Двухсторонний скоростной эллипсометр
эллипсометр, поляризационные приборы, оптические константы, скоростной эллипсометр
Изобретение относится к оптическим поляризационным приборам и может использоваться для экспрессного неразрушающего определения спектров оптических констант различных материалов и толщин тонких пленок. Эллипсометр включает последовательно расположенные вдоль оптической оси блок поляризатора с источником излучения и блок анализатора, содержащие призмы Глана-Томпсона,  при этом в поляризаторе в качестве источника излучения используют два идентичных набора полупроводниковых источников излучения, перекрывающих выбранный спектральный диапазон, поляризатор дополнительно содержит два фотоприемника и два светоделителя, расположенных перед призмой Глана-Томпсона, направляющих излучение на фотоприемники, при этом блок анализатора конструктивно полностью идентичен блоку поляризатора.
Неразрушающее определение спектров оптических констант различных материалов и толщин тонких пленок.
Чучева Г.В.
Зам.директора
Доктор физико-математических наук
Чучева Г.В.
Зам. директора
47.33.33
Оптоэлектронные приборы
47.09.29
Полупроводниковые материалы
29.19.33
Диэлектрики
47.33.29
Дискретные полупроводниковые приборы
47.09.33
Сегнетоэлектрики и пьезоэлектрики
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
02.05.PK
MATERIALS SCIENCE, CERAMICS
01.03.SY
OPTICS
Виталий
Ковалев
Иванович
Провел экспериментальную апробацию устройства
Сергей
Ковалев
Витальевич
Предложил ввести систему коллимирования пучков, расположенную перед светоделительными пластинами
Владимир
Ковалев
Витальевич
Предложил конструкцию устройства
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФИРЭ им. В.А.Котельникова РАН
Фрязинский филиал Федерального государственного бюджетного учреждения науки Институт радиотехники и электроники им. В.А.Котельникова Российской академии наук
1027700183708
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Филиалы юридических лиц