Способ получения газочувствительного наноструктурированного композитного материала полупроводниковых пленок оксида меди и линейно-цепочечного углерода к парам спиртов
сенсор паров этанола и метанола газовый датчик линейно-цепочечный углерод оксид меди
Изобретение относится к созданию газовых датчиков на основе оксида меди и углеродных наноматериалов, которые могут быть использованы для контроля и мониторинга паров этанола и метанола. Газовый датчик паров метанола и этанола содержит подложку из диэлектрического материала с осажденными методом терморезистивного испарения в вакууме на нее полупроводниковых пленок Cu(x)O и затем ионно-плазменным синтезом пленки линейно-цепочечного углерода путем осаждения в вакууме графита, испаряемого импульсным дуговым разрядом с помощью плазмы, создаваемой дуговым разрядом вне области разрядного промежутка в виде компенсированных бестоковых форсгустков углеродной плазмы плотностью 5·10^12-1·10^13 см-3, длительностью 200-400 мкс, частотой следования 2-3 Гц, при стимуляции углеродной плазмы инертным газом в виде потока ионов с энергией 150-2000 эВ, направленного перпендикулярно потоку углеродной плазмы и обработанной полученной металло-углеродной системы термическим отжигом в печи при температурах 250-400С в течение 20-120 минут для получения композитной пленки Cu(x)O/ЛЦУ, пленочные электроды, которые выполнены путем термического осаждения в вакууме пленки из металлов. Технический результат - высокая чувствительность, расширение температурного диапазона работы датчика, меньшая энергозатратность.
Разработка может быть использовано в промышленности при детектировании утечек.
Павел
Платонов
Сергеевич
техник
Отсутствует
Отсутствует
-
-
РОССИЯ
Павел
Платонов
Сергеевич
техник
РОССИЯ
29.19.31
Полупроводники
01.04.EI
CHEMISTRY, PHYSICAL
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Павел
Платонов
Сергеевич
РОССИЯ
Александр
Смирнов
Вячеславович
РОССИЯ
Дмитрий
Петров
Владимирович
РОССИЯ
Валерий
Казаков
Алексеевич
РОССИЯ
Александр
Иваницкий
Юрьевич
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
"ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ \"ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ\""
"ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ"
Международная организация
РОССИЯ
Павел
Платонов
Сергеевич
Физическое лицо
РОССИЯ