Устройство наноструктурирования  поверхности диэлектрической подложки  с помощью ближнепольной литографии
НАНОСТРУКТУРИРОВАНИЕ, ЛАЗЕР, МАСШТАБ, ИЗЛУЧЕНИЕ, БЛИЖНЕПОЛЬНАЯ ЛИТОГРАФИЯ, ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ ПОДЛОЖКА
Полезная модель относится к устройствам лазерного наноструктурирования поверхности с использованием массива упорядоченных диэлектрических мезомасштабных фокусирующих устройств, формирующих максимумы распределения интенсивности лазерного поля, где происходит формирование структур с масштабами, меньшими длины волны исходно используемого излучения.
использование предлагаемой полезной модели позволяет создать простое устройства получения упорядоченных наноразмерных структур на поверхности диэлектрической подложки большой площади с помощью ближнепольной литографии с высоким качеством лазерного наноструктурирования поверхности диэлектрической подложки.
Минин И.В.
профессор
Доктор технических наук
Карпик А. П.
ректор
29.33.17
Методы управления оптическим излучением
01.01.UR
PHYSICS, MATHEMATICAL
Олег
Минин
Владиленович
50 %
Игорь
Минин
Владиленович
50 %
СГУГиТ
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный университет геосистем и технологий"
1025401493061
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения