Устройство для получения широкоапертурного низкоэнергетичного потока ионов
плазменный лист пучково-плазменный разряд широкоапертурные плазменные источники
Разработано устройство для получения широкоапертурного низкоэнергетичного потока ионов, содержащее  основной газоразрядный промежуток для формирования ленточного электронного пучка, состоящий из протяженного щелевого катода, сеточатого анода,  диэлектрической вставки из фторопласта  и системы формирования «плазменного листа» за сетчатым анодом, состоящий из  ускоряющего электрода-экстрактора,  коллектора  и диэлектрической подложки  вблизи поверхности которой создается поток низкоэнергетичных ионов, отличающиеся тем, что с целью формирования широкоапертурного низкоэнергетичного ионного потока над поверхностью подложки формируется пучково-плазменный разряд в виде «плазменного листа» в качестве широкоапертурного эмиттера ионного потока с энергией ионов порядка средней энергии вторичных плазменных электронов в «плазменном листе». Управление энергией ионного потока осуществляется путем изменения средней энергии вторичных плазменных электронов в «плазменном листе» за счет изменения давления газа и амплитуды импульсов напряжения на основном разрядном промежутке.
Микроэлектроника. Пассивация металлов и сплавов. Технологии атомно-слоевого травления и осаждения.
Назир
Ашурбеков
Ашурбекович
проректор
Доктор физико-математических наук
Профессор
C-8135-2017
6602652827
124134
http://cathedra.dgu.ru/OfTheDepartment.aspx?id=9&Pers_id=514
0000-0003-3045-9800
РОССИЯ
Муртазали
Рабаданов
Хулатаевич
ректор
РОССИЯ
29.27.51
Применение плазмы
29.27.43
Газовый разряд
29.27.23
Пучки в плазме
01.03.UF
PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
Кади
Иминов
Османович
Разработка устройства для получения широкоапертурного низкоэнергетичного потока ионов.
РОССИЯ
Назир
Ашурбеков
Ашурбекович
Разработка устройства для получения широкоапертурного низкоэнергетичного потока ионов.
РОССИЯ
Мадина
Закарьяева
Закарьяевна
Расчет эффективности устройства для электронно-лучевой технологии, плазмохимической технологии, а именно в технологиях атомно-слоевого травления материалов микро - и наноэлектроники, экспериментальной физике.
РОССИЯ
Асият
Муртазаева
Акаевна
Расчет эффективности устройства для электронно-лучевой технологии, плазмохимической технологии, а именно в технологиях атомно-слоевого травления материалов микро - и наноэлектроники, экспериментальной физике.
РОССИЯ
Гаджи
Шахсинов
Шабанович
Расчет эффективности устройства для электронно-лучевой технологии, плазмохимической технологии, а именно в технологиях атомно-слоевого травления материалов микро - и наноэлектроники, экспериментальной физике.
РОССИЯ
ДГУ
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего  образования "Дагестанский государственный университет"
1020502631621
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения