Способ изготовления катодов для установок магнетронного распыления с помощью электрофизической и механической обработки (2021111901)
КАТОДЫ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ ЭЛЕКТРОЭРОЗИОННАЯ ОБРАБОТКА МЕХАНИЧЕСКАЯ ДОРАБОТКА
Предложен способ, в котором вначале  осуществляют электроэрозионную обработку заготовки, при которой от прутка отрезают диск. Затем путем тонкого чистового точения с обеих сторон обеспечивают заданные параметры поверхности, при этом электроэрозионную обработку заготовки осуществляют на проволочно­вырезном станке с числовым программным управлением, обеспечивающим точность размеров с учетом припусков на последующую механическую обработку. После чего осуществляют тонкое чистовое точение торцев полученного диска, при которой он обрабатывается с одного торца а затем переворачивается и производится обработка противоположного торца.
Предложенный способ обеспечивает получение катодов для установок магнетронного распыления с требуемыми параметрами химического состава и шероховатости поверхности, а так же обеспечивает простоту изготовления и минимизацию отходов. Изобретение относится к области машиностроения в частности к обработке и изготовлению деталей типа «диск» и может быть использован для изготовления катодов для установок магнетронного распыления из редких и как следствие дорогих металлов, так как отход при обработке минимален.
Николай
Бобков
Владимирович
Ассистент
Отсутствует
Отсутствует
S-1503-2016
57194829384
819427
0000-0002-5831-282X
РОССИЯ
Василий
Фефелов
Федорович
Проректор по НИД
РОССИЯ
55.19.05
Основы обработки абразивным инструментом
55.20.27
Комбинированные методы обработки
55.20.17
Электроэрозионная обработка
02.03.IU
ENGINEERING, MECHANICAL
02.11.IK
ENGINEERING, MANUFACTURING
Николай
Бобков
Владимирович
разработка способа
РОССИЯ
Алексей
Федоров
Аркадьевич
разработка способа
РОССИЯ
Антон
Демин
Сегреевич
разработка способа
РОССИЯ
Денис
Полонянкин
Андреевич
разработка способа
РОССИЯ
Александр
Блесман
Иосифович
разработка способа
РОССИЯ
Юлия
Бредгауэр
Олеговна
разработка способа
РОССИЯ
Сергей
Петроченко
Валерьевич
разработка способа
РОССИЯ
ФГБОУ ВО "Омский государственный технический университет", ОмГТУ
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего  образования "Омский государственный технический университет"
1025500531550
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения