Способ изготовления распыляемой композитной мишени, содержащей фазу Гейслера Co2MnSi
СПЛАВА ГЕЙСЛЕРА, CO2MNSI, ЭЛЕКТРОИМПУЛЬСНОЕ ПЛАЗМЕННОЕ СПЕКАНИЕ
Изобретение относится к изготовлениюраспыляемой композитной мишени, содержащей фазу сплава Гейслера Co2MnSi, которая может быть использована при производстве микроэлектроники. Способ включаетмеханическое смешивание порошков компонентов сплава с получением однородной порошковой смеси и ее спекание-прессование. Спекание-прессование порошковой смеси при температуре 600°С и давлении 2,5 кН путемпропускания последовательностей импульсов постоянного тока до 5 кА с длительностью импульса 3,3 мс через засыпку порошковой смеси с получением компакта. Полученный компакт плавят в кварцевом тигле индукционной печи при 1300°С в течение 3 часов с получением гомогенизированного слитка.  Обеспечивается получение гомогенизированной по составу механически прочной композитной мишени, которая имеет пористость в диапазоне 2-40% и содержит исключительно фазу сплава Гейслера стехиометрического состава
Производство микроэлектроники
Демидов Е.С.
Профессор
Доктор физико-математических наук
Загайнова Е. В.
Ректор
29.19.15
Фазовые равновесия и фазовые переходы
29.19.04
Структура твердых тел
01.01.UR
PHYSICS, MATHEMATICAL
Владимир
Чувильдеев
Николаевич
исполнитель
Никита
Сахаров
Владимирович
исполнитель
Виктор
Сдобняков
Владимирович
исполнитель
Валерий
Лесников
Павлович
исполнитель
Владимир
Трушин
Николаевич
исполнитель
Максим
Болдин
Сергеевич
исполнитель
Юрий
Чигиринский
Исаакович
исполнитель
Олег
Белкин
Анатольевич
исполнитель
Евгений
Демидов
Сергеевич
руководитель
Александр
Бобров
Андреевич
исполнитель
ННГУ им. Н.И. Лобачевского
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского».
1025203733510
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения