Способ изготовления гетероэпитаксиальных слоев III-N соединений на монокристаллическом кремнии со слоем 3C-SiC
НИТРИД ГАЛЛИЯ,  КРЕМНИЙ, КАРБИД КРЕМНИЯ
Изобретение относится к полупроводниковой технике. Способ предназначен для изготовления гетероэпитаксиальных слоев соединений нитридов металлов III группы (III-N), таких как AlN, GaN, AlGaN и других, на монокристаллических подложках кремния. Соединения III-N используют для создания полупроводниковых приборов силовой и СВЧ электроники. Способ заключается в первоначальном формировании сплошного монокристаллического слоя карбида кремния кубического политипа (3C-SiC) толщиной не более его критической толщины на поверхности кремниевой подложки. На поверхности 3C-SiC наращивают первый слой нитрида алюминия при температуре не более 1000 ˚С и второй слой нитрида алюминия при температуре не более 1250 ˚С. После этого формируют сверхрешетку состава AlN/AlxGa1-хN (0,5≥X≥0,3) с толщиной чередующихся слоев 10-15 нм при общей толщине не менее 200 нм. Создают многослойную буферную композицию состава AlxGa1-хN, где X уменьшается от 0,3 до 0 по мере роста структуры. В заключение наращивают монокристалл
Изобретение относится к полупроводниковой технике, более конкретно, к области формирования гетероэпитаксиальных слоев III-N соединений, таких как AlN, GaN, AlGaN и др., на монокристаллических подложках кремния.
Бабаев А. В.
Генеральный директор
Бабаев А. В.
Генеральный директор
47.09.29
Полупроводниковые материалы
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Андрей
Бабаев
Вадимович
0.5
Сергей
Федотов
Дмитриевич
0.5
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "ОНСИ"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ОНСИ"
1187746907688
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью