Способ синтеза многослойных оксидно-нитридных покрытий на материалах и изделиях с использованием синхротронного излучения
ИОННО-ПЛАЗМЕННОЕ НАПЫЛЕНИЕ МИКРОНАПРЯЖЕНИЯ РЕНТГЕНОФАЗОВЫЙ АНАЛИЗ СИНХРОТРОННОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ МНОГОСЛОЙНЫЕ ПОКРЫТИЯ
Заявляемый способ синтеза многослойных оксидно-нитридных покрытий на материалах и изделиях с использованием синхротронного излучения включает следующие этапы: в вакуумную камеру в зоне напыления размещают контрольный образец для получения дифрактограммы покрытия, осуществляют последовательное напыление вакуумным ионно-плазменным методом чередующихся оксидных и нитридных слоев покрытия, выполняют периодическую съёмку рентгенограмм покрытия на контрольном образце в процессе синтеза покрытия посредством синхротронного излучения. Согласно изобретению, одновременно с контрольным образцом в зоне напыления размещают обрабатываемые изделия для нанесения тождественного покрытия, а съёмку рентгенограмм осуществляют на контрольном образце синхротронным излучением с энергией фотонов (1÷ 40) кэВ и интенсивностью более 0,5∙10^8 фот/(сек·мрад^2), по полученным рентгенограммам периодически в процессе синтеза каждого слоя  покрытия контролируют путем определения  в нем величины и знака макронапряжения до момента достижения значения макронапряжения по модулю не более 5∙10^3 МПа, после чего производят переход к синтезу последующего слоя с макронапряжением такой же величины, но противоположного по знаку, в результате обеспечивая минимальную суммарную величину макронапряжений многослойного покрытия и доводя толщину покрытия до заданного значения без его разрушения и отслаивания.
Определение и контроль знака и значения макронапряжений в слоях напыляемого покрытия на поверхности материала с использованием синхротронного излучения в процессе синтеза, который обеспечивает минимальную суммарную величину макронапряжений в многослойном покрытии и синтез многослойного покрытия заданной толщины без разрушения и отслоения на изделии. Может быть использовано для синтеза этими методами повышенной толщины (~100 мкм) жаростойких, коррозионностойких многослойных покрытий, состоящих из чередующихся твердых, сверхтвердых нитридных и оксидных слоев для авиакосмической, атомной и, машиностроительной промышленности и других отраслей.
Николай
Ратахин
Александрович
главный научный сотрудник
Доктор физико-математических наук
Академик
М-5241-2015
6602191236
-
0000-0002-3820-8777
РОССИЯ
Илья
Романченко
Викторович
директор
РОССИЯ
29.19.25
Взаимодействие проникающего излучения с твердыми телами
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
29.19.19
Методы исследования кристаллической структуры и динамики решетки
29.27.51
Применение плазмы
01.03.UF
PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Владимир
Денисов
Викторович
РОССИЯ
Андрей
Леонов
Андреевич
РОССИЯ
Антон
Тересов
Дмитриевич
РОССИЯ
Юлия
Денисова
Александровна
РОССИЯ
Александр
Шмаков
Николаевич
РОССИЯ
Камиль
Рамазанов
Нуруллович
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИСЭ СО РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук
1027000871666
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения