Полупроводниковый газочувствительный датчик
газочувствительный датчик
Полупроводниковый газочувствительный датчик, содержащий подложку с расположенной с одной стороны газочувствительной пленкой, измерительные электроды, размещенные на газочувствительной пленке, нагреватель, расположенный на второй стороне подложки, при этом газочувствительная пленка выполнена из материала (In2O3)0,45(Ga2O3)0,45 (InGaO3)0,1.
для изготовления газоанализаторов
Александр
Козлов
Геннадьевич
преподаватель
Доктор технических наук
Профессор
"_"
"_"
РОССИЯ
Павел
Прудников
Владимирович
проректор по НР
РОССИЯ
29.19.31
Полупроводники
01.03.UB
PHYSICS, APPLIED
Иван
Дёмин
Евгеньевич
предложил все признаки формулы изобретения
РОССИЯ
Александр
Козлов
Геннадьевич
предложил основные признаки формулы изобретения
РОССИЯ
ФГБОУ ВО "ОМГУ ИМ. Ф.М. ДОСТОЕВСКОГО", ОМГУ ИМ. Ф.М. ДОСТОЕВСКОГО, ОМГУ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. Ф.М. ДОСТОЕВСКОГО"
1025500532947
РОМАН
СМЕЛИК
ГРИГОРЬЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения