Способ размещения наноалмазов с NV-центрами на нитриде кремния
НАНОАЛМАЗЫ ФОТОНИКА СВЕРХПРОВОДНИКОВЫЙ ОДНОФОТОННЫЙ ДЕТЕКТОР
Изобретение относится к технологии и способам размещения наноалмазов с NV-центрами на оптических структурах из Si3N4 и может быть использовано в будущих устройствах нанофотоники.Способ размещения наноалмазов на структурах из нитрида кремния включает покрытие защитным резистом с последующей электронной литографией для образования «окон», в которых должны размещаться наноалмазы. Раствор наноалмазов поддерживают до полного высыхания при постоянной температуре 20-24 oС или при повышении температуры с 25 oС до 70 oС в течение 10-15 минут. После взрывной литографии наноалмазы остаются на месте «окон» на поверхности нитрида кремния.Технический результат: контролируемое размещение алмазов с NV-центрами в «окнах» с низкой вероятностью образования крупных агломератов.
Изобретение относится к технологии и способам размещения наноалмазов с NV-центрами на оптических структурах из Si3N4, и может быть использовано в различных устройствах нанофотоники, в частности для получения однофотонных источников.Существует проблема нанесения наноалмазов, содержащих NV-центры на различные оптические структуры. Зачастую нанесение проходит с низкой вероятностью размещения NV-центров. Также существует проблема образования крупных агломератов наноалмазов.Техническим результатом является интегрирование наноалмазов с оптическими структурами с малой вероятностью образования агломератов и высоким выходом годных.
Корнеев А.А.
профессор
Доктор физико-математических наук
Дронов В.П.
Первый проректор МПГУ
29.31.27
Взаимодействие оптического излучения с веществом
29.19.29
Сверхпроводники
29.33.39
Оптические явления в волноводах и тонких пленках. Интегральные оптические схемы
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
01.03.SY
OPTICS
Вадим
Ковалюк
Викторович
Разработка способа размещения  наноалмазов с NV-центрами, на поверхности кремниевой подложки, покрытой слоем оксида кремния и слоем нитрида кремния, в виде упорядоченного массива с малым размером агломератов наноалмазов.
Александр
Корнеев
Александрович
Руководитель работ
Павел
Ан
Павлович
Изготовление структур.
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
МПГУ
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Московский педагогический государственный университет"
1027700215344
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения