Устройство для электронно-лучевой литографии
голограмма микроскоп нанотехнологии литография
Изобретение относится к оборудованию для создания устройств микроэлектроники с помощью технологии электронно-лучевой литографии.
Устройство для электронно-лучевой литографии  (фиг1) содержит: электронно-оптическую систему 1 с блоком контроля интенсивности электронного луча  2;  координатный столик 3 с электроприводом  4 и блоком контроля текущего положения подвижной платформы 5; управляющий компьютер 6; генератор изображений 7; драйвер координатного столика 8; драйвер генератора изображений 9, при этом входы управления параметрами электронного луча электронно-оптической системы 1 подключены к соответствующим выходам генератора изображений 7, вход которого соединён с выходом блока контроля интенсивности электронного луча  2, а порт обмена данными  связан по оптоволоконной линии связи через драйвер  генератора изображений 9   с управляющим компьютером 6, который другим своим портом обмена данными через  драйвер координатного столика 8 соединён с электроприводом координатного столика 4 и блоком контроля текущего положения подвижной платформы 5.
Технический результат заключается в снижении суммарного времени  на изготовление  готового  изделия методом электронно-лучевой литографии при  повышении помехоустойчивости  работы  используемого оборудования
Предназначен для использования в микроэлектронике и в электронно-лучевой литографии
Сергей
Зайцев
Иванович
Научный руководитель проекта
Доктор физико-математических наук
Старший научный сотрудник
"_"
"_"
РОССИЯ
Булат
Гайфуллин
Накиевич
Генеральный директор
РОССИЯ
29.35.43
Электронная и ионная микроскопия
50.47.29
Автоматизированные системы управления непрерывными технологическими процессами
02.11.RA
MICROSCOPY
02.02.AC
AUTOMATION & CONTROL SYSTEMS
01.02.EW
COMPUTER SCIENCE, SOFTWARE ENGINEERING
Булат
Гайфуллин
Накиевич
Разработка, системное программирование, написание исходного текста программы
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "Интерфейс РУ"
Общество с ограниченной ответственностью "Интерфейс РУ"
1027700511288
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью