Способ генерации потоков ионов твердого тела
магнетрон ионный поток испарение самораспыление
Изобретение относится к области вакуумной и плазменной техники и может быть применено для осуществления процессов ионного травления материалов, имплантации ионов металлов и полупроводников, осаждения тонкопленочных покрытий. Способ подразумевает формирование плазмы импульсного магнетронного разряда высокой мощности на предварительно разогретой мишени. Импульсный разряд с параметрами — напряжение до 2 кВ, ток 10–500 А, длительность 10–1000 мкс, частота повторения до 1 кГц — создается в предварительно ионизированном объеме над поверхностью нагретой мишени, отделенной теплоизолирующей подставкой с высокой электропроводностью. Нагрев мишени проводится в магнетронном разряде постоянного тока в аргоне с плотностью мощности выше 100 Вт/см2 до температуры, при которой давление насыщенных паров материала становится порядка или выше 0,5 Па, после чего подача аргона отключается, и разряд горит исключительно в парах материала мишени. Сформированный в этой среде импульсный магнетронный разряд характеризуется степенью ионизации плазмы выше 90% для широкого спектра материалов. Технический результат — повышение содержания в плазме ионов твердого тела до 90–98%.
При разработке ионно-плазменных устройств и на практике в технологических процессах осаждения покрытий
Александр
Тумаркин
Владимирович
Генеральный директор
Отсутствует
Отсутствует
AAH-7276-2019
56845159900
РОССИЯ
Александр
Тумаркин
Владимирович
Генеральный директор
РОССИЯ
29.27.51
Применение плазмы
29.27.43
Газовый разряд
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Андрей
Казиев
Викторович
Обоснование концепции
РОССИЯ
Александр
Тумаркин
Владимирович
Обоснование возможной конструкции
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "ПИНЧ"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ПИНЧ"
1187746880254
АЛЕКСАНДР
ТУМАРКИН
ВЛАДИМИРОВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью