ТЕСТОВАЯ СТРУКТУРА ДЛЯ ОТРАБОТКИ УНИФИЦИРОВАННОЙ ТЕХНОЛОГИИ ПРОИЗВОДСТВА МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ УСТРОЙСТВ ЛОКАЛЬНОЙ НАВИГАЦИИ
Локальная навигация Микроэлектроника МЭМС-датчики Технология производства МЭМС
Изобретение относится к МЭМС (микроэлектромеханическим) структурам и может быть использовано для отработки унифицированной технологии производства МЭМС-устройств локальной навигации и последующего контроля качества МЭМС-элементов устройств локальной навигации, изготовленных на различных микроэлектронных технологических линейках. Тестовая структура содержит характерные для МЭМС-устройств локальной навигации элементы, такие как инерциальная масса, упругие подвесы, емкостные гребенчатые структуры нескольких типов, стопорные элементы, контактные площадки и являются своего рода собирательным образом МЭМС-устройств локальной навигации.  Также тестовая структура дополнительно оснащена нониусной шкалой, выполненной с предельными заявленными технологическими нормами, позволяющей производить экспресс проверку работоспособности чувствительных элементов тестовой структуры на уровне пластины. Тестовая структура содержит две топологически идентичные части, повернутые под углом 90 градусов друг к другу, благодаря чему оказывается возможна проверки качества изготовления в ортогональных направлениях.
Может быть использовано для отработки унифицированной технологии производства МЭМС-устройств локальной навигации и последующего контроля качества МЭМС-элементов устройств локальной навигации, изготовленных на различных микроэлектронных технологических линейках
Данил
Челапкин
Геннадьевич
Главный специалист
Отсутствует
Отсутствует
-
-
РОССИЯ
Анатолий
Знатнов
Александрович
Генеральный директор
РОССИЯ
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Олег
Яковлев
Юльевич
РОССИЯ
Даниил
Науменко
Валерьевич
РОССИЯ
Александр
Романов
Аркадьевич
РОССИЯ
Данил
Челапкин
Геннадьевич
РОССИЯ
Игорь
Зарубин
Михайлович
РОССИЯ
Геннадий
Силаков
Олегович
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "ЭЛЕКТРОНСЕРВИС"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ЭЛЕКТРОНСЕРВИС"
1157746023654
АНАТОЛИЙ
ЗНАТНОВ
АЛЕКСАНДРОВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью