Источник быстрых нейтральных молекул
Газовый разряд, плазма, эмиттер, холодный полый катод, нейтрализация, распыление.
Изобретение относится к вакуумно-плазменной технике, а именно к источникам быстрых нейтральных молекул, преимущественно к источникам потоков большого поперечного сечения быстрых нейтральных молекул для травления и нагрева изделий в рабочей вакуумной камере, в частности, перед нанесением на них покрытий с целью повышения адгезии и качества покрытий. Технический результат – повышение эффективности очистки обрабатываемых изделий за счет исключения осаждения на последних посторонних примесей.Источник быстрых нейтральных молекул, содержит газоразрядную камеру, источник питания разряда, положительный полюс которого соединен с анодом газоразрядной камеры, а отрицательный полюс соединен с ее катодом, рабочую вакуумную камеру для размещения обрабатываемых изделий,  ускоряющую сетку, размещенную между газоразрядной камерой и рабочей вакуумной камерой и соединенную с последней через резистор, источник ускоряющего напряжения, положительный полюс которого соединен с анодом газоразрядной камеры, а
Возможным направлением использования данного изобретения является область проектирования и изготовления инновационных конструкций вакуумно-плазменного оборудования, а также совершенствование установок, используемых в промышленности и лабораториях.
Метель А.С.
Главный научный сотрудник
Пинчук А. Ю.
Первый проректор
55.22.01
Общие вопросы
02.00.00
Engineering and Technology
Марина
Волосова
Александровна
экспериментальная реализация и апробация предлагаемого технического решения
Александр
Метель
Сергеевич
разработка технического решения по выполнению ускоряющей сетки в виде набора параллельных пластин
Юрий
Мельник
Андреевич
разработка конструкции  вакуумной камеры с которой через резистор соединена ускоряющая сетка
Сергей
Григорьев
Николаевич
разработка общей конструкции газоразрядной камеры источника быстрых нейтральных молекул
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГБОУ ВО «МГТУ «СТАНКИН»
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
1037700246451
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения