Тестовый модуль для контроля технологических параметров при изготовлении мощных GaN транзисторов на кремниевой подложке
силовой транзистор, нитрид галлия, межоперационный контроль
Модуль предназначен для контроля параметров мощных GaN транзисторов при проведении межоперационного контроля в ходе технологического маршрута изготовления. Контактные площадки позволяют проводить измерения на различных зондовых устройствах. Для изготовления микросхемы используется GaN гетероструктура на кремниевой подложке. Технологический маршрут состоит из стандартных операций, применяемых для изготовления нитрид-галлиевых интегральных схем.
Изготовление мощных нитрид-галлиевых транзисторов, изготовление монолитных интегральных схем на основе нитрида галлия
Беспалов В. А.
Г. н. с.
Доктор технических наук
Гаврилов С. А.
Проректор
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
01.00.00
Natural Sciences
Валерий
Земляков
Евгеньевич
Разработка состава топологических слоёв с учётом технологического маршрута, разработка технологического маршрута изготовления микросхемы
Владимир
Егоркин
Ильич
Разработка состава топологических слоёв с учётом технологического маршрута, разработка конструктивного исполнения топологии кристалла
Максим
Журавлёв
Николаевич
Разработка и контроль правил проектирования топологии с учётом особенностей технологического маршрута
Николай
Гуминов
Владимирович
Разработка топологического чертежа кристалла
АО "ЗНТЦ"
Акционерное общество "Зеленоградский нанотехнологический центр"
1107746582052
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Непубличные акционерные общества
МИЭТ;  Национальный исследовательский университет "МИЭТ"; НИУ МИЭТ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
1027739615584
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения