Программа расчета параметризуемой трехмерной модели интегрального микромеханического акселерометра
микроэлектромеханические системы акселерометр моделирование
Разработанная программа предназначена для расчета параметризуемой трехмерной модели интегрального микромеханического акселерометра с осью чувствительности Z для проведения последующего анализа собственных частот колебания инерционных масс, жесткости подвесов данной конструкции. Исходными данными являются геометрические размеры устройства, электромеханические свойства структурного материала. Модель расчета структуры интегрального микромеханического акселерометра параметризуема.
Проектирование и реинжиниринг электронной компонентной базы
Игорь
Лысенко
Евгеньевич
Директор ПИШ ЮФУ
Доктор технических наук
Профессор
-
-
РОССИЯ
Анатолий
Метелица
Викторович
Проректор по научной и исследовательской деятельности
РОССИЯ
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Игорь
Лысенко
Евгеньевич
РОССИЯ
РФФИ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "РОССИЙСКИЙ ФОНД ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ"
1037739411489
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Российский фонд фундаментальных исследований"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Южный федеральный университет,  ФГАОУ ВО "ЮФУ"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
1026103165241
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью