Способ создания высокоаспектных протяженных структур с диаметрами субмикронных размеров в диэлектрическом кристалле фемтосекундными рентгеновскими импульсами
фторид лития фемтосекундные рентгеновские импульсы протяженные структуры обработка поверхности диэлектриков протяженные полости субмикронного диаметра
Изобретение относится к нанотехнологиям и микроструктурным технологиям и может быть использовано для создания протяженных структур в виде полостей с диаметром субмикронных размеров и высоким аспектным соотношением в кристалле фторида лития (LiF). Сущность изобретения заключается в том, что способ создания протяженных полостей с диаметрами субмикронных размеров в кристалле LiF c помощью когерентных рентгеновских импульсов заключается в прошивке отверстия в кристалле LiF лазерным методом за счет наведения фокального пятна на поверхность кристалла и перемещении этого пятна c микронной точностью по поверхности кристалла, при этом для получения глубоких полостей с диаметрами субмикронных размеров в кристалле LiF используют когерентные фемтосекундные (20 фс) рентгеновские импульсы с длиной волны фотонов равной 1.3776 Å, при которой длина затухания в структуре LiF равна 475 мкм. Технический результат заключается в обеспечении возможности упрощения способа создания протяженных полостей субмикронного диаметра с аспектным соотношением порядка 1:1800 в кристалле LiF для создания фотонных кристаллов и фотонных волноводов.
создание протяженных структур в виде полостей с диаметром субмикронных размеров и высоким аспектным соотношением в кристалле фторида лития (LiF)
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
Андрей
Кузнецов
Петрович
"Доктор физико-математических наук"
"Доцент"
"B-4739-2016"
"55387332700"
""
РОССИЯ
Сергей
Пикуз
Алексеевич
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"F-7768-2014"
"57202034106"
"166893"
РОССИЯ
Сергей
Макаров
Станиславович
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"T-5631-2018"
"57072855900"
РОССИЯ
Татьяна
Пикуз
Александровна
"Кандидат технических наук"
"Отсутствует"
"F-7796-2014"
"35429592600"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НИЯУ МИФИ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЯДЕРНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИФИ"
1037739366477
МИХАИЛ
СТРИХАНОВ
НИКОЛАЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения