Устройство для получения органических тонкопленочных покрытий в вакууме
Вакуумная техника тонкие пленки органические покрытия нанесение покрытий вакуумная камера
Полезная модель относится к вакуумным камерам и может быть использована для нанесения органических покрытий в вакууме на поверхность изделий для биомедицины, а также производства электронных компонентов и наноматериалов. Устройство состоит из вакуумной камеры с герметичными фланцевыми соединениями, к которым присоединены система откачки и контроля давления, смотровое окно, система перемещения подложки, на которой внутри камеры закреплена подложка, а также два вакуумных токоввода. На одном токовводе внутри камеры закреплен источник наносимого органического материала, к которому подключен регулируемый источник питания, на втором токовводе внутри камеры закреплены кварцевые микровесы, к которым подключен блок управления. После установки подложки в систему перемещения, вакуумная камера герметизируется и включается система откачки и контроля давления. При достижении давления в камере от 10-8 до 10-10 мбар включается источник наносимого органического материала, скорость напыления которого настраивается источником питания и контролируется кварцевыми микровесами, показания с которых считываются через блок управления микровесов. При помощи системы перемещения подложка размещается между источником материала и кварцевыми микровесами. Для наблюдения за перемещением образца в камере используется смотровое окно. После нанесения необходимого количества органического материала источник выключается, вакуумная камера разгерметизируется, и подложка с нанесенным органическим покрытием извлекается. Полученное в результате работы устройства органическое покрытие используется вместе с подложкой. Уменьшение побочных загрязнений (углерод, кислород) в нанесенном эпитаксиальном органическом покрытии достигается за счет использования многоступенчатой системы откачки, которая получает внутри вакуумной камеры сверхвысокий вакуум, и предварительно обезгаженного источника органического. Точная толщина нанесенного органического покрытия достигается за счет использования кварцевых микровесов соосно с подложкой и оптимально подобранных параметров на источнике питания под используемый напыляемый органический материал.
Устройство относится к вакуумным камерам и может быть использовано для нанесения тонкопленочных органических покрытий в вакууме на поверхность изделий для биомедицины, а также производства электронных компонентов и наноматериалов. Также устройство позволяет интегрироваться в текущую конфигурацию вакуумных систем для дальнейшей обработки нанесенного органического покрытия.
Элеонора
Лазнева
Федоровна
Ведущий научный сотрудник
Доктор физико-математических наук
Отсутствует
N-1139-2015
6701845505
47379
0000-0002-5484-8045
РОССИЯ
Елена
Лебедева
Витальевна
Начальник Управления научных исследований
РОССИЯ
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Дмитрий
Пудиков
Александрович
РОССИЯ
Евгений
Жижин
Владимирович
РОССИЯ
Алексей
Комолов
Сергеевич
РОССИЯ
РФФИ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "РОССИЙСКИЙ ФОНД ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ"
1037739411489
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Российский фонд фундаментальных исследований"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербургский университет, СПбГУ
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный университет"
1037800006089
Организация
Правительство Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения