Программный комплекс для автоматизации процессов атомно-слоевого осаждения
Атомно-слоевое осаждение программный комплекс технологическая платформа клапан цикл
Программой комплекс для автоматизации процессов атомно-слоевого осаждения позволяет осуществлять мониторинг и контроль ряда параметров технологической платформы атомно-слоевого осаждения, а именно мониторинг изменения давления в реакторе считыванием выходных значений вакууметра и конвертированием их в значения давлений, контроль потока технологического газа азота путем управления и считывания значений цифрового расходомера, управление пневмораспределительным блоком соленоидных клапанов для контроля вакуумных пневматических клапанов, что обеспечивает напуск прекурсоров в указанное время и в указанном порядке в реакционную зону технологической платформы атомно-слоевого осаждения.
Программный комплекс обеспечивает управление технологической платформой атомно-слоевого осаждения. Программный комплекс позволяет осуществлять контроль и управление такими узлами технологической платформы атомно-слоевого осаждения, как вакуумметр, цифровой расходомер, пневмораспределительный блок соленоидных клапанов и терморегуляторы. Программный комплекс позволяет осуществлять считывание данных и управление приборной базой технологической платформы атомно-слоевого осаждения в автоматическом режиме. Тип ЭВМ: IBM PC-совмест. ПК; ОС: Windows 10 и выше.
59.14.19
Проектирование и конструирование электрических, электромагнитных и электромеханических измерительных приборов
Рустам
Амашаев
Русланович
"Кандидат химических наук"
"Отсутствует"
"L-6014-2016"
"57202426082"
"https://www.researchgate.net/profile/Rustam-Amashaev"
"0000-0002-8720-7332"
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "АСО ТЕХНОЛОГИИ"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "АСО ТЕХНОЛОГИИ"
1230500000422
РУСТАМ
АМАШАЕВ
РУСЛАНОВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью