Узел фиксации нагреваемой подложки в вакуумной камере (варианты)
МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ, ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА, ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ СТРУКТУРА
Изобретение относится к технологическому оборудованию для вакуумной молекулярно-лучевой эпитаксии полупроводниковых структур и может быть использовано в качестве узла фиксации подложки, нагреваемой с помощью пластинчатого или утолщённого ленточного резистивного нагревателя в вакуумных установках, предпочтительно, с фиксацией подложки с нижним расположением её рабочей поверхности и формированием потоков паров полупроводникового материала, например, германия в направлении снизу вверх от сублимационных источников указанных паров или потоков паров полупроводникового материала, например германия или/и кремния, в направлении снизу вверх от тигельных молекулярных источников на основе электронно-лучевых испарителей.
Использование: для вакуумной молекулярно-лучевой эпитаксии полупроводниковых структур
Тетельбаум Д.И.
Ведущий научный сотрудник
Доктор физико-математических наук
Загайнова Е.В.
врио ректора
29.19.21
Влияние облучения на свойства твердых тел
47.09.48
Наноматериалы для электроники
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Николай
Кривулин
Олегович
проведение экспериментальных опытов, анализ и обработка полученных результатов
Елена
Кочугова
Сергеевна
проведение экспериментальных опытов, оформление результатов и тех. документации
Дмитрий
Павлов
Алексеевич
основная идея, контроль за ходом работы и результатами
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ННГУ им. Н.И. Лобачевского
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского».
1025203733510
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения