Совокупность элементов и процессов, обеспечивающая эффективную рекуперацию благородных газов используемых в эксимерных лазерах.
эксимерные лазеры благородные газы активная смесь газовых лазеров
Определен оптимальный набор элементов и процессов, обеспечивающих эффективную рекуперацию благородных газов, используемых в эксимерных лазерах. Использование такой совокупности элементов и процессов дает экономию до 80 процентов при заполнении эксимерного лазера рабочей смесью.
Рекуперация благородных газов, используемых в эксимерных лазерах
Алексей
Шутов
Викторович
Генеральный директор
Кандидат физико-математических наук
Старший научный сотрудник
K-4800-2015
55638641600
0000-0001-9738-6883
РОССИЯ
Алексей
Шутов
Викторович
Генеральный директор
РОССИЯ
29.33.01
Общие вопросы
29.33.51
Физические основы применения лазеров
01.03.SY
OPTICS
01.03.UH
PHYSICS, ATOMIC, MOLECULAR & CHEMICAL
Алексей
Шутов
Викторович
РОССИЯ
Михаил
Агапов
Николаевич
РОССИЯ
Сергей
Кузнецов
Викторович
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "АЛЬФА ФИЗИКА"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "АЛЬФА ФИЗИКА"
1227700671824
АЛЕКСЕЙ
ШУТОВ
ВИКТОРОВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью