Блок фиксации нагреваемой подложки в вакуумной камере с плоско-пружинными зажимами фиксирующих керамических пластин
МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ, ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА, ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ СТРУКТУРА
Сущность: блок фиксации нагреваемой подложки, содержащий установленные в вакуумной камере держатель подложки, выполненный с возможностью фиксации подложки, сориентированной поверхностью роста к молекулярному источнику, и резистивный нагреватель, расположенный со стороны нерабочей поверхности подложки, отличающийся тем, что для выполнения резистивным нагревателем функции держателя подложки указанный резистивный нагреватель выполнен в виде несущей электропроводящей полосы, изготовленной из тугоплавкого металла или сплава и снабженной жаростойкими плоско-пружинными зажимами, обеспечивающими неподвижную фиксацию керамических пластин вдоль указанной полосы с возможностью эксплуатационной фиксации подложки с ее расположением вдоль указанной полосы с помощью этих фиксирующих керамических пластин, расположенных с двух противоположных сторон подложки, за счет прижима торцев указанных керамических пластин к противоположным торцам подложки.
Использование: для вакуумной молекулярно-лучевой эпитаксии полупроводниковых структур
Тетельбаум Д.И.
Ведущий научный сотрудник
Доктор физико-математических наук
Загайнова Е.В.
врио ректора
29.19.21
Влияние облучения на свойства твердых тел
47.09.48
Наноматериалы для электроники
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Николай
Кривулин
Олегович
проведение экспериментальных опытов, анализ и обработка полученных результатов
Елена
Кочугова
Сергеевна
проведение экспериментальных опытов, оформление результатов и тех. документации
Дмитрий
Павлов
Алексеевич
основная идея, контроль за ходом работы и результатами
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ННГУ им. Н.И. Лобачевского
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского».
1025203733510
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения