Разработка технологии получения нитрида алюминия с высокими эксплуатационными характеристиками плазмохимическим синтезом
Нитрид алюминия Теплопроводность Керамическая подложка Микроэлектроника Алюмонитридная керамика
Изобретение относится к области порошковых керамических материалов, а именно к способу получения нитрида алюминия плазмохимическим синтезом для создания подложек с высокой теплопроводностью для элементов полупроводниковых приборов. При реализации способа используют порошок алюминиевого сплава с содержанием алюминия. Порошок алюминия размером 50-200 нм равномерно подают в аргоновую плазму (температура порядка 10 000 °С) одновременно с подачей газообразного аммиака. Порошок алюминия расплавляется, аммиак термически разлагается на азот и водород, происходит реакция алюминия с азотом с образованием сферического нитрида алюминия. Наноразмерный порошок алюминия необходим для протекания реакции образования нитрида алюминия по всему объему порошковой частицы. Технический результат изобретения – получение высокочистого нитрида алюминия с возможностью создания подложек с теплопроводностью более 200 Вт/м·К.
Изобретение относится к области получения керамики, которое может найти применение в различных устройствах микроэлектроники, электротехники, радиоэлектронике, а также в тех областях техники, где требуется интенсивный теплоотвод и электроизоляция во время эксплуатации данных устройств.
Даниил
Александров
Сергеевич
Инженер
Отсутствует
Отсутствует
AAC-8737-2022
57219515931
1041444
0000-0003-3314-1689
РОССИЯ
Даниил
Александров
Сергеевич
Инженер
РОССИЯ
45.09.31
Проводниковые материалы
45.09.37
Диэлектрические материалы
02.05.PK
MATERIALS SCIENCE, CERAMICS
Даниил
Александров
Сергеевич
Проведение экспериментов, подготовка отчетных документов, анализ рынка, коммуникация с потенциальными заказчиками
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Даниил
Александров
Сергеевич
Физическое лицо
РОССИЯ