СВЧ плазменный реактор с регулированием температуры косвенного нагрева подложки
СВЧ ПЛАЗМЕННЫЙ РЕАКТОР, ТЕМПЕРАТУРА., КОСВЕННЫЙ НАГРЕВ, ПОДЛОЖКА, ЗАПРЕДЕЛЬНОЕ КОЛЬЦО, КРАЕВОЙ ЭФФЕКТ, РЕГУЛИРОВАНИЕ НАГРЕВА ПОДЛОЖКИ,
Изобретение относится к СВЧ плазменному реактору с объёмно-резонаторной передачей энергии в область над подложкой, центральная часть которой является СВЧ резонатором и установленный на охлаждаемой проводящей платформе подложкодержатель с неподвижным «запредельным» проводящим кольцом, управляемым по обратной связи с инфракрасным пирометром. Технический результат изобретения состоит в повышении качества и производительности процесса плазмохимического осаждения.
плазмохимическое осаждение сверхтвердых алмазных покрытий на режущий инструмент для эффективной обработки новых композиционных материалов в аэрокосмической промышленности
Конов В.И.
Руководитель ЦЕНИ
Доктор физико-математических наук
Гарнов С. В.
Директор
29.27.15
Излучение плазмы
01.00.00
Natural Sciences
Виктор
Ральченко
Григорьевич
Предложил СВЧ плазменный реактор с герметичной осесимметричной камерой в центральной части которой аксиально СВЧ резонатору установлена подложка на охлаждаемой проводящей платформе
Андрей
Большаков
Петрович
СВЧ резонатор с плазмообразующим кольцом управляемым по обратной связи с инфракрасным пирометром, с наружным диаметром D,  пропорциональным длине волны СВЧ поля
Евгений
Ашкинази
Евсеевич
Предложил регулировать температуру косвенного нагрева подложки за счет смещения запредельного кольца
Вадим
Седов
Станиславович
В СВЧ реактор аксиально резонатору ввести кольцо на опоре из СВЧ прозрачного материала
Станислав
Рыжков
Геннадиевич
СВЧ резонатор аксиально реактору левитирующим (подвижное) плазмообразующим кольцом управлять по обратной связи с инфракрасным пирометром
Виталий
Конов
Иванович
кассету установить на держателе из СВЧ прозрачного материала, так, что один конец его связан с актуатором, взаимодействующим по сигналу от инфракрасного пирометра
ИОФ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "ИНСТИТУТ ОБЩЕЙ ФИЗИКИ ИМ. А.М. ПРОХОРОВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
1027700378595
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения