Реактор для плазмохимического травления полупроводниковых структур
реактор высокоплотной и высокочастотной плазменной обработки, плазмохимическое травление полупроводниковых структур
Задача изобретения заключается в создании плазмохимического реактора для высокоскоростного травления кремния, диэлектрических и полупроводниковых материалов на подложках большого диаметра (200-300 мм), а так же высокоскоростного травления кварца, алмазоподобных пленок, карбида кремния и других материалов на глубину до 100 мкм и выше, где требуется высокая удельная ВЧ мощность на единицу поверхности для обеспечения высоких скоростей травления 1-5 мкм/мин. Технический результат изобретения заключается в повышении эффективности передаваемой от ВЧ генератора мощности в реактор за счет уменьшения потерь, что приводит к повышению плотности плазмы.
Изобретение относится к области микроэлектроники, в частности к реакторам высокоплотной и высокочастотной плазменной обработки, и может быть использовано в производстве полупроводниковых приборов и интегральных схем.
Одиноков В.В.
Заместитель генерального директора по науке
Доктор технических наук
Бирюков М. Г.
Генеральный директор
47.13.19
Прочие технологические процессы и оборудование в производстве радиоэлектронной аппаратуры
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.00
Electrical eng, electronic eng
02.11.00
Other engineering and technologies
Константин
Логунов
Владимирович
Разработка технологических решений
Вадим
Одиноков
Васильевич
Разработка технических решений
Владимир
Долгополов
Миронович
Разработка конструкции элементов устройства
Александр
Шубников
Валерьевич
Разработка конструкции элементов устройства
Георгий
Павлов
Яковлевич
Разработка технологических решений
Михаил
Бирюков
Георгиевич
Разработка технических решений
Павел
Иракин
Александрович
Разработка конструкции элементов устройства
АО НИИТМ
Акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения"
1027700037749
Организация
Приватизированные предприятия
Непубличные акционерные общества
АО НИИТМ
Акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения"
1027700037749
Организация
Приватизированные предприятия
Непубличные акционерные общества