Способ получения наноразмерных пленок нитрида титана
азотирование вакуумное термическое испарение пленка нитрида титана
Изобретение относится к области нанесения защитных покрытий в металлургии и машиностроении и предназначено для увеличения термостойкости и износостойкости изделий. 
Авторами предлагается способ получения наноразмерных пленок нитрида титана, включающий термическое напыление на предварительно очищенную подложку пленки с использованием источника титана с последующей обработкой в атмосфере чистого азота, отличающийся тем, что термическое напыление осуществляют путем резистивного испарения с использованием вольфрамового испарителя в виде проволоки с прикрепленной к нему навеской титана и давлении (2-3)•10-4  до полного её испарения, а обработку в атмосфере чистого азота осуществляют при температуре 850-870оС и давлении 0,2 – 0,3 МПа в течение 40-90 минут. 
Авторами предлагается простой способ получения пленок нитрида титана с толщиной в наноразмерном диапазоне.
Металлургия, машиностроение, оптика
Евгений
Поляков
Валентинович
Главный научный сотрудник
Доктор химических наук
Старший научный сотрудник
A-7817-20126
7007141061
43788
-
РОССИЯ
Михаил
Кузнецов
Владимирович
Директор
РОССИЯ
31.15.19
Химия твердого тела
01.04.EI
CHEMISTRY, PHYSICAL
Лев
Акашев
Александрович
Формулировка идеи и разработка экспериментальной части методики
РОССИЯ
Николай
Попов
Александрович
Получение пленок, экспериментальная часть, оформление патента
РОССИЯ
Владимир
Шевченко
Григорьевич
Разработка физико-химических основ предложенного способа
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИХТТ УрО РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт химии твердого тела Уральского отделения Российской академии наук
1036603481166
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Учреждения