Способ изготовления копланарных линий с высоким аспектным соотношением посредством методов высокоразрешающей фотолитографии
Микрочипы Копланарная линия Электромагнитная волна Фотолитография СВЧ-устройства плазмо-химическое травление Фоторезист
В рамках НИР «Разработка новых научно-технических решений, направленных на создание фотонной компонентной базы для телекоммуникационного оборудования, центров обработки данных и систем радиолокации» коллективом авторов был разработан оригинальный способ изготовления копланарных линий с использованием доступных в Российской Федерации фоторезистов. Его особенностью является применение плазмохимического травления для формирования толстоплёночной фоторезистивной маски. Для обеспечения травления фоторезиста в области пробельных окон используется алюминиевая маска, устойчивая к кислородной и фторсодержащей плазме. При этом получение вертикальных стенок маски обеспечивается направленным движения ионов плазмы в сформированном электрическом поле между подложкой и корпусом установки.
Электроника и СВЧ-техника, производство печатных плат
Александр
Бобров
Игоревич
научный сотрудник
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
AAG-9838-2020
55091019400
878463
https://person.unn.ru/alexandr.bobrov
0000-0001-5808-3628
РОССИЯ
Михаил
Иванченко
Васильевич
проректор по научной работе
РОССИЯ
47.59.49
Печатные платы. Печатные узлы
47.13.10
Технология и оборудование для производства изделий электронной техники СВЧ-диапазона
47.13.17
Технология производства печатных плат. Печатный монтаж
Наталья
Малехонова
Викторовна
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"E-8650-2018"
"55516630100"
"733746"
""
"0000-0001-9184-2681"
РОССИЯ
Андрей
Шушунов
Николаевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"E 6652-2014"
"6503995308"
"111909"
"https://person.unn.ru/shushunov"
"0000-0002-5904-5719"
РОССИЯ
Кирилл
Сидоренко
Викторович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"R-9808-2016"
"24451318900"
"980415"
"https://person.unn.ru/kirill.sidorenko"
"0000-0002-1079-6933"
РОССИЯ
Алексей
Нежданов
Владимирович
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"А.7059-2014"
"25031787800"
"186637"
"https://person.unn.ru/nezhdanov"
"0000-0002-7484-106X"
РОССИЯ
Елизавета
Юртова
Игоревна
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"HKW-4340-2023"
"нет"
"https://person.unn.ru/yurtova"
"0000-0002-4090-3023"
РОССИЯ
Александр
Чигинев
Валерьевич
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"-"
"-"
"-"
"http://www.ipmras.ru/institute/persons/staff/178-chiginev-aleksandr-valerevich/"
"-"
РОССИЯ
Александр
Бобров
Игоревич
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"AAG-9838-2020"
"55091019400"
"878463"
"https://person.unn.ru/alexandr.bobrov"
"0000-0001-5808-3628"
РОССИЯ
Константин
Лихницкий
Владимирович
"Кандидат технических наук"
"Отсутствует"
"HKW-7146-2023"
"57205608532"
"885966"
"0000-0002-7312-0308"
РОССИЯ
Ольга
Мухина
Владимировна
"Отсутствует"
"Отсутствует"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ НИЖЕГОРОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. Н.И. ЛОБАЧЕВСКОГО, НИЖЕГОРОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. Н.И. ЛОБАЧЕВСКОГО, ННГУ ИМ. Н.И. ЛОБАЧЕВСКОГО, УНИВЕРСИТЕТ ЛОБАЧЕВСКОГО, ННГУ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ НИЖЕГОРОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. Н.И. ЛОБАЧЕВСКОГО"
1025203733510
ЕЛЕНА
ЗАГАЙНОВА
ВАДИМОВНА
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения