Источник быстрых атомов для травления диэлектриков
Плазма вакуум быстрые атомы распыление поверхности осаждение покрытия
Изобретение относится к области обработки изделий ускоренными ионами или быстрыми атомами и предназначено для получения изделий с повышенными характеристиками за счет удаления дефектного поверхностного слоя пучком быстрых атомов. Технический результат – повышение надежности и срока службы источника пучка быстрых атомов аргона при обработке диэлектрических изделий за счет снижения диэлектрических загрязнений на электродах источника. Источник быстрых атомов для травления диэлектриков, содержит газоразрядную камеру, цилиндрический полый катод внутри камеры, анод внутри полого катода и перекрывающую выходное отверстие полого катода круглую вогнутую сетку, установленный напротив сетки и проходящий через ее фокальную точку экран с отверстием в области фокальной точки.
Область проектирования и изготовления инновационных конструкций вакуумно-плазменного оборудования, а также совершенствование установок, используемых в промышленности и лабораториях.
Изобретение относится к ионно-плазменной технологии и может быть использовано для травления диэлектрических изделий в вакууме.
Александр
Метель
Сергеевич
Профессор
Доктор физико-математических наук
Доцент
L-8736-2013
6506816930
125667
РОССИЯ
Владимир
Серебренный
Валерьевич
Ректор
РОССИЯ
29.27.23
Пучки в плазме
29.27.43
Газовый разряд
29.27.51
Применение плазмы
01.03.UB
PHYSICS, APPLIED
01.03.UF
PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
Марина
Волосова
Александровна
РОССИЯ
Александр
Метель
Сергеевич
РОССИЯ
Сергей
Григорьев
Николаевич
РОССИЯ
Юрий
Мельник
Андреевич
РОССИЯ
Энвер
Мустафаев
Серверович
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГБОУ ВО «МГТУ «СТАНКИН»
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
1037700246451
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения