Полупроводниковый датчик давления
ДЕФЕКТЫ В ПОЛУПРОВОДНИКАХ, ЗАРЯДОВАЯ ЭЛЕКТРОНЕЙТРАЛЬНОСТЬ В ПОЛУПРОВОДНИКАХ, РЕЛАКСАЦИОННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ, ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ, СИЛЬНОЛЕГИРОВАННЫЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ; ОБЛУЧЕННЫЕ, НЕУПОРЯДОЧЕННЫЕ, ЖИДКИЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ; ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СТЕКЛА
Полезная модель относится к полупроводниковой измерительной технике. Технический результат - повышение чувствительности полупроводникового датчика давления на основе арсенида галлия. Датчик давления выполнен на основе четырех полупроводниковых чувствительных элементов, скомпонованных в измерительный мостик Уитстона, два резисторных элемента которого размещены в измеряемой среде, а два других в зоне, не испытывающей давления. Новым относительно прототипа являются то, что сенсорные элементы выполнены в виде пластинок из буфферного арсенида галлия, на который способом эпитаксии нанесён слой электронного GaAs, легированного теллуром Te до концентрации свободных электронов Nd = 1016-1018 см-3 и облученного потоком высокоэнергетических электронов в дозе D, при этом отношение дозы D (см-2) к концентрации свободных электронов в арсениде галлия Nd (см-3) лежит в диапазоне 0,5 – 2,0.
Обеспечение высокоточного измерения давления жидкой/газовой среды в широком диапазоне температур и давлений.
Брудный В.Н.
директор центра
Доктор физико-математических наук
Ворожцов А.Б.
Проректор по научной и инновационной деятельности
29.19.31
Полупроводники
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Валентин
Брудный
Натанович
80 %
Павел
Брудный
Александрович
20 %
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
Томский государственный университет, ТГУ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет"
1027000853978
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения