Способ получения тонких пленок оксида галлия
оксид галлия тонкие пленки
Изобретение относится к химии, а именно производству полупроводникового оксида галлия для изготовления оптических элементов и широкозонных полупроводниковых устройств. Изобретение позволяет исключить загрязнение получаемого оксида галлия за счет полного разложения исходных элементных веществ, а также уменьшить количество примесей, поступающих из материалов аппаратуры. Способ получения оксида галлия включает загрузку начальных веществ, содержащих галлий в горизонтальный трубчатый плазмохимический реактор, инициирование реакции взаимодействия галлия и кислорода высокочастотным плазменным разрядом в условиях неравновесной плазмы при пониженном давлении с образованием тонких пленок оксида галлия. В качестве исходных веществ используют элементные галлий Ga и кислород O, а в качестве транспортного и плазмообразующего газа используют инертный газ аргон Ar . Получение самого оксидного полупроводника проводят путем осаждения материала на подложку в реакторе и установки ее в резистивную печь для сублимации галлия. Устройство содержит плазмохимический реактор и вакуумную систему.
Химическая промышленность
Игорь
Прохоров
Олегович
-
Отсутствует
Отсутствует
0
57212583037
РОССИЯ
Игорь
Прохоров
Олегович
-
РОССИЯ
61.31.51
Остальные элементы, оксиды, минеральные кислоты, основания, соли
02.04.II
ENGINEERING, CHEMICAL
Михаил
Кудряшов
Александрович
Проведение исследований
РОССИЯ
Максим
Вшивцев
Анатольевич
Проведение исследований
РОССИЯ
Игорь
Прохоров
Олегович
Руководитель проекта
РОССИЯ
Леонид
Мочалов
Александрович
Проведение исследований
РОССИЯ
Александр
Логунов
Александрович
Проведение исследований
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Игорь
Прохоров
Олегович
Физическое лицо
РОССИЯ