СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ КАТОДОВ ДЛЯ
УСТАНОВОК МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ ИЗ
ТУГОПЛАВКИХ МЕТАЛЛОВ
механическая обработка электроэрозионная обработка магнетронное распыление катод
Предложен способ, в котором в начале осуществляют электроэрозионную обработку заготовки, при которой от прутка отрезают диск. Затем путем тонкого чистового точения с обеих сторон обеспечивают заданные параметры поверхности, при этом электроэрозионную обработку заготовки осуществляют на проволочно-вырезном станке с числовым программным управлением, обеспечивающим точность размеров с учетом припусков на последующую механическую обработку. После чего осуществляют тонкое чистовое точение торцев полученного диска, при которой он обрабатывается с одного торца, а затем переворачивается и производится обработка противоположного торца.
Предложенный способ обеспечивает получение катодов для установок магнетронного распыления с требуемыми параметрами химического состава и шероховатости, а так же обеспечивает простоту изготовления и минимизацию отходов. Изобретение относится к области машиностроения в частности к обработке и изготовлению деталей типа "диск" и может быть использован для изготовления катодов для магнетронного распыления  из редких  и, как следствие, дорогих металлов, так как отход при обработке минимален
Юлия
Бредгауэр
Олеговна
ассистент
Отсутствует
Отсутствует
ABF-3261-2020
57208868308
8551-8356
0000-0002-0267-8179
РОССИЯ
Василий
Фефелов
Федорович
проректор по НИД
РОССИЯ
55.19.01
Общие вопросы
55.22.01
Общие вопросы
02.03.AI
ENGINEERING, AEROSPACE
02.03.IU
ENGINEERING, MECHANICAL
Юлия
Бредгауэр
Олеговна
Исполнитель
РОССИЯ
Алексей
Федоров
Аркадьевич
Руководитель
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Юлия
Бредгауэр
Олеговна
Физическое лицо
РОССИЯ