Алмазный меза-транзистор
алмазный электропроводящий слой алмазный изолирующий кристалл транзисторам на основе алмаза
Полезная модель относится к приборам электронной техники, а именно, к транзисторам на основе алмаза, включающего алмазный изолирующий кристалл, на который нанесен алмазный электропроводящий слой с контактами истока и стока, и диэлектрический слой, расположенный между контактами истока и стока с металлическим контактом затвора, нанесенным на диэлектрический слой, контакты истока и стока выполнены в виде многослойной структуры Ti/TiN/Ti/Au, между алмазным электропроводящим слоем и диэлектрическим слоем, расположенным между истоком и стоком, сформирован приповерхностный слой алмаза, обогащенный бором методом полиэнергетической ионной имплантации, при этом по периметру алмазного транзистора на некотором расстоянии от областей стока и истока транзистора, сформированы концентрические зазоры (канавки), глубиной от верхней поверхности слоя металлизации областей стока и истока транзистора до поверхности полуизолирующей алмазной подложки, причем с некоторым заглублением в ее приповерхностный слой.
Полезная модель обеспечивает снижение потребляемой мощности алмазного транзистора, уменьшение токовых утечек между элементами транзистора и соседних транзисторов, улучшение и расширение диапазона электрофизических характеристик алмазного транзистора.
Основными отраслями применения алмазного транзистора являются изделия электронной техники, электронная компонентная база, полупроводниковая СВЧ-техника.
29.17.27
Жидкие металлы и полупроводники
Андрей
Алтухов
Александрович
"Кандидат технических наук"
"Отсутствует"
"ABC-4468-2020"
"6701707351"
"258668"
"0000-0002-3106-0001"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
РТУ МИРЭА
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МИРЭА - РОССИЙСКИЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1037739552740
СТАНИСЛАВ
КУДЖ
АЛЕКСЕЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения