Способ азотирования покрытий из оксида титана на твердой подложке
оскид титана азотирование плазмотрон гидрофильность гидрофобность твердость
Изобретение относится к области термо-химической обработки материалов, находящихся в твердой фазе, путем воздействия низкотемпературной плазмы азота атмосферного давления.
В способе азотирования покрытий из оксида титана на твердой подложке, содержащем воздействие на покрытие низкотемпературной азотной плазмой, на покрытие воздействуют низкотемпературной азотной плазмой атмосферного давления на открытом воздухе без предварительного подогрева покрытия в течение 0,8-1,1 мин в диапазоне температур 4-10 кК. для получения пленки твердостью 25,5 -27 Гпа, причем при воздействии на пленку плазмой со среднемассовой температурой  4-5 кК обеспечивают гидрофильность покрытия, а при воздействии на пленку плазмой со среднемассовой температурой  7-10 кК обеспечивают гидрофобность покрытия. В качестве источника плазмы применен плазмотрон постоянного тока.
Результаты проведенных экспериментов показывают промышленную применимость способа в области термо-химической обработки материалов, находящихся в твердой фазе
Владимир
Каневский
Михайлович
руководитель ИК РАН
Доктор физико-математических наук
Отсутствует
-
-
-
РОССИЯ
Анастасия
Кривоносова
Юрьевна
делопроизводитель
РОССИЯ
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
29.19.31
Полупроводники
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
01.03.UI
PHYSICS, MULTIDISCIPLINARY
Андрей
Буташин
Викторович
20 %
РОССИЯ
Арсен
Муслимов
Эмирбегович
20 %
РОССИЯ
Владимир
Каневский
Михайлович
20 %
РОССИЯ
Махач
Гаджиев
Хайрудинович
20 %
РОССИЯ
Александр
Тюфтяев
Семенович
20 %
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФЕДЕРАЛЬНЫЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "КРИСТАЛЛОГРАФИЯ И ФОТОНИКА" РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
1037739548747
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения