Способ магнетронного напыления покрытий на движущуюся тонкую металлическую проволоку или полимерное оптоволокно
(Регистрация заявки на изобретение № 2024113314 от17.05.2024 г.)
ионно-плазменная модификация поверхности материалов магнетронное осаждение металлических покрытий магнетронные распылительные системы
Изобретение относится к области ионно-плазменной модификации поверхности материалов и представляет собой способ магнетронного осаждения металлических покрытий на подложки в виде тонкой, чувствительной к перегреву, металлической проволоки, а также полимерных оптоволокна или нитей.
Предложенное изобретение позволяет получать тонкие однородные покрытия (порядка 0.01 – 0.1 мкм) из различных металлов на чувствительные к перегреву тонкие (диаметром 0,1 мм и менее) металлическую проволоку или полимерное оптоволокно с производительностью не меньше 1 метра в минуту.
Это достигается за счет одновременной протяжки нескольких участков тонкой металлической проволоки или оптоволокна через одну и более магнетронных распылительных систем (МРС) с обращенными цилиндрическими катодами из напыляемых металлов. Количество МРС определяется количеством требуемых для напыления металлов. Для каждой комбинации напыления на проволоку или оптоволокно нужного диаметра определяют максимальную толщину напыляемого металла, при котором не происходит перегрева проволоки или оптоволокна, таким образом определяют режим работы МРС.
Получение покрытий на отдельных участках оптоволокна
55.22.19
Металлические покрытия
Анна
Коченева
Геннадьевна
"Отсутствует"
"Отсутствует"
РОССИЯ
Алексей
Лемзяков
Георгиевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"-"
"55647313100"
"766640"
"0000-0001-5680-9819"
РОССИЯ
Александр
Попов
Сергеевич
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"56443282200"
"127925"
РОССИЯ
Алексей
Петрожицкий
Валентинович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"HJA-6636-2022"
"26530537200"
"782539"
"0000-0002-6653-2232"
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ЯДЕРНОЙ ФИЗИКИ ИМ. Г.И. БУДКЕРА СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
1025403658136
ПАВЕЛ
ЛОГАЧЕВ
ВЛАДИМИРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ЯДЕРНОЙ ФИЗИКИ ИМ. Г.И. БУДКЕРА СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
1025403658136
ПАВЕЛ
ЛОГАЧЕВ
ВЛАДИМИРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения