Способ изменения радиуса кривизны поверхности
Мембрана МЭМС механические напряжения
Изобретение относится к способам обработки полупроводниковых приборов. Задачей настоящего изобретения является расширение технологических подходов для изменения кривизны поверхности, повышение точности определения кривизны поверхности, сокращение времени проведения технологических процессов для изменения механических напряжений. 
Способ изменения радиуса кривизны поверхности пластины включает в себя осаждение и травление плёнок разной толщины, использование различных газовых смесей, расчёт механических напряжений по пластине в локальных областях по формуле Стони, сравнение значений механических напряжений с контрольным значением механических напряжений для выполнения последующих технологических операций, причём осаждают, травят или шлифуют материал, совпадающий с материалом пластины, процесс осаждения и травления проводят с лицевой или обратной стороны пластины, процесс измерения кривизны выполняют с лицевой и обратной стороны.
Задачей настоящего изобретения является расширение технологических подходов для изменения кривизны поверхности, повышение точности определения кривизны поверхности, сокращение времени проведения технологических процессов для изменения механических напряжений.
Игорь
Васильев
Александрович
Научный руководитель
Отсутствует
Отсутствует
-
-
РОССИЯ
Дмитрий
Козленков
Сергеевич
Генеральный директор
РОССИЯ
30.15.02
Общие проблемы
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Евгений
Гусев
Эдуардович
РОССИЯ
Дмитрий
Козленков
Сергеевич
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "ДЦ-ОРБИТА"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ДИЗАЙН-ЦЕНТР ОРБИТА"
1217700247160
ДМИТРИЙ
КОЗЛЕНКОВ
СЕРГЕЕВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью