Магнетронное распылительное устройство
Плазма вакуум распыление поверхности осаждение покрытия
Изобретение относится к устройствам для осаждения покрытий на изделия в вакуумной камере и предназначено для получения изделий со сверхтвердыми покрытиями с улучшенной адгезией и низким коэффициентом трения за счет добавления к осаждаемым на изделии атомам распыляемой магнетронной мишени атомов легирующего элемента. 
Технический результат – расширение эксплуатационных возможностей за счет варьирования легирующего элемента мишени и регулирования содержания его атомов в потоке атомов мишени на подложку, а также снижение затрат на изготовление мишеней. Магнетронное распылительное устройство, содержит плоскую круглую мишень, являющуюся катодом тлеющего разряда, магнитную систему, один из полюсов которой прилегает к центру внешней поверхности мишени, а второй ее полюс прилегает к периферии внешней поверхности мишени, вакуумную камеру, являющуюся анодом тлеющего разряда, источник питания тлеющего разряда, соединенный отрицательным полюсом с мишенью, а положительным полюсом – с вакуумной камерой, выполненный из материала легирующего элемента концентричный с мишенью закрепленный на ней диск с диаметром D, превышающий диаметр D1 заданной, не распыляемой ионами центральной зоны мишени и меньший максимального диаметра D2 заданной области распыления. На фиг. 1 показана схема магнетронного распылительного устройства. 1 ил.
Область проектирования и изготовления инновационных конструкций вакуумно-плазменного оборудования.
Александр
Метель
Сергеевич
Профессор
Доктор физико-математических наук
Доцент
L-8736-2013
6506816930
125667
РОССИЯ
Владимир
Серебренный
Валерьевич
Ректор
РОССИЯ
55.09.01
Общие вопросы
02.03.DT
THERMODYNAMICS
Сергей
Григорьев
Николаевич
разработка общей конструкции устройства
РОССИЯ
Юрий
Мельник
Андреевич
разработка конструкции устройства закрепления диска на мишени магнетрона
РОССИЯ
Александр
Метель
Сергеевич
разработка технического решения по созданию устройства для осаждения покрытий на изделия
РОССИЯ
Марина
Волосова
Александровна
эксперимент. исследование модели устройства
РОССИЯ
Энвер
Мустафаев
Серверович
разработка и исследование магнетронного устройства
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГБОУ ВО «МГТУ «СТАНКИН»
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
1037700246451
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения