Программа управления установкой для нанесения многослойных наноструктурированных покрытий вакуумным магнетронным распылением.
МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ, НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫЕ ПОКРЫТИЯ
Программа предназначена для управления установкой, используемой для нанесения многослойных наноструктурированных покрытий вакуумным магнетронным распылением, обеспечивая стабильность протекания рабочего процесса. Программа позволяет настроить режим работы устройства, отслеживать и регистрировать текущие изменения рабочей среды с визуализацией состояния вакуумной, газовой, охлаждающей и транспортной систем, и задавать параметры корректировки путем обработки сигналов от контрольно-измерительных приборов. Функциональные возможности программы позволяют определять скорость перемещения подложки и количество проходов для нанесения наноструктурированного слоя заданной толщины с контролем и визуализацией процесса перемещения. Программа создана при финансовой поддержке Минобрнауки РФ, соглашение №14.607.21.0194 от 26.09.2017, уникальный идентификационный номер RFMEFI60717X0194.
Программа предназначена для управления устройствами для нанесения многослойных покрытий, позволяет настроить режим работы устройства и задавать параметры корректировки.
Москвин Е. В.
Старший научный сотрудник отдела нейтронной оптики Инжинирингового центра "Нейтронные технологии"
Кандидат физико-математических наук
Саранцева С. В.
Заместитель директора по научной работе
50.47.31
Автоматизированные системы управления дискретными технологическими процессами
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
02.00.00
Engineering and Technology
01.03.UB
PHYSICS, APPLIED
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Евгений
Москвин
Владимирович
Разработка и отладка алгоритма расчета скорости передвижения, тестирование программы.
Александр
Судалин
Игоревич
Написание программы и отладка алгоритмов программы.
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НИЦ «Курчатовский институт» – ПИЯФ
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова Национального исследовательского центра «Курчатовский институт»
1034701242443
Организация
Правительство Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения