Способ регулирования латерального разрешения микроскопии поверхностных плазмон-поляритонов
поверхностный плазмонный резонанс терагерцевое излучение латеральное разрешение микроскопия поверхностных плазмон-поляритонов
В основу изобретения поставлена задача разработки такого способа ППП-микроскопии, который позволял бы выбирать необходимое латеральное разрешение. Регулирование латерального разрешения ППП-микроскопии. Предлагаемым способом достигается в результате изменения диэлектрической проницаемости исследуемого зондирующим терагерцевым излучением участка поверхности полупроводникового образца.
Изобретение относится к области контроля качества поверхностей твердых тел оптическими методами, а именно к обнаружению дефектов и микрообъектов на Плоских поверхностях полупроводящих изделий путем регистрации отличия эффективности возбуждения поверхностных плазмон-поляритонов (ППП) на участках поверхности с неоднородностями от условий возбуждения ППП на однородных участках поверхности, и может найти применение в микроэлектронике и оптическом приборостроении (например, для контроля качества подготовки поверхностей полупроводниковых вейферов, подложек интегрально-оптических устройств, лазерных зеркал и т.д.).
29.19.31
Полупроводники
29.31.21
Оптика твердых тел
29.35.33
Миллиметровые и субмиллиметровые волны
Илдус
Хасанов
Шевкетович
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"M-3497-2016"
"55657338600"
"https://ntcup.ru/nashi-dostizheniya/stc-ui-ras-researchers/xasanov-ildus-shevketovich/"
"0000-0001-9876-0769"
РОССИЯ
Алексей
Никитин
Константинович
"Доктор технических наук"
"Профессор"
"S-4877-2017"
"8418183700"
"28369"
"https://ntcup.ru/nashi-dostizheniya/stc-ui-ras-researchers/nikitin-aleksej-konstantinovich/"
"0000-0003-0286-0066"
РОССИЯ
НТЦ УП РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Научно-технологический центр уникального приборостроения Российской академии наук
1037739516781
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения