Способ определения электрофизических характеристик легированных слоев кремниевых пластин
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ, НЕРАЗРУШАЮЩИЙ КОНТРОЛЬ ПАРАМЕТРОВ, ЛЕГИРОВАННЫЙ СЛОЙ, ИК-СПЕКТР ОТРАЖЕНИЯ, ПОВЕРХНОСТНАЯ КОНЦЕНТРАЦИЯ ПРИМЕСИ
Способ определения электрофизических характеристик легированных слоев кремниевых пластин заключается в измерение поверхностного сопротивления легированного слоя четырехзондовым методом, дополнительно осуществляют определение ИК-спектров отражения от поверхности кремниевых пластин, нахождение минимума на спектральной зависимости коэффициента отражения, вычисление по эмпирическим формулам концентрации примеси на поверхности легированного слоя и расчет глубины залегания p-n перехода
Изобретение относится к устройствам контроля параметров полупроводниковых материалов и может быть использовано для неразрушающего определения поверхностного сопротивления легированного слоя, глубины, на которой образуется p-n переход и концентрации примеси на поверхности кремниевых пластин, как при входном контроле, так и при контроле полупроводниковых структур после технологических операций создания легированных слоев
Лариса
Фроленкова
Юрьевна
Зав. кафедрой
Доктор технических наук
Доцент
-
6508244740
54012
РОССИЯ
Сергей
Радченко
Юрьевич
Проректор по научно-технологической деятельности и аттестации научных кадров
РОССИЯ
47.09.29
Полупроводниковые материалы
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Сергей
Матюхин
Иванович
35 %
РОССИЯ
Константин
Фроленков
Юрьевич
35 %
РОССИЯ
Михаил
Санников
Дмитриевич
5 %
РОССИЯ
Лариса
Фроленкова
Юрьевна
25 %
РОССИЯ
ОГУ ИМЕНИ И.С. ТУРГЕНЕВА, ФГБОУ ВО "ОРЛОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ И.С. ТУРГЕНЕВА", ОРЛОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ И.С. ТУРГЕНЕВА, ФГБОУ ВО "ОГУ ИМ. И.С. ТУРГЕНЕВА", ОГУ ИМ. И.С. ТУРГЕНЕВА
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ОРЛОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ И.С. ТУРГЕНЕВА"
1025700786462
АЛЕКСАНДР
ФЕДОТОВ
АНАТОЛЬЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения