Устройство для получения органических тонкопленочных покрытий в вакууме
вакуумная камера нанесение покрытий органические покрытия тонкие пленки Вакуумная техника
Полезная модель относится к вакуумным камерам и может быть использована для нанесения органических покрытий в вакууме на поверхность изделий для биомедицины, а также производства электронных компонентов и наноматериалов. Устройство состоит из вакуумной камеры с герметичными фланцевыми соединениями, к которым присоединены система откачки и контроля давления, смотровое окно, система перемещения подложки, на которой внутри камеры закреплена подложка, а также два вакуумных токоввода. На одном токовводе внутри камеры закреплен источник наносимого органического материала, к которому подключен регулируемый источник питания, на втором токовводе внутри камеры закреплены кварцевые микровесы, к которым подключен блок управления. После установки подложки в систему перемещения, вакуумная камера герметизируется и включается система откачки и контроля давления. При достижении давления в камере от 10-8 до 10-10 мбар включается источник наносимого органического материала, скорость напыления которого настраивается источником питания и контролируется кварцевыми микровесами, показания с которых считываются через блок управления микровесов. При помощи системы перемещения подложка размещается между источником материала и кварцевыми микровесами. Для наблюдения за перемещением образца в камере используется смотровое окно. После нанесения необходимого количества органического материала источник выключается, вакуумная камера разгерметизируется, и подложка с нанесенным органическим покрытием извлекается. Полученное в результате работы устройства органическое покрытие используется вместе с подложкой. Уменьшение побочных загрязнений (углерод, кислород) в нанесенном эпитаксиальном органическом покрытии достигается за счет использования многоступенчатой системы откачки, которая получает внутри вакуумной камеры сверхвысокий вакуум, и предварительно обезгаженного источника органического. Точная толщина нанесенного органического покрытия достигается за счет использования кварцевых микровесов соосно с подложкой и оптимально подобранных параметров на источнике питания под используемый напыляемый органический материал.
Устройство относится к вакуумным камерам и может быть использовано для нанесения тонкопленочных органических покрытий в вакууме на поверхность изделий для биомедицины, а также производства электронных компонентов и наноматериалов. Также устройство позволяет интегрироваться в текущую конфигурацию вакуумных систем для дальнейшей обработки нанесенного органического покрытия
Алексей
Курочкин
Викторович
директор ресурсного центра «Оптические и лазерные методы исследования вещества» Научный парк СПбГУ
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
R-9560-2016
7005534636
4183
0000-0003-1076-2968
РОССИЯ
Елена
Лебедева
Витальевна
Начальник Управления научных исследований
РОССИЯ
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Евгений
Жижин
Владимирович
РОССИЯ
Алексей
Комолов
Сергеевич
РОССИЯ
Дмитрий
Пудиков
Александрович
РОССИЯ
Правительство России
Правительство Российской Федерации
Организация
-
-
Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербургский университет, СПбГУ
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный университет"
1037800006089
Организация
Правительство Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения