Программа анализа шероховатости боковых стенок элементов рентгеновской оптики с помощью атомно-силовой микроскопии
шероховатость боковых стенок атомно-силовая микроскопия рентгеновская оптика
Программа для ЭВМ позволяет проанализировать изображения боковых стенок элементов рентгеновской оптики, полученных с помощью атомно-силовой микроскопии. Программа разделяет изображение на два отделеных изображения стенок относительно дна канавки. Положение дна канавки определяется с помощью недетерминированного алгоритма RANSAC. После разделения изображений проводится анализ вдоль канавки. После корректировки наклона стенок проводится анализ поперек канавки. При наличии кластеров минимумов и максимумов возможно определение шероховатости вдоль них. Задача кластеризации решается с помощью алгоритма DBSCAN. Анализ включает в себя оценку шероховатости линий и высотно-высотной корреляционной функции. Программа написана на языке Python, имеет графический пользовательский интерфейс ввода данных, вывод результатов анализа может быть загружен в формате .csv.
Анализ шероховатости боковых стенок элементов рентгеновской оптики для разработки оптимальной технологии формирования таких элементов
Александр
Рогожин
Евгеньевич
старший научный сотрудник
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
N-8835-2016
14042347400
165805
0000-0002-9554-673X
РОССИЯ
Владимир
Лукичев
Федорович
директор
РОССИЯ
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
Ольга
Пермякова
Олеговна
РОССИЯ
Александр
Рогожин
Евгеньевич
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФТИАН им. К.А.Валиева РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А.Валиева Российской академии наук
1037739352155
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения