Манипулятор для перемещения полупроводниковых пластин
манипулятор, перемещение полупроводниковых пластин, роботехника
Изобретение относится к области робототехники, в частности к манипуляторам для перемещения полупроводниковых пластин. Манипулятор содержит основание с установленным на нем подшипниковым узлом с коаксиально расположенными в корпусе внутренним валом и внешним валом, привод, руку, состоящую из плеча, локтя и кисти, на концах которой расположено не менее одного держателя пластин. Изобретение обеспечивает повышение точности позиционирования.
Цель изобретения заключается в создании прецизионного манипулятора для транспортировки полупроводниковых пластин в производстве изделий электронной техники.
Одиноков В.В.
Заместитель генерального директора по науке
Доктор технических наук
Бирюков М. Г.
Генеральный директор
47.13.19
Прочие технологические процессы и оборудование в производстве радиоэлектронной аппаратуры
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.00
Electrical eng, electronic eng
02.11.00
Other engineering and technologies
Евгений
Аверьянов
Владимирович
Разработка конструкции элементов устройства
Вадим
Одиноков
Васильевич
Разработка технических решений
Александр
Шубников
Валерьевич
Разработка конструкции элементов устройства
Георгий
Павлов
Яковлевич
Разработка технологических решений
Михаил
Бирюков
Георгиевич
Разработка технических решений
Павел
Афонин
Евгеньевич
Разработка технологических решений
АО НИИТМ
Акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения"
1027700037749
Организация
Приватизированные предприятия
Непубличные акционерные общества
АО НИИТМ
Акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения"
1027700037749
Организация
Приватизированные предприятия
Непубличные акционерные общества