Программа аналитического расчета параметров демпфирования подвешенного подвижного электрода электростатического привода высокочастотных микроэлектромеханических переключателей с емкостным принципом коммутации
Высокочастотный микроэлектромеханический переключатель с емкостным принципом коммутации Искусственный интеллект Повышение точности прогноза Алгоритмы диагностики и прогнозирования Программное обеспечение
В высокочастотных микроэлектромеханических переключателях с емкостным принципом коммутации при электростатической активации электростатического привода подвешенный подвижный электрод перемещается в вертикальной плоскости к нижнему неподвижному электроду, замыкая таким образом линию передачи радиосигнала высокочастотного копланарного волновода. При этом возникают эффекты сжимаемой пленки, присущие большому числу динамических микроэлектромеханических устройств. В высокочастотных микроэлектромеханических переключателя с емкостным принципом коммутации эффекты сжимаемой пленки возникают при параллельном расположении электродов электростатического привода, между которыми при отсутствии постоянного управляющего напряжения присутствует зазор малой величины, заполненный воздушной прослойкой либо прослойкой, состоящей из какого-либо другого инертного газа. По этой причине оценка эффектов сжимаемой пленки необходима для прогнозирования на этапах проектирования динамических характеристик высокочастотных микроэлектромеханических переключателей с емкостным принципом коммутации. Разработанная программа позволяет выполнять аналитический расчет параметров демпфирования, а именно: 1) коэффициент демпфирования, обусловленное внутренними потерями в структуре и потерями в вязкости в сжимаемой пленке; 2) коэффициент жесткости пластины подвешенного подвижного электрода электростатического привода; 3) коэффициент распределенного давления. При этом расчет параметров демпфирования основан на аналитическом решении линеаризованного уравнения Рейнольдса для определения параметров сжимаемой пленки.
Областью применения разработанной программы являются микромеханические инерциальные, высокочастотные, оптико-электронные устройства с целью расчета перемещения подвижного электрода электростатического привода в статическом и динамическом режиме, а также определения величины управляющего напряжения притяжения.
Андрей
Ковалев
Владимирович
Директор Инжинирингового центра приборостроения, радио- и микроэлектроники ЮФУ
Доктор технических наук
Доцент
А-8749-2017
57213917330
РОССИЯ
Анатолий
Метелица
Викторович
Проректор по научной и исследовательской деятельности
РОССИЯ
47.14.13
Проектирование и конструирование изделий электронной техники СВЧ-диапазона
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
27.41.17
Численные методы анализа
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Игорь
Лысенко
Евгеньевич
РОССИЯ
Марк
Денисенко
Анатольевич
РОССИЯ
Алексей
Ткаченко
Вячеславович
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
Южный федеральный университет,  ФГАОУ ВО "ЮФУ"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
1026103165241
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью