Программно-аппаратный комплекс для методов неразрушающего контроля поверхности полупроводниковых пластин на предприятиях полупроводниковой промышленности
Неразрушающий контроль Резерфордовское обратное рассеяние Полупроводниковый материал Методы ядерного анализа Программно-аппаратный комплекс Электростатический генератор Полупроводниковая промышленность Полупроводниковые пластины Ионы гелия
Программно-аппаратный комплекс предназначен для неразрушающего контроля поверхности полупроводниковых пластин с помощью методов ядерного анализа. Программно-аппаратный комплекс может использоваться на предприятиях полупроводниковой промышленности, в отрасли автомобилестроения, а также в алмазообрабатывающей промышленности. Программно-аппаратный комплекс включает в себя электростатический генератор с помощью которого генерируются ионы гелия, поступающие через ионопровод в вакуумную камеру, где находится исследуемый образец. Ударяясь об поверхность образца происходит резерфордовское обратное рассеяние в результате которого ионы гелия попадают на детектор. Детектор передаёт данные на аналого-цифровой преобразователь, который формирует импульсный ток в сигнал передающийся на ПК с установленным ПО, фиксирующим спектры инородных примесей и состав исследуемого полупроводникового материала.
Неразрушающий контроль готовых компонентов электронной схемы и полупроводниковых пластин с помощью методов ядерного анализа.
Александр
Молчанов
Сергеевич
-
Отсутствует
Отсутствует
-
-
1061821
РОССИЯ
Александр
Молчанов
Сергеевич
-
РОССИЯ
28.23.33
Аппаратная реализация интеллектуальных систем
58.31.29
Источники излучений, их типы и характеристики
02.02.AC
AUTOMATION & CONTROL SYSTEMS
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Александр
Молчанов
Сергеевич
Разработка ПО фиксирующего спектры инородных примесей и состав исследуемого полупроводникового материала
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Александр
Молчанов
Сергеевич
Физическое лицо
РОССИЯ