Программа для расчета профиля показателя преломления при ионной имплантации в ниобате лития
НИОБАТ ЛИТИЯ ПОКАЗАТЕЛЬ ПРЕЛОМЛЕНИЯ ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
В программе рассчитываются технологические параметры, необходимые для получения заданного профиля показателя преломления при ионной имплантации титана в кристалле ниобата лития. С использованием исходных данных рассчитываются средний проецированный пробег, среднеквадратичное отклонение и глубина залегания примеси. Далее осуществляется расчет распределения концентрации свободных носителей заряда по глубине кристалла ниобата лития, при процессе ионной имплантации титана, которое соответствует распределению профиля показателя преломления. Программа позволяет отобразить результат расчета в виде графика, на котором представлено распределение введенной примеси по глубине кристалла
Программа для ЭВМ может быть использована для расчета ожидаемых параметров элементов фотонных интегральных схем на этапе их проектирования
Евгений
Шестериков
Викторович
заведующий лабораторией
Кандидат технических наук
Отсутствует
AAE-3450-2019
23995925500
599453
0000-0003-4844-8376
РОССИЯ
Игорь
Пташник
Васильевич
Директор
РОССИЯ
47.14.13
Проектирование и конструирование изделий электронной техники СВЧ-диапазона
47.14.03
Проектирование и конструирование радиодеталей и компонентов
02.11.IK
ENGINEERING, MANUFACTURING
Артём
Казимиров
Игоревич
Написание исходного текста программы
РОССИЯ
Иван
Кулинич
Владимирович
Формализация задачи
РОССИЯ
Ангелина
Гуляева
Алексеевна
Программная реализация алгоритма
РОССИЯ
Евгений
Шестериков
Викторович
Разработка данных программы
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИОА СО РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт оптики атмосферы им. В.Е. Зуева Сибирского отделения Российской академии наук
1027000880268
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения