Мульти-графеновый газовый сенсор на основе производных графена и способ его изготовления
графен газовый детектор мультисенсорный газоаналитический чип
Группа изобретений относится к области сенсорной техники и нанотехнологий, в частности, к изготовлению газовых сенсоров и газоаналитических мультисенсорных линеек хеморезистивного типа. Конструкция газового сенсора включает диэлектрическую подложку, расположенные на подложке компланарные полосковые электроды, терморезисторы, нагреватели, и газочувствительный слой, разделенный на два или более сегмента, каждый из которых сформирован на основе отличных по своему химическому составу графеновых материалов, у которых при комнатной или повышенной температуре изменяется сопротивление под воздействием примесей органических паров или паров воды в окружающем воздухе. В качестве материала сегментов газочувствительного слоя используют производные графена, представляющие собой графен, ковалентно модифицированный кислород-, азот-, серо-, или галоген-содержащими функциональными группами в концентрации не менее 4 ат.%, а также упомянутые производные графена, модифицированные наночастицами оксидов металлов (MeOx, где Me–металл, x=1 или 2), таких как оксид цинка (ZnO), диоксид олова (SnO2), диоксид титана (TiO2), оксид церия (CeO) или оксид меди (CuO), с размерами частиц от 10 нм до 20 нм и расстоянием между отдельными наночастицами или их кластерами не менее 5 нм и не более 50 нм. При этом сегменты газочувствительного слоя выполнены с отличной друг от друга толщиной от 5 нм до 800 нм. Предлагается также способ изготовления указанного газового сенсора. Техническим результатом группы изобретений является повышение газочувствительности и эффективности селективного распознавания газов. 2 н.п.ф., 13 з.п.ф., 55 илл.
Количественный и качественный анализ газового состава окружающей среды
Максим
Рабчинский
Константинович
Генеральный директор
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
H-7095-2016
57191197060
РОССИЯ
Максим
Рабчинский
Константинович
Генеральный директор
РОССИЯ
59.35.29
Приборы для измерения состава и физико-химических свойств газов
02.07.SR
REMOTE SENSING
Николай
Стручков
Сергеевич
Разработка изобретения, творческий вклад 7 %
РОССИЯ
Максим
Соломатин
Андреевич
Разработка изобретения, творческий вклад 7 %
РОССИЯ
Сергей
Рыжков
Александрович
Разработка изобретения, творческий вклад 7 %
РОССИЯ
Владимир
Шнитов
Викторович
Разработка изобретения, творческий вклад - 7 %
РОССИЯ
Сергей
Павлов
Игоревич
Разработка изобретения, творческий вклад - 7 %
РОССИЯ
Максим
Рабчинский
Константинович
Разработка изобретения и написание патента, творческий вклад 10 %
РОССИЯ
Алексей
Варежников
Сергеевич
Разработка изобретения и написание патента, творческий вклад 9%
РОССИЯ
Виктор
Сысоев
Владимирович
Разработка изобретения и написание патента, творческий вклад 9%
РОССИЯ
Дина
Столярова
Юрьевна
Разработка изобретения, творческий вклад 9 %
РОССИЯ
Алексей
Лихачев
Игоревич
Разработка изобретения, творческий вклад - 7 %
РОССИЯ
Демид
Кириленко
Александрович
Разработка изобретения, творческий вклад - 7 %
РОССИЯ
Алексей
Байняшев
Михайлович
Разработка изобретения, творческий вклад 7 %
РОССИЯ
Марина
Байдакова
Владимировна
Разработка изобретения, творческий вклад - 7 %
РОССИЯ
ООО «ГРАФСЕНСОРС»
Общество с ограниченной ответственностью «ГРАФСЕНСОРС»
1207700207440
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью