Молекулярный источник фосфора для разложения GaP, используемый в процессе молекулярно-лучевой эпитаксии
МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ИСТОЧНИК, ФОСФИД ГАЛЛИЯ, МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ, ГЕТЕРОСТРУКТУРА, РАДИОФОТОНИКА
Ноу-хау предназначено для создания структур с высокой подвижностью двумерного электронного газа, структур для оптоэлектроники и микроволновой фотоники, и может быть использовано для создания квантово-размерных наногетероструктур А3В5 с использованием молекулярного фосфора.Технический результат секрета производства заключается в реализации способа создания молекулярного источника фосфора с высоким аспектным отношением P2/P4>100, позволяющим избежать накопления в камере роста белого фосфора при совместном выращивании как арсенидных, так и фосфидных соединений AlGaInAs и AlGaInP. Это достигается благодаря возможности проводить разложение фосфора не из молекул димеров P2 или тетрамеров P4, а путем его генерации по реакции разложения из соединений InP и GaP. Для этого используется термическое разложение из расплавов InP и GaP путем нагрева твердого раствора до температур десорбции молекул P4 и последующее их разложение в зоне крекинга на молекулы P2 при высоких температурах (T>850 С).
Получение гетероэпитаксиальных структур на основе соединений AIIIBV для радиофотонных компонентов.
Каргин, Н.И.
Директор ИНТЭЛ
Доктор технических наук
Каргин, Н.И.
И.о. проректора
29.35.47
Твердотельные приборы СВЧ-диапазона
29.35.19
Распространение электромагнитных волн
29.33.39
Оптические явления в волноводах и тонких пленках. Интегральные оптические схемы
02.10.00
Nano-technology
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Данил
Сафонов
Андреевич
Исполнитель работ
Иван
Васильевский
Сергеевич
Исполнитель работ
Александр
Виниченко
Николаевич
Исполнитель работ
Николай
Каргин
Иванович
Руководитель работ
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НИЯУ МИФИ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"
1037739366477
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения