Термостабильная метка совмещения для электронной литографии
нитрид галлия, электронная литография, метка совмещения
Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к технологии формирования GaN транзисторов различного назначения (мощных и СВЧ транзисторов) и, в частности, к созданию термостабильных меток совмещения, подходящих для электронной литографии и фотолитографии.Для обеспечения высокой интенсивности и низкого размытия потока отраженных электронов после проведения технологических операций при температурах в диапазоне 800–1000 C, а также для уменьшения стоимости технологического процесса предлагается конструкция меток на основе гафния. Метка состоит из двух слоёв металлов: молибдена (Mo) толщиной до 50 нм и гафния (Hf) толщиной 50–100 нм. Использование подслоя молибдена улучшает адгезию меток совмещения к поверхности гетероструктуры, а высокие температуры плавления применяемых металлов обеспечивают сохранение формы и морфологии меток при термообработке подложки.
Изготовление нитрид-галлиевых силовых транзисторов, изготовление нитрид-галлиевых интегральных схем
Беспалов В. А.
Г. н. с.
Доктор технических наук
Гаврилов С. А.
Проректор
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Владимир
Егоркин
Ильич
Разработка общей концепции изобретения
Алексей
Зайцев
Александрович
Проведение испытаний по термостабильности и детектированию потока отраженных электронов
Максим
Журавлёв
Николаевич
Подбор параметров изделия в соответствии с имеющимися технологическими возможностями
Лариса
Якимова
Валентиновна
Изготовление опытных образцов
Валерий
Земляков
Евгеньевич
Разработка технологического маршрута изготовления
АО "ЗНТЦ"
Акционерное общество "Зеленоградский нанотехнологический центр"
1107746582052
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Непубличные акционерные общества
МИЭТ;  Национальный исследовательский университет "МИЭТ"; НИУ МИЭТ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
1027739615584
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения