Способ временного бондинга для формирования тонких пластин
микросборка бондинг тонкие пластины
Изобретение относится к электронной технике, в частности к микроэлектронике, и может быть использовано при изготовлении кристаллов интегральных схем (ИС) и дискретных полупроводниковых приборов, представляющих собой тонкую пластину.
Задачей настоящего изобретения является расширение методов отделения тонкой рабочей пластины при сохранении механической целостности, снижение уровня дефектности и загрязнений на поверхности тонкой пластины.
Это достигается за счёт изменения последовательности слоёв в микросборке: рабочая пластина-антиадгезив-адгезив-пластина-носитель (в прототипе рабочая пластина- адгезив-антиадгезив-пластина-носитель). Также модифицируется структура пластины-носителя: предварительно формируют массив сквозных канавок для проведения травления адгезионного слоя. Как результат, процесс отделения тонкой рабочей пластины можно выполнять как механическим методом (как в прототипе), так и жидкостным и/или плазмохимическим (сухим) методом.
Cнижение уровня дефектности и загрязнений на поверхности тонкой пластины достигается за счёт покрытия поверхности рабочей пластины антиадгезионной плёнкой. Материал антиадгезива по сравнению с адгезивом значительно лучше удаляется с поверхности пластины из-за меньшей величины энергии связи (адгезии) материал-поверхность пластины.
Технологический процесс обработки тонких пластин
Игорь
Васильев
Александрович
Научный руководитель
Отсутствует
Отсутствует
-
-
РОССИЯ
Дмитрий
Козленков
Сергеевич
Генеральный директор
РОССИЯ
29.19.01
Общие вопросы
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Дмитрий
Козленков
Сергеевич
РОССИЯ
Евгений
Гусев
Эдуардович
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "ДЦ-ОРБИТА"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ДИЗАЙН-ЦЕНТР ОРБИТА"
1217700247160
ДМИТРИЙ
КОЗЛЕНКОВ
СЕРГЕЕВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью