Тестовый кристалл, содержащий базовые элементы, для СВЧ-характеризации отечественного КМОП технологического процесса с проектной нормой 180 нм
Тестовый кристалл Базовый элемент СВЧ-характеризация КМОП технологический процесс
Тестовый кристалл (ТК) предназначен для оценки типовых и предельных значений высокочастотных параметров базовых элементов (БЭ) отечественного КМОП технологического процесса с проектной нормой 180 нм, верификации в диапазоне СВЧ и коррекции (при необходимости) цифровых моделей БЭ. ТК включает в своем составе: радиочастотные n-канальные МОП-транзисторы (в т.ч. изолированные) для усилительного и ключевого применения, варикапы на основе МОП-структуры, конденсаторы на основе структуры «металл-диэлектрик-металл», интегральные катушки индуктивности, низкоомные резисторы, СВЧ линии передачи, СВЧ экранированные контактные площадки, структуры для оценки паразитной связи по подложке, структуры «холостой ход» и «короткое замыкание».
Тестовый кристалл может использоваться для решения одной или нескольких задач СВЧ-характеризации отечественного 180 нм КМОП технологического процесса:
- оценка типовых и предельных значений высокочастотных параметров базовых элементов;
- сравнительный анализ различных конструктивно-топологических решений, применяемых в базовых элементах, оценка их эффективности;
- верификация в диапазоне СВЧ и при необходимости коррекция цифровых моделей базовых элементов из состава стандартной библиотеки комплекта средств проектирования.
Александр
Кузнецов
Геннадьевич
научный сотрудник
Отсутствует
Отсутствует
AAJ-6007-2021
57189600667
880978
https://orcid.org/0000-0003-2139-7548
РОССИЯ
Николай
Каргин
Иванович
проректор
РОССИЯ
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
47.03.05
Теоретические основы полупроводниковых приборов, микроэлектроники
47.03.10
Теоретические основы электронной техники СВЧ
47.14.13
Проектирование и конструирование изделий электронной техники СВЧ-диапазона
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Александр
Ермаков
Викторович
РОССИЯ
Денис
Сотсков
Иванович
РОССИЯ
Александр
Кузнецов
Геннадьевич
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НИЯУ МИФИ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЯДЕРНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИФИ"
1037739366477
ВЛАДИМИР
ШЕВЧЕНКО
ИГОРЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения