СВЧ плазменный реактор с регулированием температуры косвенного нагрева подложки
СВЧ плазменный реактор, температура., косвенный нагрев, подложка, запредельное кольцо, краевой эффект, регулирование нагрева подложки,
Изобретение относится к СВЧ плазменному реактору с объёмно-резонаторной передачей энергии в область над подложкой, центральная часть которой является СВЧ резонатором и установленный на охлаждаемой проводящей платформе подложкодержатель с неподвижным «запредельным» проводящим кольцом, управляемым по обратной связи с инфракрасным пирометром. Технический результат изобретения состоит в повышении качества и производительности процесса плазмохимического осаждения.
плазмохимическое осаждение сверхтвердых алмазных покрытий на режущий инструмент для эффективной обработки новых композиционных материалов в аэрокосмической промышленности
Конов В.И.
Рук. ЦЕНИ ИОФ РАН
Доктор физико-математических наук
Гарнов С. В.
Директор ИОФ РАН
29.27.15
Излучение плазмы
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
55.22.23
Неметаллические покрытия
55.19.13
Технология механической обработки
55.19.05
Основы обработки абразивным инструментом
02.00.00
Engineering and Technology
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Вадим
Седов
Станиславович
В СВЧ реактор аксиально резонатору ввести кольцо на опоре из СВЧ прозрачного материала
Евгений
Ашкинази
Евсеевич
Предложил регулировать температуру косвенного нагрева подложки за счет смещения запредельного кольца
Виктор
Ральченко
Григорьевич
Предложил СВЧ плазменный реактор с герметичной осесимметричной камерой в центральной части которой аксиально СВЧ резонатору установлена подложка на охлаждаемой проводящей платформе
Станислав
Рыжков
Геннадиевич
СВЧ резонатор аксиально реактору левитирующим (подвижное) плазмообразующим кольцом управлять по обратной связи с инфракрасным пирометром
Андрей
Большаков
Петрович
СВЧ резонатор с плазмообразующим кольцом управляемым по обратной связи с инфракрасным пирометром, с наружным диаметром D, пропорциональным длине волны СВЧ поля
Виталий
Конов
Иванович
кассету установить на держателе из СВЧ прозрачного материала, так, что один конец его связан с актюатором, взаимодействующим по сигналу от инфракрасного пирометра
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИОФ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "ИНСТИТУТ ОБЩЕЙ ФИЗИКИ ИМ. А.М. ПРОХОРОВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
1027700378595
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения