Программа формирования изображения полупроводниковых пластин диаметром 50-150 мм в инфракрасном излучении
радиационная стойкость счёт квантов координаты и энергии элементарных частиц микрополосковые и матричные сенсоры HR-GaAs: Cr структуры
Программа предназначена для формирования изображения полупроводниковых пластин в инфракрасном (ИК) излучении диапазона 900-1700 мкм путем сшивки изображений локальных областей, получаемых с помощью сканирующей ИК системы. Программа позволяет проводить мониторинг дефектной структуры пластин диаметром от 50 до 150 мм с пространственным разрешением на уровне 30 мкм. Программа может использоваться в составе автоматизированных систем контроля дефектной структуры полупроводниковых пластин. Функциональные возможности программы: при работе сканирующей оптической ИК системы программа циклически обрабатывает получаемые изображения локальных областей полупроводниковой пластины для обнаружения реперных точек, по которым проводит сшивку изображений и автоматически формирует полное растровое ИК изображение пластины диаметром от 50 до 150 мм. Программа сохраняет изображение в заданную директорию.
Программа может использоваться в составе автоматизированных систем контроля дефектной структуры полупроводниковых пластин.
Лев
Шехтман
Исаевич
Ведущий научный сотрудник
Доктор физико-математических наук
Отсутствует
A-8924-2014
56374547400
137780
0000-0003-1512-9715
РОССИЯ
Александр
Ворожцов
Борисович
Проректор по научной и инновационной деятельности
РОССИЯ
29.03.45
Обработка данных физического эксперимента
29.03.39
Лабораторная электроника
29.19.25
Взаимодействие проникающего излучения с твердыми телами
29.19.31
Полупроводники
01.03.UB
PHYSICS, APPLIED
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
01.03.UP
PHYSICS, PARTICLES & FIELDS
Александр
Винник
Евгеньевич
25%
РОССИЯ
Антон
Тяжев
Владимирович
25%
РОССИЯ
Лейла
Шаймерденова
Калитаевна
25%
РОССИЯ
Максим
Скакунов
Сергеевич
25%
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ, ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ, НИ ТГУ, ТГУ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1027000853978
ЭДУАРД
ГАЛАЖИНСКИЙ
ВЛАДИМИРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения