Автоэмиссионная ячейка на основе наноразмерного углеродного материала
Автоэмиссия Газочувствительность Углеродные наноматериалы Датчик Электроника и электротехника Нанотехнологии
Полезная модель может быть использована при производстве устройств на основе полупроводниковых технологий микро- и наноэлектроники, предназначенных для анализа протекания процессов, отображения и визуализации информации, а также излучения света. При этом автоэмиссионная ячейка на основе наноразмерного углеродного материала состоит из подложки, выполненной из полупроводникового материала, со сформированным на ней изоляционным слоем, выполненным из диэлектрического материала, контактного слоя, выполненного из проводящего материала и верхняя часть которого преобразована в столбчатую структуру, на котором выращивается пленка наноразмерной углеродной структуры, которая выступает в качестве эмиттирующего участка получаемого устройства. Технический результат предлагаемой полезной модели состоит в создании высокоэффективной автоэмиссонной ячейки за счет повышения плотности автоэмиссионного тока, временной стабильности параметров катода и уменьшения работы выхода электронов с поверхности катода
Полезная модель может быть использована в качестве основного рабочего чувствительного элемента газового датчика, для анализа протекания процессов, отображения и визуализации информации, а также излучения света на основе полупроводниковых технологий микро- и наноэлектроники
Алексей
Резван
Анатольевич
-
Отсутствует
Отсутствует
U-1708-2019
57205649367
2099-2730
0000-0001-8446-2816
РОССИЯ
Алексей
Резван
Анатольевич
-
РОССИЯ
50.09.37
Датчики и преобразователи
81.13.30
Нанотехнологии
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Виктор
Климин
Сергеевич
Научный руководитель
РОССИЯ
Алексей
Резван
Анатольевич
Инициатор
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Алексей
Резван
Анатольевич
Физическое лицо
РОССИЯ