СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФОТОДИОДОВ СРЕДНЕВОЛНОВОГО ИК ДИАПАЗОНА СПЕКТРА
фотодиод средневолнового ИК диапазона, ИК фотодиод, фотодиод с удаленной подложкой, ИК фотоприемник
Способ изготовления диодов средневолнового ИК диапазона спектра, который включает: выращивание на подложке из арсенида индия твердого раствора InAs1-x-ySbxPy и разделенные p-n переходом слои p- и n-типа проводимости; нанесение на поверхность гетероструктуры фоточувствительного материала, экспонирование через маску с системой темных и светлых полей, проявление, удаление, по крайней мере, части фоточувствительного материала, подложки и эпитаксиальной структуры при формировании мез(ы), подготовку поверхности для формирования омических контактов, напыление на поверхность слоев и/или подложки металлических композиций заданной геометрии; финальную стадию процесса удаления подложки или ее части при химическом травлении в водном растворе соляной кислоты.
Конструктивное решение для изготовления фотоприемников с широким спектром фоточувствительности, не подверженным влиянию поглощения в подложке, которые могут быть использованы в качестве компонентной оптоэлектронной базы для приборов газового анализа, термографии, фотовольтаических преобразователей, пирометров.
Матвеев Б.А.
Главный научный сотрудник
Доктор физико-математических наук
Ременный М. А.
Генеральный директор
59.35.29
Приборы для измерения состава и физико-химических свойств газов
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Борис
Матвеев
Анатольевич
Научный руководитель
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ООО "ИОФФЕЛЕД"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ИОФФЕЛЕД"
1057811356580
МАКСИМ
РЕМЕННЫЙ
АНАТОЛЬЕВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью