Способ создания регулярных симметричных наноразмерных углублений на поверхности полупроводниковой подложки
регулярные наноразмерные углубления симметричные наноразмерные углубления наноразмерные углубления на полупроводниковых подложках фокусированные-ионные пучки молекулярно-лучевая эпитаксия
Предполагаемый способ относится к области электроники и оптоэлектроники и может быть использован при создании структур активных элементов нано- и оптоэлектроники и интегральных схем на их основе. Технический результат достигается за счет того, что для формирования регулярных симметричных наноразмерных углублений в заданных точках поверхности используется метод фокусированных ионных пучков, с помощью которого сначала в заданных точках поверхности полупроводниковой подложки формируются наноразмерные углубления заданных размеров, а затем производится высокотемпературный отжиг полупроводниковой подложки, в ходе которого сформированные углубления приобретают симметричную форму пирамиды, ограненную кристаллографическими плоскостями, с одной вершиной, выступающей в качестве единственного центра нуклеации, а также устраняются генерируемые фокусированным ионным пучком в полупроводниковой подложке радиационные дефекты и восстанавливается кристаллическая структура материала подложки в области наноразмерных углублений, что в дальнейшем однозначно задает положение точки формирования и способствует получению воспроизводимых и однородных самоорганизующихся наноструктур в них.
Создание структур активных элементов нано- и оптоэлектроники и интегральных схем на их основе.
Максим
Солодовник
Сергеевич
ведущий научный сотрудник
Кандидат технических наук
Отсутствует
E-6432-2014
55532133500
744633
https://sfedu.ru/person/solodovnikms
0000-0002-0557-5909
РОССИЯ
Анатолий
Метелица
Викторович
Проректор по научной и исследовательской деятельности
РОССИЯ
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
02.05.PM
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Наталия
Черненко
Евгеньевна
РОССИЯ
Данил
Кириченко
Владимирович
РОССИЯ
Сергей
Балакирев
Вячеславович
РОССИЯ
Никита
Шандыба
Андреевич
РОССИЯ
Максим
Солодовник
Сергеевич
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1026103165241
ИННА
ШЕВЧЕНКО
КОНСТАНТИНОВНА
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения