"Способ формирования тонкопленочного люминофора структуры иттрий-алюминиевый гранат, с возможностью легирования редкоземельными металлами в качестве примеси (Y3Al5O12:Re)"
ГЕНЕРАТОР ПЛАЗМЫ ЛЮМИНОФОР ЭЛЕКТРОННО-ОПТИЧЕСКИЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ЛЮМИНОФОРНОЕ ПОКРЫТИЕ
Техническое решение относится к способу формирования оптических люминофорных покрытий для электронно-оптических преобразователей, используемых в приборах ночного видения.
Техническим результатом заявленного изобретения является возможность формирования тонкопленочного люминофора толщиной порядка длины свободного пробега электрона с энергиями, используемыми в современных приборах ночного видения (4-10 кэВ). 
Технический результат данной заявки на изобретение достигается тем, что осаждение прекурсора люминофорного покрытия осуществляется при одновременной работе трех среднечастотных магнетронных распылительных систем с однокомпонентными мишенями (из алюминия, иттрия и редкоземельного металла) на частотах ниже 100 кГц с одновременным напуском в зону роста формирования на подложке покрытия молекулярного кислорода, с последующей диссоциацией и ионизацией с помощью высокочастотного индуктивного генератора плазмы и проведением последующего после осаждения покрытия  высокотемпературного отжига в среде воздуха при температуре выдержки 1200 ºС в течении 6 часов.
Возможность формирования тонкопленочного люминофора толщиной порядка длины свободного пробега электрона с энергиями, используемыми в современных приборах ночного видения (4-10 кэВ)
29.31.23
Люминесценция
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
29.19.04
Структура твердых тел
Артем
Рунц
Алексеевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"-"
"-"
"-"
"-"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ТУСУР, ФГБОУ ВО "ТУСУР", ФГБОУ ВО "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ", ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ"
1027000867068
ВИКТОР
РУЛЕВСКИЙ
МИХАЙЛОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения