Способ формирования прозрачных проводящих слоев
проводящие слои оксид индия цинк легирование магнетронное распыление мишень донорные центры проводимость
Полезная модель относится к электротехнике и может быть использована при проектировании и изготовлении исследовательских установок осаждения функциональных тонкопленочных слоев различными методами ионно-плазменного распыления, термического, электроннолучевого и лазерного испарения. Технический результат состоит в возможности одновременного осаждения слоев в идентичных условиях на несколько подложек, находящихся при различной температуре. Поставленная цель достигается установкой на вращающуюся планшайбу УНПП нескольких держателей подложек со встроенными нагревателями, температура которых задается и поддерживается индивидуально. Предложенная конструкция дает возможность получения за один цикл осаждения полной информации о температурной зависимости скорости осаждения, структуры и функциональных характеристик осаждаемых слоев.
Полезная модель относится к электротехнике и может быть использована при проектировании и изготовлении исследовательских установок осаждения функциональных тонкопленочных слоев различными методами ионно-плазменного распыления, термического, электроннолучевого и лазерного испарения.
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
Ахмед
Ахмедов
Кадиевич
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"U-5049-2019"
"7005839161"
"38204"
РОССИЯ
Эльдар
Мурлиев
Камильевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"E-8962-2014"
"57188638557"
"760882"
РОССИЯ
Абил
Асваров
Шамсудинович
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"N-8071-2016"
"15126969600"
"114199"
"-"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ДФИЦ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ДАГЕСТАНСКИЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
1020502464421
АКАЙ
МУРТАЗАЕВ
КУРБАНОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения