Методика изменения штатной технологии вакуумного напыления ABAD с целью увеличения скорости роста текстуры и скорости осаждения текстурированного буферного слоя, при уменьшении сопутствующих загрязнений буферного слоя
оксид циркония кристаллографическая текстура технология вакуумного напыления ABAD осаждение буферного  оксидного слоя Высокотемпературный сверхпроводник
Одной из известных технологий изготовления сверхпроводящих лент на основе высокотемпературных сверхпроводников (ВТСП), является  последовательное нанесение нескольких текстурированых буферных оксидных слоев, а на поверхность последнего наносится ВТСП слой. Ключевой (первый) оксидный слой – оксид циркония, стабилизированный оксидом иттрия (YSZ) наносится по технологии вакуумного напыления ABAD (один из вариантов осаждения оксида с использованием ассистирующего ионного пучка). Предложенное в ноу-хау методика приводит к оптимизации профиля поперечного сечения ионных пучков для осаждения текстурированного оксидного буферного слоя YSZ. Данная методика позволяет уменьшить на 20% время технологического процесса осаждения текстурированного буферного оксидного слоя без ухудшения остроты текстуры. При этом, значения параметра FWHM (ширина текстурного максимума) для слоя YSZ находятся в требуемом диапазоне 9,3°- 10,0°. Изменения в технологии сводят к минимуму паразитное распыление материала диафрагмы. Материал диафрагмы не переносится на поверхность ленты-подложки и распыляемой мишени, что улучшает стабильность технологического процесса в целом. Изменение в технологии не требует кардинального изменения штатного технологического процесса.
Опытно-промышленное производство ВТСП проводов
Сергей
Шавкин
Викторович
Начальник отдела
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
P-9689-2015
6603299899
4546-4921
0000-0001-7369-5032
РОССИЯ
Кирилл
Борисов
Евгеньевич
Главный ученый секретарь Центра
РОССИЯ
47.13.08
Технология и оборудование для производства приборов криоэлектроники и сверхпроводящих устройств
47.09.39
Сверхпроводящие материалы
45.09.33
Сверхпроводниковые материалы
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
02.05.PK
MATERIALS SCIENCE, CERAMICS
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Сергей
Шавкин
Викторович
25%
РОССИЯ
Владислав
Крылов
Евгеньевич
25%
РОССИЯ
Виталий
Круглов
Сергеевич
25%
РОССИЯ
Денис
Лазарев
Владимирович
25%
РОССИЯ
Правительство России
Правительство Российской Федерации
Организация
-
-
НИЦ "Курчатовский институт"
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ"
1027739576006
МАРАТ
КАМБОЛОВ
АРКАДЬЕВИЧ
Организация
Правительство Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения