СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ МИКРОСТРУКТУРЫ ИЗ ДИОКСИДА ВАНАДИЯ, СОДЕРЖАЩЕЙ ПЕРЕХОД МЕТАЛЛ-ПОЛУПРОВОДНИК
переход металл-диэлектрик пленки микроэлектроника диоксид ванадия
Заявленное изобретение относится к области материаловедения и микроэлектронике. Предложен способ формирования микроструктуры VO2(M) с переходом полупроводник-металл путем лазерного воздействия на пленку VO2(B), полученную гидротермальным методом, который может найти применение в изготовлении транзисторов, микроактуаторов, болометров, термохромных умных окон, модуляторов и переключателей терагерцового (ТГц) диапазона, а также ряда других оптоэлектронных устройств. Заявляемый способ получения планарной микроструктуры из VO2(M) со свойствами ППМ без использования стадии длительного многочасового отжига в условиях высокого вакуума в контролируемой атмосфере и без использования методов фотолитографии прост в исполнении и легко масштабируется.
Может найти применение в изготовлении транзисторов, микроактуаторов, болометров, термохромных умных окон, модуляторов и переключателей терагерцового (ТГц) диапазона, а также ряда других оптоэлектронных устройств
31.15.19
Химия твердого тела
45.09.37
Диэлектрические материалы
61.13.21
Химические процессы
Ольга
Бойцова
Владимировна
"Кандидат химических наук"
"Отсутствует"
"C-9242-2011"
"9278527700"
"0000-0003-3549-3346"
РОССИЯ
Алина
Лебедева
Андреевна
"Отсутствует"
"Отсутствует"
РОССИЯ
Артём
Макаревич
Михайлович
"Кандидат химических наук"
"Отсутствует"
"отсутствует"
"14834137600"
"отсутствует"
РОССИЯ
Ольга
Макаревич
Николаевна
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"отсутствует"
"56765780300"
"0000-0001-8407-5998"
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "УГО"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "УГО"
1237700044757
ОЛЬГА
БОЙЦОВА
ВЛАДИМИРОВНА
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью