Источник быстрых атомов для равномерного травления плоских диэлектрических подложек
быстрые атомы распыление поверхности осаждение покрытия Плазма вакуум
Изобретение относится к области обработки изделий ускоренными ионами или быстрыми атомами и предназначено для получения изделий с повышенными характеристиками за счет удаления дефектного поверхностного слоя пучком быстрых атомов. Технический результат – повышение надежности и срока службы источника пучка быстрых атомов аргона при равномерном травлении плоских диэлектрических подложек за счет снижения диэлектрических загрязнений на электродах источника. Источник быстрых атомов для равномерного травления плоских диэлектрических подложек, содержит газоразрядную камеру, цилиндрический полый катод внутри камеры, анод внутри полого катода и перекрывающую выходное отверстие полого катода круглую вогнутую сетку, установленный напротив сетки и проходящий через ее фокальную точку экран с отверстием в области фокальной точки и установленный снаружи газоразрядной камеры соленоид для создания внутри полого катода осевого магнитного поля.
Область проектирования и изготовления инновационных конструкций вакуумно-плазменного оборудования, а также совершенствование установок, используемых в промышленности и лабораториях.
Изобретение относится к ионно-плазменной технологии и может быть использовано для травления диэлектрических изделий в вакууме.
Александр
Метель
Сергеевич
Главный научный сотрудник
Доктор физико-математических наук
Профессор
L-8736-2013
6506816930
125667
0000-0002-1465-2312
РОССИЯ
Владимир
Серебренный
Валерьевич
Ректор
РОССИЯ
55.20.27
Комбинированные методы обработки
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Александр
Метель
Сергеевич
РОССИЯ
Сергей
Григорьев
Николаевич
РОССИЯ
Марина
Волосова
Александровна
РОССИЯ
Юрий
Мельник
Андреевич
РОССИЯ
Энвер
Мустафаев
Серверович
РОССИЯ
РНФ
Российский научный фонд
1137799022261
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Фонды
ФГБОУ ВО «МГТУ «СТАНКИН»
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
1037700246451
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения