Интегральный электростатический микроэлектромеханический вентиль
радиоактивное излучение механическое устройство логический микроэлектромеханический вентиль МЭМС
Изобретение относится к области микросистемной техники, а именно к интегральному электростатическому микроэлектромеханическому логическому вентилю, выдерживающего радиоактивное излучение и нагрев, состоящему из поли-SiGe подвижного затворного электрода, подвешенного на пружинных загнутых элементах (подвесках) и вольфрамового корпусного электрода под ним, отличающийся тем, что площадь вентиля уменьшена до 78×89 мкм2, затвор квадратной формы уменьшен до площади 28×28 мкм2, что снижает массу затвора, тем самым увеличивая скорость переключения, но также уменьшает площадь перекрытия затвора и управляющего электрода до 78 мкм, что увеличивает напряжение срабатывания переключателя, что компенсируется уменьшение жесткости подвесов, длина которых снижена до 28 мкм.
Конструктивно-технологические решения и технологические операции, позволяющих создать функциональный набор логических вентилей на основе микроэлектромеханических систем и возможность реализации на их основе узлов вычислительных систем, перспективных аналогов схем на КМОП-транзисторах.
Александр
Соловьев
Анатольевич
Исполнитель
Отсутствует
Отсутствует
-
-
РОССИЯ
Александр
Соловьев
Анатольевич
Исполнитель
РОССИЯ
47.33.37
Приборы функциональной микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
02.03.IU
ENGINEERING, MECHANICAL
02.03.PU
MECHANICS
Александр
Соловьев
Анатольевич
Разработка конструктивно-технологического решения, проектирование и расчет
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Александр
Соловьев
Анатольевич
Физическое лицо
РОССИЯ