Способ плазмохимического травления гетероструктур на основе InP
плазмохимическое травление, гетероструктура, фосфид индия, диэлектрик, вакуумная камера, индуктивно-связанная плазма
Способ плазмохимического травления гетероструктур на основе InP направлен на уменьшение времени изготовления структуры более, чем в два раза, и на уменьшение глубины нарушенного слоя структуры до 5 нм, что позволяет увеличить коэффициент пропускания в 1,5 раза, значительно снижая потери оптического излучения в электрооптическом модуляторе.Указанный технический результат достигается тем, что проводится импульсное плазмохимическое травление гетероструктур, состоящее из двух этапов, где на первом этапе производится импульсный поджиг плазмы, путем подачи мощности от ВЧ-генераторов на источники и травление образцов длительностью 20-25 сек, а на втором этапе производится удаление продуктов реакции радикалов газовой смеси с материалом подложки из вакуумной камеры, а также термостабилизация образцов длительностью 30-35 сек, при этом оба этапа повторяются с заданным количеством циклов.
Изобретение относится к технологии обработки материалов, и может быть использовано при производстве компонентов твердотельной электроники, СВЧ электроники, оптоэлектроники и радиофотоники.
Каргин, Н.И.
Директор ИНТЭЛ
Доктор технических наук
Каргин, Н.И.
И.о. проректора
29.33.39
Оптические явления в волноводах и тонких пленках. Интегральные оптические схемы
29.35.47
Твердотельные приборы СВЧ-диапазона
29.35.19
Распространение электромагнитных волн
02.10.00
Nano-technology
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Александр
Аврамчук
Васильевич
Исполнитель работ
Николай
Каргин
Иванович
Руководитель работ
Асия
Давлятшина
Радифовна
Исполнитель работ
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НИЯУ МИФИ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"
1037739366477
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения