Программа моделирования термического растекания резиста с неоднородным профилем вязкости
растекание резиста вязкость полимеры
Программа позволяет промоделировать термическое растекание сплошной структуры, полученной в резисте с неоднородным профилем вязкости. Растекание структуры описывается как процесс изменения формы ее поверхности под действием сил поверхностного натяжения. Моделирование движения вершин поверхности проводится в режиме нормализации площади методом конечных элементов. Локальный коэффициент поверхностного натяжения и объемные свойства резиста описываются коэффициентом подвижности вершины, выражающим связь между силой, действующей на вершину поверхности резиста, и скоростью вершины. Значения коэффициентов подвижности вершин рассчитываются из локальной вязкости и температуры резиста по эмпирической формуле. Программа написана на языке Python, имеет клавиатурно-файловый интерфейс ввода данных, вывод результатов моделирования производится в файлы формата .npy.
Программа может быть использована при моделировании физических процессов в резистах при повышенной температуре и разработке технологии формирования устройств оптоэлектроники, дифракционной оптики и голографии.
Александр
Рогожин
Евгеньевич
старший научный сотрудник
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
N-8835-2016
14042347400
165805
0000-0002-9554-673X
РОССИЯ
Владимир
Лукичев
Федорович
директор
РОССИЯ
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
47.37.29
Оптическая голография
Федор
Сидоров
Алексеевич
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
""
""
""
РОССИЯ
Александр
Рогожин
Евгеньевич
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"N-8835-2016"
"14042347400"
"165805"
"0000-0002-9554-673X"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФТИАН им. К.А.Валиева РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А.Валиева Российской академии наук
1037739352155
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения