Способ изготовления матрицы хеморезистивных сенсоров
сенсор электрофоретическое осаждение нанопорошки
Предложен способ изготовления матрицы хеморезистивных сенсоров с чувствительными слоями, сформированными электрофоретическим осаждением. На диэлектрическую подложку, фронтальная сторона которой покрыта слоем из благородного металла с топологическим рисунком в виде набора встречно-штыревых электродов, а обратная сторона меандровым нагревателем сформированных методом вакуум-термическим или магнетронным распылением осаждают поочередно слои TiO2, TiO2-CuOx, TiO2-УНТ, ZnO из суспензий на основе изопропанола, ацетона или их смеси с наночастицами таким образом, чтобы зазор между встречно-штыревыми электродами был заполнен. Технический результат: обеспечение возможности локального формирования чувствительных слоев сенсоров сложного состава на единой подложке, используя доступные нанопорошки.
Изобретение относится к области сенсорной техники и нанотехнологий и может быть использовано для создания портативного газоаналитического устройства.
Лариса
Сорокина
Ивановна
Инженер
Отсутствует
Отсутствует
AAU-7727-2020
57206904976
6469-2758
0000-0003-2831-5066
РОССИЯ
Сергей
Гаврилов
Александрович
Проректор
РОССИЯ
61.31.59
Электрохимические производства. Электроосаждение. Химические источники тока
31.15.37
Химия коллоидов. Дисперсные системы
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Лариса
Сорокина
Ивановна
Написание заявки
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИЭТ"; НИУ МИЭТ;МИЭТ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
1027739615584
ВЛАДИМИР
БЕСПАЛОВ
АЛЕКСАНДРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения