Способ изготовления малогабаритной атомной ячейки с парами щелочного металла
атомная ячейка газовая ячейка атомные часы парощелочная ячейка МЭМС ячейка квантовый стандарт частоты магнитометр с оптической накачкой микросистемная техника плазменное травление анизотропное травление
Предложен способ изготовления атомной ячейки в виде плоского миниатюрного чипа, содержащего полость с источником паров щелочного металла, соединенную каналами с полостью оптической камеры, заключающийся в том, что на поверхности кремниевой пластины формируют первый уровень маски с топологией полостей и каналов, выполненный из диоксида кремния, и/или нитрида кремния, и/или оксинитрида кремния, поверх него формируют второй уровень маски с топологией полостей, выполненный из хрома и/или фоторезиста, выполняют сквозные полости в пластине сверлением или ионно-плазменным травлением кремния, удаляют второй уровень маски, выполняют каналы щелочным травлением кремния, удаляют первый уровень маски, далее в любом порядке проводят заполнение одной полости источником паров, двухстороннюю герметизацию пластины стеклянными пластинами в инертной атмосфере и активацию источника лазерным нагревом.
Изобретение относится к микросистемной технике и технологиям микроэлектромеханических систем (МЭМС), а именно к способу группового изготовления миниатюрных атомных ячеек с парами щелочных металлов, и может быть использовано при создании квантовых устройств различного применения, таких как квантовый стандарт частоты, магнитометр с оптической накачкой, ядерный гироскоп, атомный чип, системы квантовой спектроскопии.
Алексей
Боровков
Иванович
Проректор по цифровой трансформации
Кандидат технических наук
Доцент
G-3055-2011
840090300
6567
РОССИЯ
Юрий
Фомин
Владимирович
Проректор по научной работе
РОССИЯ
29.05.15
Квантовая механика
29.29.15
Электронные оболочки атомов
01.03.UH
PHYSICS, ATOMIC, MOLECULAR & CHEMICAL
Алексей
Казанкин
Николаевич
РОССИЯ
Платон
Карасев
Александрович
РОССИЯ
Иван
Комарцев
Михайлович
РОССИЯ
Анастасия
Кондратьева
Сергеевна
РОССИЯ
Яков
Эннс
Борисович
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГАОУ ВО СПБПУ,СПБПУ,ФГАОУ ВО "СПБПУ", САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ПЕТРА ВЕЛИКОГО
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ПЕТРА ВЕЛИКОГО"
1027802505279
АНДРЕЙ
РУДСКОЙ
ИВАНОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения