Устройство для напыления тонкопленочных покрытий
Нитрид алюминия Высокоориентированные покрытия Магнетронное напыление Светодиоды Технология
Устройство относится к области технологии изготовления приборов оптоэлектроники, а именно к устройствам получения высокоориентированных покрытий для цифровых дисплеев, светоизлучающих диодов. Технический результат: уменьшение шероховатости и повышение текстуры покрытий – степени ориентации кристаллитов в определенном направлении. Сущность:  Устройство  для напыления тонкопленочных покрытий, содержащее вакуумную камеру, магнетронный и ионный источники, вращающийся планетарный механизм с подложками, нагреватели, систему управления вращением планетарного механизма, в которое дополнительно введены: энкодер, связанный с осью вращения планетарного механизма с подложками,  и контроллер сканирования,  ко входу которого подключен энкодер, а к выходу контроллера -  система управления скоростью и направлением  вращения планетарного механизма. Добавление сопутствующей ионно-лучевой обработки в процесс создания пленок высокочастотным магнетронным напылением приводит к увеличению прочности и плотности пленок, уменьшению шероховатости поверхности. При таком процессе нанесения в пленках возможно одновременное увеличение пропускания света и электропроводности.
Производство покрытий нитрида алюминия и реализация технологии в сфере полупроводниковой продукции, в частности для изготовления светодиодов. Данная технология поможет выращивать более качественные пленки AlN, что в перспективе значительно расширит их область применения и, в частности, улучшит выходные параметры светодиодов. При производстве электронных деталей, включая изоляторы, радиаторы и подложки, часто используется нитрид алюминия. Благодаря его превосходным тепловым и электрическим качествам, которые обеспечивают более высокую производительность и надежность, чем обычные материалы, такие как оксид алюминия или карбид кремния, спрос на подложки из нитрида алюминия растет в полупроводниковом секторе. Расширение рынка нитрида алюминия в секторе электроники также обусловлено растущим спросом на светодиоды, лазерные диоды и силовую электронику. Возможно значительное расширение аэрокосмического сегмента. Режущие инструменты, лопатки турбин и детали двигателей изготавливаются из высокотемпературных и высокопрочных материалов, таких как нитрид алюминия. Ожидается, что рынок нитрида алюминия в аэрокосмическом секторе будет расширяться в результате растущей потребности в легких материалах в аэрокосмическом секторе и растущего спроса на экономичные самолеты.
Еще одно важное применение нитрида алюминия - автомобильная промышленность. Это вещество используется для изготовления компонентов для автомобилей, таких как радиаторы, силовые модули и датчики. В связи с растущей популярностью электромобилей и растущим предпочтением в отрасли легких и высокопроизводительных материалов спрос на нитрид алюминия в автомобильном секторе, вероятно, увеличится.
Петр
Крылов
Николаевич
Профессор
Кандидат физико-математических наук
Доцент
88116730
6701834574
РОССИЯ
Николай
Прошутин
Алексеевич
Инженер
РОССИЯ
47.09.29
Полупроводниковые материалы
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Николай
Прошутин
Алексеевич
РОССИЯ
Сергей
Водеников
Кронидович
РОССИЯ
Петр
Крылов
Николаевич
РОССИЯ
Раушания
Закирова
Мазитовна
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Николай
Прошутин
Алексеевич
Физическое лицо
РОССИЯ