Программа, предназначенная для решения линеаризованного изотермического уравнения Рейнольдса, с целью расчета параметров изотермического демпфирования подвешенного подвижного электрода электростатического привода в высокочастотных микроэлектромеханических переключателях с емкостным принципом коммутации
Программное обеспечение Алгоритмы диагностики и прогнозирования Повышение точности прогноза Искусственный интеллект Высокочастотный микроэлектромеханический переключатель с емкостным принципом коммутации
Высокочастотные микроэлектромеханические переключатели, как правило, работают при атмосферном давлении и в воздушной среде, поэтому в качестве основного фактора, влияющего на их динамические параметры (скорость замыкания и скорость размыкания), является процесс изотермического демпфирования, который для случая когда поперечные размеры подвешенного подвижного электрода электростатического привода сопоставимы и не превышают величину расстояния до нижнего неподвижного электрода электростатического привода, определяется коэффициентом демпфированием сжимаемой пленки и описывается линеаризованным изотермическим уравнением Рейнольдса.
Разработанная программа позволяет решать линеаризованное изотермическое уравнение Рейнольдса и определять параметры изотермического демпфирования, происходящего при постоянной температуре. Граничными условиями для решения поставленной задачи являются: закрепление подвешенного подвижного электрода электростатического привода с обеих сторон, любые эффекты вязкого нагрева и термоупругого демпфирования не учитываются, изменение давления окружающей среды в зазоре между подвешенным подвижным электродом электростатического привода и нижним неподвижным электродом электростатического привода намного меньше давления окружающей среды.
Областью применения разработанной программы являются микромеханические инерциальные, высокочастотные, оптико-электронные устройства с целью снижения параметров изотермического демпфирования и повышения динамических характеристик.
Андрей
Ковалев
Владимирович
Директор Инжинирингового центра приборостроения, радио- и микроэлектроники ЮФУ
Доктор технических наук
Доцент
А-8749-2017
57213917330
РОССИЯ
Анатолий
Метелица
Викторович
Проректор по научной и исследовательской деятельности
РОССИЯ
47.14.13
Проектирование и конструирование изделий электронной техники СВЧ-диапазона
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
27.41.17
Численные методы анализа
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Марк
Денисенко
Анатольевич
РОССИЯ
Алексей
Ткаченко
Вячеславович
РОССИЯ
Игорь
Лысенко
Евгеньевич
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
Южный федеральный университет,  ФГАОУ ВО "ЮФУ"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
1026103165241
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью