Способ определения толщины тонких пленок (2020109639)
ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ, ТОЛЩИНА ПЛЕНОК, НИТРИД ТИТАНА, ЭНЕРГО-ДИСПЕРСИОННЫЙ РЕНТГЕНОВСКИЙ АНАЛИЗ
Изобретение относится к области неразрушающего контроля и физико-химического анализа, а именно к способу определению толщины тонких (до 100 нм) покрытий на основе нитрида титана, сформированных ионно-плазменными методами на подложках из различных титановых сплавов по данным энергодисперсионной рентгеновской спектроскопии.Способ определения толщины тонких пленок заключается в осаждении пленок на подложки, измерении их толщины, регистрации аналитических сигналов от элементов пленки и подложки и построении градуировочной зависимости ослабления сигнала от элемента-маркера. Способ позволяет получить данные о толщине пленок на основе нитрида титана толщиной до 100 нм без их разрушения и модифицирования.
Предлагаемый способ определения толщины пленок на основе нитрида титана может успешно применяться на производстве для решения задач, направленных на контролирование толщины формируемых покрытий без их разрушения и модифицирования
Корусенко П.М.
Доцент
Кандидат физико-математических наук
Женатов Б.Д.
Проректор по научной работе
29.19.04
Структура твердых тел
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
К.
Полещенко
Н.
разработка способа-2%
В.
Федосов
В.
разработка способа-2%
А.
Блесман
И.
разработка способа-9%
П.
Корусенко
М.
разработка способа-35%
С.
Несов
Н.
разработка способа-35%
Д.
Полонянкин
А.
разработка способа-15%
Е.
Тарасов
Е.
разработка способа-2%
ФГБОУ ВО "Омский государственный технический университет", ОмГТУ
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего  образования "Омский государственный технический университет"
1025500531550
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ФГБОУ ВО "Омский государственный технический университет", ОмГТУ
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего  образования "Омский государственный технический университет"
1025500531550
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения