Установка для высокотемпературного вакуумного отжига тонких плёнок с возможностью in situ оптического наблюдения с высоким разрешением
Тонкие пленки полупроводников In situ оптическая диагностика Вакуумный отжиг
Изобретение относится к устройствам для высокотемпературного вакуумного отжига тонких плёнок, покрытий и материалов. Изобретение может быть использовано в микроэлектронике, оптике, катализе, химической промышленности и других областях. Задачей заявляемого изобретения является повышение надёжности работы установки для высокотемпературного вакуумного отжига тонких плёнок, а также обеспечение возможности одновременной реализации высоковакуумного высокотемпературного отжига и in situ наблюдения морфологии и структуры пленок в процессе отжига.
Высоковакуумный высокотемпературный отжиг с возможностью in situ наблюдения морфологии поверхности образцов в процессе отжига с помощью оптической микроскопии высокого разрешения
Александр
Замчий
Олегович
с.н.с.
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
A-5754-2014
55964853600
0000-0001-5069-9524
РОССИЯ
Дмитрий
Маркович
Маркович
директор
РОССИЯ
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Александр
Замчий
Олегович
25%
РОССИЯ
Евгений
Баранов
Александрович
25%
РОССИЯ
Алексей
Сафонов
Иванович
25%
РОССИЯ
Виктор
Константинов
Олегович
25%
РОССИЯ
РНФ
Российский научный фонд
1137799022261
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Фонды
ИТ СО РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ТЕПЛОФИЗИКИ ИМ. С.С. КУТАТЕЛАДЗЕ СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
1025403648786
ДМИТРИЙ
МАРКОВИЧ
МАРКОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения