Газочувствительный датчик на основе графеноподобных структур
графен фокусированный ионный пучок плазмохимическое травление карбид кремния
Предлагаемая полезная модель относится к области микро- и наноэлектроники и может быть применена в качестве наноразмерного устройства детекции газов и паров. При газочувствительный датчик на основе графеноподобных структур включает в себя подложку из карбида кремния, на которой формируется острийная структура методом фокусированных ионных пучков, на которой методом плазмохимического травления во фторидной плазме формируется газочувствительный графеноподобный слой, выполненный в качестве анода, верхняя крышка выполнена из карбида кремния, на которой формируется графеноподобный слой, выступающий в качестве катода. При этом, согласно изобретению, газочувствительный датчик содержит опоры, сформированные из оксида кремния, которые обеспечивают зазор между анодом и катодом, ионизационная газовая ячейка образуется анодом, зазором и катодом, а газ попадает в датчик через технологические отверстия, расположенные в углах датчика. Техническим результатом предлагаемой полезной модели является создание энергоэффективного газочувствительного датчика на основе графеноподобных структур.
Предлагаемая полезная модель относится к области микро- и наноэлектроники и может быть применена в качестве наноразмерного устройства детекции газов и паров.
Юлия
Морозова
Викторовна
Руководитель
Отсутствует
Отсутствует
-
57214090532
4597-6430
РОССИЯ
Юлия
Морозова
Викторовна
Руководитель
РОССИЯ
59.35.29
Приборы для измерения состава и физико-химических свойств газов
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Юлия
Морозова
Викторовна
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Юлия
Морозова
Викторовна
Физическое лицо
РОССИЯ