Способ создания сквозных металлизированных отверстий для технологии нитрид галлия на алмазе
СВЧ ТРАНЗИСТОР НИТРИД ГАЛЛИЯ ПАССИВАЦИЯ МОНОЛИТНАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА
Безмасковый способ создания сквозных отверстий в пленке алмаза на подложке GaN/Si/CVD-алмаз с их последующей металлизацией
Разработка технологии изготовления СВЧ транзисторов, а также монолитных интегральных схем на их основе
Вячеслав
Демин
Александрович
Первый заместитель руководителя Комплекса по научной работе
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
35860534
-
-
-
РОССИЯ
Кирилл
Борисов
Евгеньевич
Главный ученый секретарь Центра
РОССИЯ
29.19.31
Полупроводники
29.35.47
Твердотельные приборы СВЧ-диапазона
47.09.29
Полупроводниковые материалы
47.13.10
Технология и оборудование для производства изделий электронной техники СВЧ-диапазона
47.33.31
Интегральные микросхемы
01.03.UB
PHYSICS, APPLIED
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Игорь
Черных
Анатольевич
РОССИЯ
Дмитрий
Мамичев
Александрович
РОССИЯ
Максим
Занавескин
Леонидович
РОССИЯ
Правительство России
Правительство Российской Федерации
Организация
-
-
НИЦ "Курчатовский институт"
федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"
1027739576006
Организация
Правительство Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения