Распылительный магнетрон
магнетрон мишень водоохлаждаемый медный вакуумный ввод
Полезная модель относится к электротехнике и может быть использована при изготовлении планарных распылительных магнетронов различной мощности. Технический результат состоит в упрощении конструкции магнетрона, повышении надежности его работы, а также в наличии возможности оперативной замены магнитной системы для распыления мишеней различного размера. Техническим результатом, обеспечиваемым полезной моделью, является упрощение конструкции магнетрона и повышение надежности его работы. Поставленная цель достигается существенным уменьшением количества и сложности деталей магнетрона, отсутствием в горячей зоне резиновых или полимерных уплотнителей, трубок, паяных соединений, имеющих выход в вакуумную камеру. Основой магнетрона является электрически изолированный от установочного фланца водоохлаждаемый медный вакуумный ввод, на который устанавливаются магнитная система, корпус и верхняя крышка магнетрона. Дополнительным преимуществом такой конструкции является возможность распыления на одном магнетроне мишеней различных размеров путем простой замены магнитной системы и прижимного кольца.
Изготовление планарных распылительных магнетронов различной мощности
Абил
Асваров
Шамсудинович
внс
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
N-8071-2016
15126969600
114199
РОССИЯ
Акай
Муртазаев
Курбанович
директор
РОССИЯ
29.19.03
Теория конденсированного состояния
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Абил
Асваров
Шамсудинович
тестирование и доводка прототипа
РОССИЯ
Ахмед
Ахмедов
Кадиевич
разработка концепции, изготовление прототипа
РОССИЯ
ФАНО России
Федеральное агентство научных организаций
5137746009462
Организация
Правительство Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ИФ ДФИЦ РАН
Институт физики им. Х.И. Амирханова - обособленное подразделение Федерального государственного бюджетного учреждения науки Дагестанского федерального исследовательского центра Российской академии наук
1020502464421
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Структурные подразделения обособленных подразделений юридических лиц