Диффузионный насос
вакуумный насос диффузия вакуум
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к средствам получения высокого вакуума. Технической задачей, на решение которой направлено предлагаемое изобретение, является увеличение надежности работы диффузионного насоса и уменьшение обратного потока паров рабочей жидкости за счет использования пленки рабочей жидкости оптимальной толщины.
Диффузионный насос, состоящий из вертикально установленного металлического корпуса, выполненного за одно целое с ванной для рабочей жидкости и зафиксированных в нем входного фланца и выпускного патрубка, установленного в нижней части корпуса многоступенчатого паропровода с зонтичными соплами в центральной части по оси корпуса, воронки, зафиксированной в нижней части корпуса, где установлен многоступенчатый паропровод, отверстие которой, имеющее меньший диаметр, обращено к диску для формирования пленки рабочей жидкости и служит входным отверстием паропровода и сливным отверстием гидрозатвора, диска для формирования рабочей пленки, выполненного монолитным и герметично закрепленного на верхнем торце ванны для рабочей жидкости, на нижней части которого зафиксирован электрический нагреватель изолированный теплоизоляцией, отличающийся тем, что на торцевой поверхности диска для формирования рабочей пленки h = 2lσ закреплен кольцевой бортик, где lσ – капиллярная постоянная.
Технический результат – увеличение надежности работы диффузионного насоса и уменьшение обратного потока паров рабочей жидкости за счет использования пленки рабочей жидкости оптимальной толщины.
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к средствам получения высокого вакуума и может быть использовано в химической, нефтехимической промышленности и на предприятиях производящих микроэлектронику.
Владимир
Жуков
Иванович
Доцент каф. ХХТ
Кандидат технических наук
Доцент
Отсутствует
57196612399
198500
https://ciu.nstu.ru/kaf/persons/1015
0000-0002-4225-7301
РОССИЯ
Анатолий
Батаев
Андреевич
Ректор
РОССИЯ
61.13.19
Диффузионные процессы. Мембранные процессы
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.04.II
ENGINEERING, CHEMICAL
Андрей
Брестер
Евгеньевич
РОССИЯ
Владимир
Жуков
Иванович
РОССИЯ
НГТУ
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Новосибирский государственный технический университет»
1025401485010
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения
НГТУ
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Новосибирский государственный технический университет»
1025401485010
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения