многофункциональный подложкодержатель для пластин, используемый при изготовлении интегральных схем
Микросборка МЭМС Подложкодержатель пластина
Полезная модель относится к области микроэлектроники. Устройство может быть использовано для проведения большинства технологических операций (например, фотолитография, реактивно-ионное травление, плазмохимическое травление, осаждение плёнок методами PECVD). Использование данного устройства позволяет выпускать кремниевые чипы без перестройки технологического оборудования. Таким образом, обеспечивается возможность работы с пластинами любого диаметра. Также обеспечивается возможность работы с отдельными кристаллами (фрагментами пластин).
В результате использования предлагаемого устройства увеличивается надежность при сохранении механической целостности пластины в процессе операции ее обработки, расширяется перечень проводимых технологических операций, обеспечивается возможность транспортировки образца, обеспечивается возможность групповой обработки пластин или их фрагментов.
Данный результат достигается за счёт использования в конструкции многофункционального подложкодержателя следующих элементов: паз, форма которого аналогична форме стандартной полупроводниковой пластины, форма многофункционального подложкодержателя аналогична форме стандартной полупроводниковой пластины.
Идея заключается в возможности выполнять технологические операции с пластиной диаметром 100 мм и менее на оборудовании, предназначенном для пластин от 150 мм и более.
Игорь
Васильев
Александрович
Научный руководитель
Отсутствует
Отсутствует
-
-
РОССИЯ
Дмитрий
Козленков
Сергеевич
Генеральный директор
РОССИЯ
30.15.15
Механика точки, системы и твердого тела
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Евгений
Гусев
Эдуардович
РОССИЯ
Михаил
Фомичёв
Юрьевич
РОССИЯ
Дмитрий
Козленков
Сергеевич
РОССИЯ
Павел
Иванин
Сергеевич
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "ДЦ-ОРБИТА"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ДИЗАЙН-ЦЕНТР ОРБИТА"
1217700247160
ДМИТРИЙ
КОЗЛЕНКОВ
СЕРГЕЕВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью