Способ герметизации МЭМС устройств
МЭМС Микросборка Бондинг Механические напряжения Герметизация
Суть настоящего изобретения состоит в способе герметизации МЭМС устройств. Повышение герметичности МЭМС микросборки достигается за счёт увеличения площади контакта между соединяемыми элементами, то есть формы выступов и формы углублений совпадают и выполнены в виде замкнутых контуров по перифериям рабочих областей. Процесс разделения МЭМС устройств выполняют по перфорации. Создание отверстий или полостей в области разделения пластины на МЭМС устройства позволяет уменьшить вносимые механические напряжения, соответственно, увеличить надежность способа герметизации. В предлагаемом техническом решении используется мембрана (зависимость прогиба мембраны от давления) для контроля уровня герметизации.
Изобретение относится к области герметизации полупроводниковых пластин при их соединении.
Константин
Зольников
Владимирович
Генеральный директор
Кандидат технических наук
Отсутствует
-
-
623875
РОССИЯ
Константин
Зольников
Владимирович
Генеральный директор
РОССИЯ
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
47.13.17
Технология производства печатных плат. Печатный монтаж
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Евгений
Гусев
Эдуардович
РОССИЯ
Константин
Зольников
Владимирович
РОССИЯ
Павел
Иванин
Сергеевич
РОССИЯ
Михаил
Фомичёв
Юрьевич
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНЫЕ МИКРОСИСТЕМЫ"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНЫЕ МИКРОСИСТЕМЫ"
1213600020479
КОНСТАНТИН
ЗОЛЬНИКОВ
ВЛАДИМИРОВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью