Способ и система для прецизионной аддитивной печати трехмерных структур (варианты)
Рентгеновская оптика составные преломляющие линзы синхротронное излучение двухфотонная литография аддитивные технологии
Способ относится к области прецизионной аддитивной печати трехмерных полимерных структур и может найти применение для изготовления оптических элементов в видимом и рентгеновском диапазоне, востребованных для решения задач, требующих фокусировки, коллимации или сбора оптического излучения, например, для микроскопии, высокоразрешающей томографии, спектроскопии, флуоресцентной спектрометрии. 
Технический результат, достигаемый при использовании заявляемого изобретения, заключается в повышении точности формы рабочей поверхности изготавливаемой структуры с использованием метода двухфотонной полимеризации, соответствующей исходной 3Д-модели, благодаря уменьшению ошибки отклонения от заданной формы3Д-модели за счет изменения траекторий движения перетяжки лазерного излучения в процессе печати с учетом размеров вокселя.  
Технический результат может быть достигнут двумя вариантами способа изготовления трехмерных микроструктур с использованием двухфотонной литографии, каждый из которых включает нанесение на подложку фоторезиста с последующим ее экспонированием, обеспечивающим печать микроструктуры сфокусированным лазерным излучением в режиме двухфотонной литографии с последующей проявкой экспонированной структуры, и следующие этапы (для первого варианта):
-  осуществляют построение исходной 3Д-модели изготавливаемой микроструктуры в системе координат XYZ,
- изготовливают калибровочный образец при заданных оптических параметрах процесса экспонирования двухфотонной литографии с последующим определением средних значений размеров полуосей сформированных в образце эллипсоидных вокселей, 
- после чего построенную модель разбивают на слои, расположенные параллельно плоскости XY, с шагом между слоями, имеющим размер, сопоставимый с размером вокселя вдоль оси Z,
- в каждом слое определяют координаты центров граничных вокселей, которые касаются поверхности исходной модели по меньшей мере в одной точке (при этом точки касания лежат в слоях, в которых расположены центры вокселей, и/или в других слоях),
- формируют траектории движения лазерного луча таким образом, что они не выходят за координаты центров граничных вокселей,
- экспонирование лазерным излучением осуществляют согласно заданным траекториям движения лазерного луча и оптическим параметрам процесса экспонирования двухфотонной литографии.
Способ относится к области прецизионной аддитивной печати трехмерных полимерных структур и может найти применение для изготовления оптических элементов в видимом и рентгеновском диапазоне, востребованных для решения задач, требующих фокусировки, коллимации или сбора оптического излучения, например, для микроскопии, высокоразрешающей томографии, спектроскопии, флуоресцентной спектрометрии.
Виктор
Садовничий
Антонович
ректор
Доктор физико-математических наук
Академик
K-6414-2012
7801673584
https://istina.msu.ru/profile/SVA/
РОССИЯ
Степан
Калмыков
Николаевич
декан химического факультета
РОССИЯ
29.19.21
Влияние облучения на свойства твердых тел
29.19.29
Сверхпроводники
29.19.25
Взаимодействие проникающего излучения с твердыми телами
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Владимир
Бессонов
Олегович
Разработка технического задания и формирование концепции
РОССИЯ
Тигран
Балуян
Григорьевич
Подготовка макетов и внесение корректировок
РОССИЯ
Андрей
Федянин
Анатольевич
Анализ полученного результата и работа над ошибками
РОССИЯ
Маргарита
Шарипова
Ильгизовна
Разработка прототипа рабочей версии способа и системы
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ М.В.ЛОМОНОСОВА, МГУ ИМЕНИ М.В.ЛОМОНОСОВА, МОСКОВСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИЛИ МГУ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ М.В.ЛОМОНОСОВА"
1037700258694
ВИКТОР
САДОВНИЧИЙ
АНТОНОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения