачи, формулировка отдельных положений заявки
Геннадий
Бурханов
Сергеевич
общее теоретическое руководство, формулировка отдельных положений заявки
ФАНО России
Федеральное агентство научных организаций
5137746009462
Организация
Правительство Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ИМЕТ РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова Российской академии наук
1027700298702
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения