Способ формирования оптимального арочного магнитного поля над поверхностью катода торцевого дугового испарителя
Дуговой испаритель эрозия катодное пятно эффективность тонкие пленки
Изобретение относится к области нанесения покрытий вакуумно-дуговым испарением. Заявляемый способ может найти применение на предприятиях с большими объёмами производства, в технологической цепочке которых присутствует этап нанесения покрытия вакуумно-дуговым методом. Изобретение решает техническую задачу формирования арочного магнитного поля оптимальной для текущей выработки величины над поверхностью катода-мишени торцевого дугового испарителя. Заявляемый способ заключается в параллельном регулировании токов двух электромагнитов дугового испарителя, один из которых задаёт величину магнитного поля над поверхностью катода в радиальном направлении, а второй – в осевом. Регулирование магнитного поля в радиальном направлении обеспечивает смещение траектории катодного пятна. Регулирование магнитного поля в осевом направлении позволяет поддерживать магнитное поле над поверхностью катода оптимальной величины при уменьшении толщины катода. Технический результат использования заявляемого способа заключается в повышении коэффициента использования материала (КИМ) катодов-мишеней торцевых дуговых испарителей.
Заявляемый способ может найти применение на предприятиях с большими объёмами производства, в технологической цепочке которых присутствует этап нанесения покрытия вакуумно-дуговым методом. Например, при необходимости нанесения защитного покрытия на кромки режущего инструмента или лопатки турбин. За счёт увеличенного КИМ катодов-мишеней достигается экономия при закупках, что становится особенно существенно в случае использования катодов из дорогих сплавов. Также за счёт увеличенных интервалов замены катодов снижается общее время технического обслуживания вакуумно-дуговой установки.
Никита
Туманов
Алексеевич
Руководитель
Отсутствует
Отсутствует
-
-
https://orcid.org/
0000-0002-1616-9076
РОССИЯ
Никита
Туманов
Алексеевич
Руководитель
РОССИЯ
55.22.19
Металлические покрытия
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Никита
Туманов
Алексеевич
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Никита
Туманов
Алексеевич
Физическое лицо
РОССИЯ