Датчик органических паров и газоаналитический мультисенсорный чип на основе окисленного двумерного карбида ниобия (максена) и способ их изготовления
карбид ниобия мультисенсорная система максен газовый сенсор
Изобретение относится к области сенсорной техники и микро/нанотехнологий, а именно к разработке датчиков газа, способных детектировать и селективно определять газовые среды, в частности органические пары. Способ изготовления датчика органических паров и мультисенсорного чипа включает синтез двумерных структур карбида ниобия Nb2CTx (максена), где Тx = O-, OH-, F-, и нанесение их в виде слоя на диэлектрическую подложку, оборудованную компланарными измерительными электродами с последующим отжигом при температуре 300 оС для окисления максенов с целью формирования поверхностного слоя оксида ниобия. Результатом является изготовление нового высокочувствительного хеморезистивного датчика органических паров (при использовании двух измерительных электродов) и газоаналитического мультисенсорного чипа (при использовании более трех электродов), функционирующих при 300 °C. Датчик отличается повышенной чувствительностью к органическим парам с пределом детектирования в ppb диапазоне. Векторный сигнал мультисенсорного чипа позволяет распознавать пары летучих соединений при соответствующей обработке методами искусственного интеллекта.
Анализ газов
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
Илья
Плугин
Анатольевич
"Кандидат технических наук"
"Отсутствует"
РОССИЯ
Виктор
Сысоев
Владимирович
"Доктор технических наук"
"Доцент"
РОССИЯ
Алексей
Варежников
Сергеевич
"Кандидат технических наук"
"Отсутствует"
РОССИЯ
РНФ
Российский научный фонд
1137799022261
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Фонды
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САРАТОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ ГАГАРИНА Ю.А."
1026403341139
СЕРГЕЙ
НАУМОВ
ЮРЬЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения