Бесконтактный датчик микрорельефа
Дефектоскопия поверхности микроволновой резонатор измерение амплитуды стоячей волны
Изобретение может использоваться для выявления и измерения микрорельефа поверхности из металлов и диэлектриков, а также с целями дефектоскопии поверхности и обнаружения неоднородности приповерхностных слоев. Бесконтактный датчик микрорельефа состоит из одного или несколькихмикроволновых резонаторов, расположенных вблизи исследуемой поверхности и работающих с использованием эффекта изменения амплитуды стоячей волны в резонаторе в зависимости отформы зазорамежду резонатором и поверхностью, а также от свойств материала поверхности в области ее взаимодействия с резонатором. Согласно изобретению в качестве резонатора использована
планарная структура на диэлектрической подложке, содержащая две резонансные щели, синфазно возбуждаемые высокочастотным сигналом, и снабженная отдельным портом для считывания противофазного сигнала таких резонансных щелей. Изобретение обеспечивает возможность разделить сигнал на два канала, в которых по отдельности регистрируются сигналы, зависящие от расстояния между датчиком и поверхностью, и сигналы, зависящие от градиента рельефа в активной области датчика, кроме того, такой датчик позволяет принципиально повысить чувствительность и информативность измерений в режиме микроскопии ближнего электромагнитного поля.
Выявление и измерение микрорельефа поверхности из металлов и диэлектриков, дефектоскопия поверхности и обнаружение неоднородности приповерхностных слоев
Сергей
Шитов
Витальевич
Главный научный сотрудник  лаборатории «Сверхпроводящие метаматериалы»
Доктор физико-математических наук
Отсутствует
G-7843-2015
7004148528
23706
https://misis.ru/science/community/scientists/international/3503/
0000-0002-6496-5157
РОССИЯ
Елена
Босова
Владимировна
Главный специалист ОПКиАНД по доверенности №29-312 от 03.02.2021
РОССИЯ
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
29.19.29
Сверхпроводники
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Сергей
Шитов
Витальевич
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НИТУ МИСИС
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИСИС"
1027739439749
АЛЕВТИНА
ЧЕРНИКОВА
АНАТОЛЬЕВНА
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения