Кинетическое моделирование физических процессов при росте наноструктур In/AlGaAs методом капельной эпитаксии на подложках, модифицированных участками прямоугольной формы
капельная эпитаксия, наноструктуры
Программно-реализованная модель позволяет учесть межатомное взаимодействие частиц в шести координационных сферах и плотность упаковки атомов в формируемых структурах, получить зависимости геометрических характеристик наноструктур от основных технологических параметров метода капельной эпитаксии и др. Функциональные возможности программы включают выявление параметров локализации осажденного материала, расчет размеров и поверхностной плотности наноструктур, исследование формы наноструктур в углублениях и их окрестностях, расчёт степени заполнения прямоугольных углублений осаждаемым материалом в зависимости от технологических параметров.
Программа предназначена для проведения имитационного кинетического моделирования процессов капельной эпитаксии индия на поверхности In/AlGaAs с помощью метода Монте-Карло. Области применения молекулярно-лучевая эпитаксия наноструктур In/AlGaAs, эпитаксия полупроводниковых соединений, технология изготовления приборов на основе GaAs.
Солодовник М.С.
доцент
Кандидат технических наук
Метелица А.В.
И.о. проректора по научной и исследовательской деятельности
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
47.13.06
Технология и оборудование для производства приборов и устройств квантовой электроники
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
02.02.00
Electrical eng, electronic eng
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Наталия
Черненко
Евгеньевна
Тестирование программы.
Олег
Агеев
Алексеевич
Постановка задачи.
Михаил
Еременко
Михайлович
Разработка алгоритма.
Максим
Солодовник
Сергеевич
Отладка программы.
Сергей
Балакирев
Вячеславович
Написание кода.
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
Южный федеральный университет,  ФГАОУ ВО "ЮФУ"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
1026103165241
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью