Программа измерения параметров подзатворного диэлектрика структур металл-диэлектрик-полупроводник при их тестировании методом возрастающего тока
Параметры времязависимого пробоя, зарядовая деградация, диэлектрическая пленка
Программа предназначена для управления автоматизированным комплексом по измерению параметров подзатворного диэлектрика структур металл-диэлектрик-полупроводник (МДП) при их тестировании методом возрастающего тока. Отличительной особенностью программы является возможность наряду с испытаниями, направленными на определение параметров времязависимого пробоя, проводить мониторинг изменения зарядового состояния подзатворного диэлектрика в течение всего процесса испытания. Для многих МДП приборов потеря их работоспособности возникает не в результате пробоя подзатворного диэлектрика, а существенно раньше в результате его зарядовой деградации, сопровождающейся недопустимым смещением порогового напряжения МДП транзистора и ухудшением его основных электрофизических характеристик. Следовательно, использование статистических измерений параметров, характеризующих зарядовую деградацию подзатворного диэлектрика наряду с параметрами времязависимого пробоя, может существенно повысить достоверность оценки надежности диэлектрической пленки и МДП-приборов на ее основе. Результатом работы программы является файл с массивом данных: плотность тока сильнополевой инжекции, напряжение на МДП-структуре в процессе стрессового воздействия, изменение напряжения при фиксированном инжекционном токе. Тип ЭВМ: IBM PC-совмест. ПК; ОС: Windows/Linux.
Для управления автоматизированным комплексом по измерению параметров подзатворного диэлектрика структур металл-диэлектрик-полупроводник (МДП) при их тестировании методом возрастающего тока.
Вадим
Шахнов
Анатольевич
Заведующий кафедрой
Доктор технических наук
Профессор
J-3435-2012
6508288681
РОССИЯ
Юлия
Рыженко
Владимировна
Ведущий аналитик УНИД МГТУ
РОССИЯ
47.09.29
Полупроводниковые материалы
47.09.31
Диэлектрические материалы
02.02.AC
AUTOMATION & CONTROL SYSTEMS
Александр
Столяров
Алексеевич
РОССИЯ
Дмитрий
Андреев
Владимирович
РОССИЯ
Владимир
Андреев
Викторович
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
МГТУ им. Н.Э. Баумана
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего  образования "Московский государственный технический университет имени Н.Э. Баумана" (национальный исследовательский университет)"
1027739051779
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения