Программа расчета мощностей магнетронов для управляемого синтеза MAX-пленок
сверхвысокий вакуум магнетронное распыление MAX-фазы тонкие пленки
Программа предназначена для расчёта мощностей магнетронных испарителей в составе сверхвысоковакуумного оборудования для синтеза тонких пленок заданного стехиометрического состава и толщины. Программа позволяет задавать стехиометрию пленок на основе функций скорости распыления материала мишеней от мощности магнетрона, определенных на этапах калибровки каждого отдельного источника, и задания ожидаемого состава получаемых структур. Данная программа позволяет определять оптимальные технологические параметры синтеза четырехкомпонентных МАХ-фаз заданной толщины с заданной скоростью магнетронного соосаждения.
Данная программа может быть использована для получения структур отличного от МАХ-фаз стехиометрического состава.
Сергей
Овчинников
Геннадьевич
руководитель научного направления
Доктор физико-математических наук
Профессор
-
14122071800
РОССИЯ
Антон
Злотников
Олегович
ученый секретарь
РОССИЯ
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Сергей
Лященко
Александрович
РОССИЯ
Татьяна
Андрющенко
Александровна
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИФ СО РАН
Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук – обособленное подразделение ФИЦ КНЦ СО РАН
1022402133698
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Обособленные подразделения юридических лиц