Эффективная НЕМТ-технология изготовления монолитных многофункциональных интегральных схем СВЧ на полуизолирующих пластинах арсенида галлия
АРСЕНИД ГАЛЛИЯ ПОЛУИЗОЛИРУЮЩАЯ ПЛАСТИНА МОНОЛИТНАЯ МНОГОФУНКЦИОНАЛЬНАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА СВЕРХВЫСОКОЧАСТОТНАЯ НЕМТ-ТЕХНОЛОГИЯ
Изобретение относится к области создания многофункциональных интегральных схем (МИС) СВЧ на полуизолирующих пластинах арсенида галлия. Область применения: производство твердотельной электронной компонентной базы СВЧ мм-диапазона для приемо-передающих модулей АФАР. Сущность изобретения: на рабочей поверхности полуизолирующей монокристаллической пластины арсенида галлия посредством низкодозового и высокодозового легирования ионами кремния формируется n+ - n - i - структура полевого транзистора с барьером Шоттки. Затем по тонкоплёночной технологии с применением фотолитографии изготавливаются исток и сток транзистора, а между ними - Т-затвор транзистора с субмикронной (≤ 0,3 мкм) длиной основания. После этого посредством дополнительного высокодозового легирования кремнием расширяются контактные п+ - области истока и стока и сокращается рабочая длина канала. Для пассивации рабочей поверхности активной области используется имплантация ионов бора. Техническим результатом является: надёжная планарная изоляция секторов функциональных узлов монолитной МИС и НЕМТ за счёт высокого удельного сопротивления пластины арсенида галлия; гибкое управление в едином технологическом цикле процессами формирования «пассивных» транзисторов для коммутационных узлов (переключателя и фазовращателя) и «активных» транзисторов (для аттенюатора, усилителя мощности); высокое линейное разрешение (топологическая норма), обеспечивающее изготовление монолитных МИС на мм-диапазон длин волн; повышение процента выхода годных монолитных МИС (с десятками и более НЕМТ) за счёт обеспечения высокой однородности субмикронного канала по толщине и уровню легирования и субмикронного затвора НЕМТ, формируемого на плоской поверхности пластины; повышение надёжности НЕМТ за счёт соразмерности толщины канала и длины затвора, ограничения неконтролируемой диффузии и увеличения пробивного напряжения затвор-сток и др.; снижение трудоёмкости производственного цикла и материальных затрат на изготовление монолитных МИС.
Изобретение может применяться в технологии изготовления СВЧ управляющего устройства на базе монолитных многофункциональных интегральных схем, а также быть использовано для создания твердотельных приемо-передающих модулей малогабаритных АФАР космических систем связи мм-диапазона.
Преимущества заключается в расширение диапазона рабочих частот в сторону мм - диапазона, повышение надёжности, уменьшение массы и размеров, снижение стоимости электронной компонентной базы СВЧ для приемо-передающих модулей АФАР космического базирования. Способствует импортозамещению.
Александр
Королев
Николаевич
Генеральный конструктор «НИИ КС имени А.А.Максимова» - филиала АО «ГКНПЦ им. М.В.Хруничева»
Кандидат технических наук
Старший научный сотрудник
-
-
75995957
0000000303159124
РОССИЯ
Александр
Королев
Николаевич
Генеральный конструктор «НИИ КС имени А.А.Максимова» - филиала АО «ГКНПЦ им. М.В.Хруничева»
РОССИЯ
47.13.10
Технология и оборудование для производства изделий электронной техники СВЧ-диапазона
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Андрей
Титов
Юрьевич
Работа над общей концепцией, задачами, рефератом изобретения.    30 %
РОССИЯ
Елена
Бутенко
Васильевна
Работа над формулой изобретения, поиском патентной информации, описанием и оформлением заявки. 70 %
РОССИЯ
ГОСКОРПОРАЦИЯ "РОСКОСМОС"
Государственная корпорация по космической деятельности "Роскосмос"
1157700012502
Организация
Государственная корпорация по космической деятельности "Роскосмос"
Государственные корпорации
НИИ КС имени А.А. Максимова - филиал АО "ГКНПЦ им. М.В. Хруничева"
Научно-исследовательский институт космических систем имени А.А. Максимова - филиал Акционерного общества "Государственный космический научно-производственный центр имени М.В. Хруничева"
1027739198090
Организация
Хозяйственные общества, образованные из государственных предприятий, добровольных объединений государственных предприятий
Филиалы юридических лиц
ЗАО "НИИМП-Т"
Закрытое акционерное общество "НИИМП-Т"
1037735013931
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Непубличные акционерные общества