Устройство контроля, регулирования и стабилизации температуры подложки в процессе плазмохимического осаждения алмазных покрытий
плазмохимическое осаждение, алмазная пленка, температура, оптический пирометр, СВЧ плазма.
Разработан принцип контролируемого плазмохимического синтеза алмазных кристаллов и пленок, для применений в детекторах ионизирующего излучения, электронике, фотонике и получения сверхтвердых покрытий на твердосплавном инструменте.. Обеспечивается возможность удаленного управления процессом осаждения, практически с начала пуска и до завершения процесса роста. Контроль точности температуры подложки по обратной связи с оптическим пирометром не превышает +/-5 градусов.
Ядерные технологии-создание детекторов ионизирующего излучения, электроника-мощные диоды на теплоотводящих алмазных подложках, фотоника-терагерцовая оптика, , машиностроение-сверхтвердый инструмент для обработки сверхупругих композиционных материалов..
Конов В.И.
Рук. ЦЕНИ ИОФ РАН
Доктор физико-математических наук
Гарнов С.В.
Директор ИОФ РАН
29.03.85
Автоматизация физического эксперимента с применением ЭВМ
01.04.EI
CHEMISTRY, PHYSICAL
Евгений
Ашкинази
Евсеевич
Предложил стабилизировать температуру подложки при изменении состава газовой смеси с помощью изменения положения подложки расположенной в запредельном пространстве резонатора
Андрей
Большаков
Петрович
Предложил минимизировать перегрев подложки при групповой высокоскоростной гомо эпитаксии кристаллов алмаза и высоких давлениях газовой смеси без изменения режимов роста
Виктор
Ральченко
Григорьевич
Предложил использовать одновременно с регулированием температуры подложки ступенчатое изменение состава газовой смеси при получении тонких пленок на кремниевой подложке
Станислав
Рыжков
Геннадиевич
Предложил точность установки контроля температуры подложки обеспечивать с помощью программируемого пропорционального - интегрального - дифференциального регулирования по обратной связи с ИК пирометром
Виталий
Конов
Иванович
Предложил управление температурой подложки за счет изменения ее расположения из нижней области резонатора в верхнюю запредельную область.
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИОФ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "ИНСТИТУТ ОБЩЕЙ ФИЗИКИ ИМ. А.М. ПРОХОРОВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
1027700378595
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения