Способ плазмохимического травления кремния
Плазмохимическое травление плазма профиль травления оптико-эмиссионная спектроскопия
Изобретение относится к технологии микроэлектроники и может быть использовано для контроля профиля травления кремния во время процесса травления. Технической проблемой, на которую направлено изобретение, заключается в повышении точности вытравляемых структур в кремнии. Технический результат достигается путём использования оптико-эмиссионной спектроскопии в установке плазмохимического травления и определения профиля травления по соотношению интенсивностей излучения линии углерода (517,1 нм) и линии фтора (685,8 и 703,9 нм), которое отображается в степени поляризации газа, равной IC/(IF1+IF2), при этом IC – интенсивность линии углерода, IF1, IF2 – интенсивности линий фтора.
Силовая электроника, микроэлектроника.
Алексей
Боровков
Иванович
Проректор по цифровой трансформации
Кандидат технических наук
Доцент
G-3055-2011
840090300
6567
РОССИЯ
Юрий
Фомин
Владимирович
Проректор по научной работе
РОССИЯ
47.13.19
Прочие технологические процессы и оборудование в производстве радиоэлектронной аппаратуры
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Алина
Фумина
Евгеньевна
РОССИЯ
Артём
Осипов
Арменакович
РОССИЯ
Екатерина
Ендиярова
Вячеславовна
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГАОУ ВО СПБПУ,СПБПУ,ФГАОУ ВО "СПБПУ", САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ПЕТРА ВЕЛИКОГО
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ПЕТРА ВЕЛИКОГО"
1027802505279
АНДРЕЙ
РУДСКОЙ
ИВАНОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения