Программа для оптимизации технологического процесса в вакуумно-плазменных установках
ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС В ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫХ УСТАНОВКАХ МОДЕЛИРОВАНИЕ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ УСТАНОВКИ
Программа предназначена для оптимизации технологических процессов в вакуумно-плазменных установках. Входные данные: параметры установки и процесса (давления, мощности, температур, времени, расхода газа). Выходные данные позволяют оценить параметры и качество покрытия. Программа обеспечивает моделирование газового разряда, потоков частиц на поверхности подложки, расчет и отслеживания траекторий частиц, моделирование их столкновений; моделирование плазмохимических реакций, расчёт плотности заряда и электрического поля, моделирование взаимодействия частиц, эрозии, транспорта и осаждения материала на подложку, подсчет столкновений с поверхностью подложки; оптимизацию технологического процесса вакуумно-плазменного напыления при настройке параметров процессов.
Программа может быть использована при решении технологических задач производств, использующих вакуумно-плазменные установки.
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
Никита
Бабинов
Андреевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"-"
"-"
"-"
"-"
РОССИЯ
Яна
Ибрагимова
Григорьевна
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"-"
"-"
"-"
РОССИЯ
Владислав
Семыкин
"Отсутствует"
"Отсутствует"
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "ПРИКЛАДНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ПРИКЛАДНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ"
1237800128774
НИКИТА
БАБИНОВ
АНДРЕЕВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью