Программа расчёта поляризационных свойств слоистых отражающих структур и моделирования спектров эллипсометрии
СЛОИСТАЯ СТРУКТУРА ПРЕЛОМЛЕНИЕ ПОЛЯРИЗАЦИЯ СВЕТ ОТРАЖЕНИЕ ПОГЛОЩЕНИЕ ДИСПЕРСИЯ ЭЛЕКТРОМАГНИТНАЯ ВОЛНА ОПТИЧЕСКИЕ КОНСТАНТЫ ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ
Программа предназначена для моделирования слоистых отражающих структур, расчёта изменения поляризации и восстановления параметров структур по экспериментальным данным метода эллипсометрии. Вычисление спектров отражения проводится матричным методом для двух компонент поляризации волны, данные представляются в виде спектров эллипсометрических углов Ψ и Δ. Отражающая структура может содержать произвольное число слоёв, данные об оптических константах которых загружаются из баз данных в текстовом формате. Неизвестные параметры слоёв восстанавливаются численным решением обратной задачи эллипсометрии. Разработка выполнена с применением оборудования ЦКП "ВТАН" НГУ, поддержана грантом МНВО РФ №075-15-2021-697.
Язык программирования: MATLAB
Система: OC Windows 10. Объём программы: 29 Кб.
Способы использования – моделирование спектров отражения поляризованного и неполяризованного света под произвольным углом падения на слоистую структуру. Обработка экспериментальных данных методов эллипсометрии и рефлектометрии.
Павел
Гейдт
Викторович
Заведующий лабораторией
Отсутствует
Отсутствует
J-6188-2015
56248211200
1015123
https://scholar.google.ru/citations?user=as__uacAAAAJ&hl=en
0000-0003-3266-826X
РОССИЯ
Дмитрий
Чуркин
Владимирович
проректор по научно-исследовательской деятельности
РОССИЯ
29.03.45
Обработка данных физического эксперимента
29.03.31
Оптические методы измерения в физическом эксперименте
29.31.21
Оптика твердых тел
20.53.19
Средства обработки и поиска информации
01.03.UB
PHYSICS, APPLIED
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
01.02.EV
COMPUTER SCIENCE, INTERDISCIPLINARY APPLICATIONS
01.03.SY
OPTICS
Иван
Азаров
Алексеевич
100 %
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НОВОСИБИРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ, НГУ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НОВОСИБИРСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1025403658565
МИХАИЛ
ФЕДОРУК
ПЕТРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения