Нанолитограф
Лазерный генератор изображений с наноразрешением оптический дифракционный элемент углоизмерительные структуры (УИС).
Полезная модель относится к разделу технологического оборудования оптоэлектроники и может быть использована для улучшения технических характеристик оптических дифракционных элементов (ДОЭ) или высокоточных углоизмерительных структур (УИС), формируемых с помощью лазерных генераторов изображений с наноразрешением (нанолитографов), работающих в полярной системе координат и реализующих технологию записи топологии ДОЭ и УИС в режиме кругового сканирования.

В схему нанолитографа с круговым сканированием включена дополнительная считывающая головка, установленная на дополнительной каретке дополнительной системы радиальных перемещений, размещенной относительно оси ротора шпинделя узла вращения диаметрально противоположно по сравнению с записывающей головкой оптического канала. Вместо серии коротких референтных дуг, формируемых в пределах топологии синтезируемого ДОЭ, на носителе записываются (предпочтительно вне рабочей области формируемого ДОЭ) всего две вспомогательные окружности. В ходе записи топологии формируемого ДОЭ, проводимой основной записывающей головкой, дополнительная считывающая головка отслеживает пространственное положение окружности, сформированной на периферии рабочего поля ЛГИ. Текущие регистрируемые отклонения в положении вспомогательной окружности используются для немедленной компенсации возникающих искажений в записываемой топологии ДОЭ.
Технический эффект заявляемого технического решения заключается в уменьшении погрешности формируемой топологии ДОЭ до уровня, не превышающего 1,0 нм.
Данное оборудование может быть использовано для улучшения технических характеристик
оптических дифракционных элементов (ДОЭ) или высокоточных углоизмерительных структур
(УИС), формируемых с помощью лазерных генераторов изображений с наноразрешением
(нанолитографов), работающих в полярной системе координат и реализующих технологию записи
топологии ДОЭ и УИС в режиме кругового сканирования.
Юрий
Золотухин
Николаевич
Главный научный сотрудник
Доктор технических наук
Старший научный сотрудник
-
-
РОССИЯ
Сергей
Бабин
Алексеевич
директор
РОССИЯ
29.33.17
Методы управления оптическим излучением
29.33.47
Воздействие лазерного излучения на вещество
01.03.SY
OPTICS
Валерий
Кирьянов
Павлович
РОССИЯ
Алексей
Кирьянов
Валерьевич
РОССИЯ
ФАНО России
Федеральное агентство научных организаций
5137746009462
Организация
Правительство Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ИАиЭ СО РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт автоматики и электрометрии Сибирского отделения Российской академии наук
1025403647807
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения