Кремниевая структура с диэлектрической изоляцией для высоковольтных микросхем
карбидокремниевая технология, металлополимерный корпус, биполярный транзистор, полевой транзистор, диод Шоттки
Предполагаемая полезная модель относится к конструкции кремниевых структур с диэлектрической изоляцией для высоковольтных микросхем, а именно – для микросхем с напряжением питания более 100В.Техническим результатом предполагаемой полезной модели является повышение выхода годных за счет снижения влияния разброса толщины карманов на параметры высоковольтных микросхем.Указанный технический результат достигается тем, что известная кремниевая  структура с диэлектрической изоляцией для высоковольтных микросхем, состоящая из подложки на основе кремния, изолированных диэлектриком от подложки кремниевых монокристаллических карманов со скрытым слоем, легированным мышьяком, и выходящим на рабочую поверхность структуры по боковым стенкам карманов, дополнительно содержит скрытый слой на дне карманов, легированный фосфором дозой в интервале (2,5 – 3,5) ‧ 1013 ионов/см2 и глубиной больше глубины залегания мышьяка на 4-6 мкм.
Микроэлектроника. Техническим результатом предполагаемой полезной модели является повышение выхода годных за счет снижения влияния разброса толщины карманов на параметры высоковольтных микросхем.
Демидов А.А.
гнс
Доктор физико-математических наук
Федонин О. Н.
Ректор
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Константин
Герасимов
Александрович
0,2
Андрей
Демидов
Александрович
0,2
Татьяна
Шер
Борисовна
0,2
Иван
Куфтов
Владимирович
0,2
Николай
Брюхно
Александрович
0,2
ЗАО "Группа Кремний Эл"
Закрытое акционерное общество "Группа Кремний Эл"
1023202741781
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Непубличные акционерные общества
ФГБОУ ВО "БГТУ"
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Брянский государственный технический университет"
1023201058627
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения