Реактор для плазменной обработки полупроводниковых структур
обработка полупроводниковых структур, травление технологических материалов
Задачей настоящего изобретения является обеспечение отечественных полупроводниковых производств производительным и прецизионным технологическим оборудованием с расширенными функциональными возможностями и предназначенного для выполнения технологических операций при изготовлении современных полупроводниковых приборов уровня 0,65-0,45 нм с использованием подложек диамером более 100 мм.
Реактор для плазменной обработки полупроводниковых структур относится к области технологических устройств для травления технологических материалов в области производства изделий электронной техники и может быть использован для проведения высокоаспектных процессов травления кремния в производстве микроэлектромеханических систем (МЭМС) или для создания щелевой изоляции при реализации технологии трехмерной интеграции кристаллов.
Одиноков В.В.
Заместитель генерального директора по науке
Доктор технических наук
Бирюков М. Г.
Генеральный директор
47.13.19
Прочие технологические процессы и оборудование в производстве радиоэлектронной аппаратуры
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.00
Electrical eng, electronic eng
02.11.00
Other engineering and technologies
Михаил
Бирюков
Георгиевич
Разработка технических решений
Александр
Петров
Кириллович
Разработка технологических решений
Вадим
Сологуб
Александрович
Разработка технических решений
Елена
Карпенкова
Владимировна
Разработка технических решений
Вадим
Одиноков
Васильевич
Разработка технических решений
Наталья
Гусева
Борисовна
Разработка технических решений
Полина
Неклюдова
Алексеевна
Разработка технологических решений
Владимир
Павлов
Борисович
Разработка конструкции элементов устройства
Александр
Айрапетов
Арменакович
Разработка технологических решений
Александр
Никонов
Михайлович
Разработка конструкции элементов устройства
Константин
Вавилин
Викторович
Разработка технологических решений
Георгий
Павлов
Яковлевич
Разработка технологических решений
Елена
Кралькина
Александровна
Разработка технических решений
АО НИИТМ
Акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения"
1027700037749
Организация
Приватизированные предприятия
Непубличные акционерные общества
АО НИИТМ
Акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения"
1027700037749
Организация
Приватизированные предприятия
Непубличные акционерные общества