УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ АЛМАЗНЫХ ПОКРЫТИЙ
плазмохимический реактор, запредельное кольцо, регулирование температуры, осаждение алмаза
Изобретение относится к области машиностроения и электроники, а именно: к устройствам для генерирования СВЧ плазмы высокой плотности мощности, и может быть использовано как исполнительный механизм контроля, стабилизации и регулирования температуры косвенного нагрева подложки по заданному алгоритму за счет позицинирования или фиксации подложки лежащей на основании внутренней полости запредельного кольца относительно основной платформы СВЧ реактора для нанесения алмазных покрытий на группы изделий микроэлектроники и машиностроения, в частности, резцы из твердого сплава для обработки высокопрочных полимерных композитных материалов.
Групповой рост алмазных покрытий или монокристаллов алмаза в СВЧ плазме со стабилизацией температурного режима
Конов В.И.
Рук. ЦЕНИ ИОФ РАН
Доктор физико-математических наук
Гарнов С. В.
Директор ИОФ РАН
55.20.99
Другие виды электрофизикохимической обработки
01.04.EI
CHEMISTRY, PHYSICAL
Евгений
Ашкинази
Евсеевич
предложил с целью целью контроля косвенного нагрева подложки аксиально резонатору,ввести подвижное основание внутренней полости запредельного кольца
Станислав
Рыжков
Геннадиевич
предложил с целью стабилизации температуры косвенного нагрева подложки использовать обратную связь с инфракрасным пирометром
Виталий
Конов
Иванович
предложил путем перемещения основания и изменения высоты внутреннего периметра запредельного кольца, сохранять постоянной высоту его внешнего периметра
Андрей
Большаков
Петрович
предложил путем перемещения основания изменять высоту внутреннего периметра запредельного кольца
Сергей
Филин
Александрович
предложил движение охлаждаемого основания запредельного кольца осуществлять через актуатор, получающий сигналы регулятора
Виктор
Ральченко
Григорьевич
предложил подвижное охлаждаемое основание запредельного кольца соединить через сердечник сильфона и трубопровод охлаждения
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИОФ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "ИНСТИТУТ ОБЩЕЙ ФИЗИКИ ИМ. А.М. ПРОХОРОВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
1027700378595
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения