Способ изготовления AlGaN-гетероструктуры для солнечно-слепых фотокатодов ультрафиолетового спектрального диапазона
Гетероструктура Солнечно-слепой фотокатод Ультрафиолетовый диапазон Подложка Сапфир Молекулярно-пучковая эпитаксия
(57) Способ изготовления AlGaN-гетероструктур для солнечно-слепых
фотокатодов ультрафиолетового диапазона, включает отжиг подложки из
сапфира при температуре (800-850) 0 С, нитридизацию поверхности подложки из
сапфира в потоке активированного азота при температуре T S =(780-820)°С,
последовательное выращивание методом плазменно-активированной
молекулярно-пучковой эпитаксии зародышевого слоя AlN в режиме эпитаксии с
повышенной миграцией атомов при температуре T S =(780-820)°С толщиной (60-
130) нм, буферного слоя AlN в режиме металл-модулированной эпитаксии в
слабых металл-обогащенных условиях при соотношении потоков алюминия F Al и
азота F N F Al / F N* = 1.05 толщиной 1-2 мкм и активного слоя AlGaN, легированного
Mg, в металл-обогащенном режиме c непрерывным изменением содержания
алюминия в слое от 80 до 37% толщиной (90-160) нм при температуре (680-
700)°С путем уменьшения потока алюминия в процессе роста при неизменном
соотношении ( F Al + F Ga )/ F N потоков металлов ( F Al , F Ga ) и азота F N .
2 илл.
Полупроводниковая оптоэлектроника
Виктор
Устинов
Михайлович
заведующий лабораторией
Доктор физико-математических наук
Член-корреспондент РАН
J-3545-2013
ID 56471325100
ID 27807
РОССИЯ
Сергей
Иванов
Викторович
Директор
РОССИЯ
47.33.33
Оптоэлектронные приборы
44.41.35
Установки прямого преобразования энергии светового излучения в электрическую
02.02.EU
COMMUNICATION
Алексей
Семёнов
Николаевич
Проведение патентного поиска и оформление патента
РОССИЯ
Валентин
Жмерик
Николаевич
Выработка главной идеи патента и  руководство работой над ним
РОССИЯ
Дмитрий
Нечаев
Валерьевич
Проведение расчетов и экспериментальной проверки патентуемого способа
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФТИ ИМ. А.Ф. ИОФФЕ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФИЗИКО-ТЕХНИЧЕСКИЙ ИНСТИТУТ ИМ. А.Ф. ИОФФЕ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
1037804006998
СЕРГЕЙ
ИВАНОВ
ВИКТОРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения