Способ полирования подложки пучком быстрых атомов
Плазма вакуум быстрые атомы распыление поверхности осаждение покрытия
Изобретение относится к области обработки изделий ускоренными ионами или быстрыми атомами и предназначено для получения изделий с повышенными характеристиками за счет полирования поверхности пучком быстрых атомов. Технический результат – повышение производительности процесса полирования пучком быстрых атомов за счет увеличения скорости обработки путем одновременного осаждения покрытия во впадинах между выступами на поверхности подложки, распыляемыми быстрыми атомами с большим углом падения на поверхность подложки. Способ полирования подложки пучком быстрых атомов включает распыление подложки пучком быстрых атомов, падающих на поверхность подложки под углом падения α от 75° до 85°, вращение подложки вокруг оси, перпендикулярной ее поверхности, и одновременное с распылением и вращением подложки осаждение на последнюю покрытия посредством напыления вещества, из которого выполнена подложка, со скоростью напыления меньшей скорости распыления. На фиг. 1 показана схема устройства для полирования подложки быстрыми атомами с большим углом падения на ее поверхность. На фиг. 2 показана схема процесса распыления выступов на поверхности подложки пучком быстрых атомов с большим углом падения на поверхность с одновременным осаждением на нее покрытия.
Область проектирования и изготовления инновационных конструкций вакуумно-плазменного оборудования
Александр
Метель
Сергеевич
Профессор
Доктор физико-математических наук
Профессор
L-8736-2013
6506816930
РОССИЯ
Владимир
Серебренный
Валерьевич
Ректор
РОССИЯ
55.09.01
Общие вопросы
02.05.PZ
METALLURGY & METALLURGICAL ENGINEERING
Сергей
Григорьев
Николаевич
разработка общей конструкции устройства для полирования подложек быстрыми атомами
РОССИЯ
Юрий
Мельник
Андреевич
разработка конструкции источника пучка быстрых атомов и устройства вращения подложки
РОССИЯ
Александр
Метель
Сергеевич
разработка технического решения по созданию устройства для полирования подложек пучком быстрых атомов
РОССИЯ
Марина
Волосова
Александровна
экспериментальная реализация технического решения и исследование модели устройства
РОССИЯ
Энвер
Мустафаев
Серверович
разработка и исследование магнетронного распылительного устройства
РОССИЯ
РНФ
Российский научный фонд
1137799022261
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Фонды
ФГБОУ ВО «МГТУ «СТАНКИН»
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
1037700246451
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения