Устройство для получения структурированного графена
вакуумная камера нанесение покрытий тонкие пленки вакуумная техника
Полезная модель относится к области наноэлектроники и может быть использована для получения графена в среднесерийном производстве графенсодержащих композитных материалов и логических компонентов приборов наноэлектроники и спинтроники. Устройство состоит из вакуумной камеры, системы откачки и контроля давления, нагревательного элемента, на котором закреплена графитовая подложка на которую нанесен каталитический слой металла, и источника питания нагревательного элемента. После получения вакуума в камере, источник питания нагревательного элемента включается, и по прошествии 15–20 минут выключается. При нагреве до определенной температуры (350–500°С) атомы углерода с графитовой подложки проходят через каталитический слой на поверхность, где формируется графен. Уменьшение числа разнонаправленных доменов графена (т.е. улучшение кристаллической структуры) на микромасштабе достигается за счет использования каталитического слоя из кобальта. При использовании базовой подложки выполненной из монокристаллического графита, получаемый графен содержит небольшое число доменов, при этом все они ориентированы в одном направлении. По окончании работы устройства, подложка снимается с нагревательного элемента и с поверхности каталитического слоя кобальта снимается графеновый слой. Рентабельность производства графена данным способом значительно повышается по сравнению со способами производства графена на монокристаллических слоях за счет двукратного снижения температуры производства, упрощения технологического процесса производства (отсутствие температур свыше 500 °С, отсутствие необходимости использования горючих газов), снижения себестоимости базовой подложки (графита) для производства по сравнению с монокристаллическими слоями металлов.
Полезная модель относится к области наноэлектроники и может быть использована для получения графена в среднесерийном производстве графенсодержащих композитных материалов и логических компонентов приборов наноэлектроники и спинтроники.
Олег
Грунский
Сергеевич
директор РЦ Рентгено-дифракционные методы исследования
Кандидат геолого-минералогических наук
Отсутствует
H-7316-2013
8551702000
41809
http://xrd.spbu.ru/
0000-0002-3967-1800
РОССИЯ
Елена
Лебедева
Витальевна
Начальник Управления научных исследований
РОССИЯ
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Дмитрий
Пудиков
Александрович
Автор
РОССИЯ
Евгений
Жижин
Владимирович
Автор
РОССИЯ
Правительство России
Правительство Российской Федерации
Организация
-
-
Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербургский университет, СПбГУ
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный университет"
1037800006089
Организация
Правительство Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения