МЭМС-датчик давления
микроэлектромеханическая система мембранный датчик датчик давления термоэлектрический эффект термопара теплопроводность сжимаемость
Изобретение относится к измерительной технике – области микроэлектронных и микроэлектромеханических (МЭМС) устройств, а именно к датчикам давления. Датчик давления содержит фиксированную нижнюю мембрану, полость в подложке и две верхние гибкие чувствительные к внешнему давлению мембраны. Суть изобретения состоит в повышении чувствительности датчика и расширении диапазона измерения давления за счет возможности настройки датчика на необходимый режим работы. Данный эффект достигается за счет того, что на нижней перфорированной мембране размещается по меньшей мере одна термопара, фиксирующая изменение температуры нижней мембраны при изменении внешнего давления, а над верхней гибкой мембраной расположена дополнительная верхняя гибкая мембрана с повышенной жесткостью, при этом герметичное пространство между верхней мембраной и подложкой заполнено газом с минимальной теплопроводностью, а пространство между двумя верхними мембранами заполнено жидкостью с минимальным коэффициентом сжимаемости.
Медицинская техника, автомобильная промышленность, авиационная промышленность, научные исследования.
Владимир
Беспалов
Александрович
Ректор
Доктор технических наук
Профессор
P-6799-2015
57196985488
44925
-
РОССИЯ
Сергей
Гаврилов
Александрович
Проректор
РОССИЯ
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
59.37.33
Приборы для измерения давления
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Илья
Евсиков
Дмитриевич
РОССИЯ
Геннадий
Орешкин
Иванович
РОССИЯ
Николай
Дюжев
Алексеевич
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИЭТ"; НИУ МИЭТ;МИЭТ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
1027739615584
ВЛАДИМИР
БЕСПАЛОВ
АЛЕКСАНДРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения