Способ изготовления кремниевого интегрально-оптического волновода
ИНТЕГРАЛЬНО-ОПТИЧЕСКИЙ ВОЛНОВОД, КРЕМНИЙ, ИНТЕГРАЛЬНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
Интегральные волноводы со сверхнизкими потерями являются основным элементом для интегральной оптики для применений где требуется длинные линии задержки, резонаторы с высокой добротностью, узкополосные фильтры. Основной причиной оптических потерь в интегрально-оптическом волноводе является неровность и шероховатость поверхности его сердцевины.Разработанный способ изготовления позволяет интегральным способом сформировать кремниевую сердцевину волновода на кремниевой подложке с последующим формированием оболочки из оксида кремния.
Информационно-телекоммуникационные системы
Генералов С.С.
начальник лаборатории
Сницар В.Г.
Зам. директора по инновационной деятельности
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.00
Electrical eng, electronic eng
Сергей
Никифоров
Валерьевич
Способ изготовления кремниевого интегрально-оптического волновода
Дмитрий
Горелов
Викторович
Способ изготовления кремниевого интегрально-оптического волновода
Сергей
Генералов
Сергеевич
Способ изготовления кремниевого интегрально-оптического волновода
Анастасия
Якухина
Владмировна
Способ изготовления кремниевого интегрально-оптического волновода
Владимир
Амеличев
Викторович
Способ изготовления кремниевого интегрально-оптического волновода
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НПК "Технологический центр"
Федеральное государственное бюджетное научное учреждение «Научно-производственный комплекс «Технологический центр"
1027700428480
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения