Способ получения нанокристаллов силицида железа α-FeSi2 с изменяемой преимущественной ориентацией
СИЛИЦИД ЖЕЛЕЗА, Α-FESI2, ТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ В СВЕРХВЫСОКОМ ВАКУУМЕ
Изобретение относится к технологии получения материалов нанометрового размера, состоящих из нанокристаллов силицида железа α-FeSi2 с контролируемо изменяемой преимущественной кристаллографической ориентацией, формой и габитусом, и может применяться для разработки новых функциональных элементов в спинтронике и нанотехнологии. Способ получения нанокристаллов силицида железа α-FeSi2 с изменяемой преимущественной ориентацией включает предварительную химическую подготовку поверхности подложки кремния в водном растворе плавиковой кислоты и ее очистку путем отжига при 840-900°С, осаждение слоя золота на подложку кремния ориентацией Si(001) при комнатной температуре методом термического испарения в сверхвысоком вакууме, повышение температуры подложки до 840°С и соосаждение железа и кремния при атомном соотношении от 1:2 до 3:1.
Техническим результатом изобретения является контролируемое получение нанокристаллов ?-FeSi2 на поверхности кремния с различными преимущественными кристаллографическими ориентационными соотношениями, изменяемой огранкой и формой нанокристалла ?-FeSi2 для одного и того же ориентационного соотношения. Может применяться для разработки новых функциональных элементов в спинтронике, нанотехнологии, к примеру служить буферными, ориентирующими слоями для последующего роста других материалов и фаз силицидов железа на подложках кремния промышленно используемой ориентации Si(001), в частности ?-FeSi2, для понижения напряжений и плотности дефектов в последнем.
Овчинников С.Г.
руководитель научного направления
Доктор физико-математических наук
Балаев Д. А.
директор
29.19.37
Теория магнитных свойств твердых тел
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Иван
Тарасов
Анатольевич
20%
Татьяна
Смолярова
Евгеньевна
15%
Максим
Высотин
Александрович
15%
Иван
Яковлев
Александрович
20%
Сергей
Варнаков
Николаевич
15%
Сергей
Овчинников
Геннадьевич
15%
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИФ СО РАН
Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук – обособленное подразделение ФИЦ КНЦ СО РАН
1022402133698
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Обособленные подразделения юридических лиц