Термокаталитический сенсор на основе керамической МЭМС платформы и способ его изготовления
термокаталитический сенсор керамическая МЭМС платформа газовый анализ микроплоттерная печать аэрозольная печать
Изобретение относится к устройствам газового анализа, а именно к газовым сенсорам термокаталитического типа, и предназначено для реализации более экономически выгодного и воспроизводимого способа их изготовления. Изобретение может быть использовано в различных областях науки, промышленности и техники для обнаружения и определения концентрации горючих газов и паров в атмосфере.
Термокаталитический сенсор на основе керамической МЭМС платформы содержит микронагреватель, токоподводы микронагревателя и слой каталитически активного материала, которые сформированы на тонкой мембране из LTCC стеклокерамики толщиной 10–30 мкм, которая покрывает подложку из LTCC стеклокерамики толщиной 0,2–1 мм, в которой выполнено отверстие диаметром 3–5 мм, при этом микронагреватель сформирован на участке мембраны, расположенном над отверстием. Слой каталитически активного материала сформирован на обратной относительно микронагревателя стороне LTCC мембраны в зоне расположения микронагревателя. Формирование микронагревателя и токоподводов микронагревателя осуществляют методом аэрозольной печати, а формирование слоя каталитически активного материала осуществляют методом микроплоттерной печати. В качестве чернил для формирования микронагревателя и токоподводов микронагревателя методом аэрозольной печати используют дисперсию на основе платиновых наночастиц со средним размером, лежащим в диапазоне 10–50 нм, с вязкостью в диапазоне 1–50 мПа•с, в которой содержание платины составляет 20–30 масс.%. В качестве чернил для формирования слоя каталитически активного материала методом микроплоттерной печати используют дисперсию на основе наночастиц металлов, обладающих каталитической активностью, со средним размером, лежащим в диапазоне 10–50 нм, с вязкостью в диапазоне 1–50 мПа•с, в которой содержание металла составляет 20–30 масс.%, в частности, дисперсию на основе палладиевых наночастиц. 2 н. и 4 з.п. ф-лы, 2 ил.
Изобретение может быть использовано в различных областях науки, промышленности и техники для обнаружения и определения концентрации горючих газов и паров в атмосфере.
Иван
Волков
Александрович
Зав. лаб. - гл. науч. сотр.
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
G-3969-2014
7103274845
РОССИЯ
Виталий
Баган
Анатольевич
Проректор по научной работе
РОССИЯ
47.09.49
Газы и газовые смеси
01.03.UB
PHYSICS, APPLIED
02.11.IF
ENGINEERING, MULTIDISCIPLINARY
Иван
Власов
Сергеевич
Проведение экспериментов, написание текста
РОССИЯ
Иван
Волков
Александрович
Проведение экспериментов, написание текста
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
МФТИ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Московский физико-технический институт (национальный исследовательский  университет)"
1027739386135
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения