Способ герметизации МЭМС устройств
МЭМС микросборка герметичность механические напряжения
Суть настоящего изобретения состоит в способе герметизации МЭМС устройств. Улучшение герметизации конечного МЭМС устройства достигается за счёт увеличения надежности, а именно: формирование канавок в основании, применение технологии временного бондинга с процессом утонения, заполнение канавок методом атомно-слоевого осаждения материала, вывод соединяющих шин из рабочей области герметизации осуществляют через обратную сторону основания, формирование в основании углубления и рабочей полости за счёт одного фотошаблона и одного плазмохимического травления, формирование на крышке выступов и области геттера, при этом выступы крышки и углубления основания имеют цилиндрическую форму, одинаковый диаметр и высоту.
Полезная модель относится к области соединения (сращивания, бондинга) полупроводниковых пластин.
Евгений
Гусев
Эдуардович
Ведущий инженер
Кандидат технических наук
Отсутствует
L-7383-2016
57190162351
5303-8211
0000-0002-2819-2599
РОССИЯ
Сергей
Гаврилов
Александрович
Проректор
РОССИЯ
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Максим
Махиборода
Александрович
РОССИЯ
Николай
Дюжев
Алексеевич
РОССИЯ
Евгений
Гусев
Эдуардович
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИЭТ"; НИУ МИЭТ;МИЭТ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
1027739615584
ВЛАДИМИР
БЕСПАЛОВ
АЛЕКСАНДРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения