мембранный датчик давления
МЕМБРАННЫЙ ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ,
Предложен мембранный датчик давления с мембраной из монокристаллического кремния и со слоями поликристаллического кремния на соприкасающихся поверхностях кремния и корпуса датчика в узле крепления мембраны.  Предложены варианты датчика давления: с датчиком температуры в теле мембраны, с различной геометрией мембраны в ее поперечном сечении, со вспомогательными слоями, в том числе с защитными и/или отражающими.
Устройство предназначено для проведения дистанционных бесконтактных измерений во взрыво- и пожаробезопасных исполнении на предприятиях нефтегазового и химического комплекса (газо- нефтепроводах, ёмкостях, предназначенных для хранения и транспортировки газообразных и жидких энергоносителей), на производствах занятых выпуском химической продукции, а также в ядерной энергетике, в местах, где по показаниям электробезопасности, пожаробезопасности, радиационной безопасности или другим причинам невозможно или нежелательно использовать приборы и системы работоспособность которых определяется наличием электрических цепей.
Пустовой В.И.
Руководитель проекта
Кандидат физико-математических наук
Розе В. Б.
Генеральный директор
59.37.33
Приборы для измерения давления
02.00.00
Engineering and Technology
01.03.SY
OPTICS
Николай
Дьячков
Викторович
Предложил выполнить кремниевую мембрану с осевым поперечным сечением, содержащим области в виде меандра или синусоиды.
Марат
Абдуев
Хаджи-Муратович
Предложил для измерения степени деформации включить датчик температуры, выполненный на самой кремниевой мембране или в объеме ее материала (в теле мембраны)
Константин
Баринов
Иванович
Предложил обе контактирующие поверхности мембраны или только поверхность посадочного места камеры покрывать буферным слоем толщиной от 0,7 до 2,5 мкм из поликристаллического кремния (поликремния) или из композита (твердого раствора, керамики и т.п.)
Виктор
Розе
Борисович
Предложил наносить на поверхность кремниевой мембраны однослойное или многослойное вспомогательное покрытие.
Андрей
Калегаев
Николаевич
Предложил изготавливать мембрану из кремниевой пластины   с заданной формой в поперечном сечении и с заданным распределением по толщине.
Виктор
Дьячков
Николаевич
Предложил использовать для широкодиапазонного датчика давления  кремниевую мембрану
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "Оптосенс"
Общество с ограниченной ответственностью "Оптосенс"
1177746640587
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью