Конструкторская документация на магнетронное плазменное устройство для нанесения термоэлектрических покрытий
магнетрон термоэлектрические пленки вакуумно-плазменное напыление
Разработана конструкция устройства для напыления термоэлектрических тонкопленочных покрытий в вакууме. В конструкцию магнетронного распылительного устройства внесены изменения, обеспечивающие тепловой режим процесса нанесения и возможность точного управления мощностью распыления. Превышение этих характеристик приводит к нестабильности температуры распыляемой поверхности и соответственно изменению скорости роста пленок и изменению их свойств.
Напыление тонкопленочных покрытий при разработке и изготовлении микроприборов на основе технологий микроэлектроники.
Алексей
Малинов
Юрьевич
Генеральный директор
Отсутствует
Отсутствует
нет
нет
https://torion-ppu.ru/
нет
РОССИЯ
Алексей
Малинов
Юрьевич
Генеральный директор
РОССИЯ
29.27.35
Магнитное удержание плазмы
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Марк
Криворучко
Муратович
РОССИЯ
Алла
Корчагина
Алексеевна
РОССИЯ
Алексей
Малинов
Юрьевич
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "ТОРИОН-ППУ"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ТОРИОН-ППУ"
1217700288860
АЛЕКСЕЙ
МАЛИНОВ
ЮРЬЕВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью