Способ временного бондинга для формирования тонких пластин
изготовление интегральных схем микроэлектроника
Изобретение относится к электронной технике, в частности, к микроэлектронике, и может быть использовано при изготовлении кристаллов интегральных схем (ИС) и дискретных полупроводниковых приборов, представляющих тонкую пластину. Суть изобретения состоит в измерении операционных параметров процесса соединения пластин для минимизации кривизны микросборки.
Для преодоления технологических барьеров в соответствии с дорожной картой сквозной цифровой технологии «компоненты робототехники и сенсорика»
Алексей
Переверзев
Леонидович
Руководитель ЛИЦ
Доктор технических наук
Доцент
C-9418-2017
57150587000
211223
0000-0002-5834-5138
РОССИЯ
Сергей
Гаврилов
Александрович
Проректор
РОССИЯ
59.35.71
Узлы, блоки, элементы, детали приборов для измерения состава и физико-химических свойств веществ и материалов
59.14.21
Проектирование и конструирование электронных измерительных приборов
55.30.33
Технологическая оснастка, периферийные устройства и вспомогательное оборудование роботов и манипуляторов
47.13.10
Технология и оборудование для производства изделий электронной техники СВЧ-диапазона
01.02.ET
COMPUTER SCIENCE, INFORMATION SYSTEMS
Евгений
Гусев
Эдуардович
оформление текста заявки
РОССИЯ
Николай
Дюжев
Алексеевич
постановка задачи
РОССИЯ
Михаил
Фомичев
Юрьевич
проведение патентного поиска
РОССИЯ
Павел
Иванин
Сергеевич
разработка структуры заявки
РОССИЯ
Максим
Махиборода
Александрович
корректировка текста заявки
РОССИЯ
ФОНД НТИ
ФОНД ПОДДЕРЖКИ ПРОЕКТОВ НАЦИОНАЛЬНОЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ ИНИЦИАТИВЫ
1167700062529
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Фонды
МИЭТ;  Национальный исследовательский университет "МИЭТ"; НИУ МИЭТ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
1027739615584
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения