Режимы ионной очистки образцов для сканирующей электронной микроскопии
Ионная очистка, сканирующая электронная микроскопия, просвечивающая электронная микроскопия
Режимы (напряжение и продолжительность воздействия) ионного пучка установки ионного травления EC-52000IC при очистке поверхностей, предназначенных для исследований методами СЭМ и ПЭМ, в зависимости от характера и степени их загрязнения.
Очистка поверхностей от загрязнений
Олег
Хасанов
Леонидович
Директор НОИЦ "НМНТ"
Доктор технических наук
Профессор
K-2230-2013
7003457952
0000-0003-3746-8259
РОССИЯ
Леонид
Сухих
Григорьевич
Проректор по науке и трансферу технологий
РОССИЯ
61.35.29
Керамика
61.31.53
Люминесцентные неорганические материалы
02.05.PK
MATERIALS SCIENCE, CERAMICS
02.05.PM
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
02.05.QF
MATERIALS SCIENCE, CHARACTERIZATION & TESTING
Эдгар
Двилис
Сергеевич
Предложил режимы ионного пучка при очистке образцов для сканирующей электронной микроскопии
РОССИЯ
Олег
Хасанов
Леонидович
Предложил способ изменения характера и степени загрязнения образцов для электронной микроскопии
РОССИЯ
Олег
Толкачев
Сергеевич
Предложил режимы ионного пучка при очистке образцов для просвечивающей электронной микроскопии
РОССИЯ
Марк
Калашников
Петрович
Подбор и оптимизация режимов ионного воздействия при очистке поверхностей
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГАОУ ВО НИ ТПУ, ТПУ, НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ, ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1027000890168
АНДРЕЙ
ЯКОВЛЕВ
АЛЕКСАНДРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения