Устройство для получения силицена
Вакуумная техника тонкие пленки нанесение покрытий силицен
Полезная модель относится к области получения эпитаксиальных тонкопленочных материалов в вакууме и может быть использована для производства кремний-содержащих логических компонентов приборов наноэлектроники, композитных материалов для реального сектора экономики. Устройство для получения силицена представляет собой вакуумную камеру, к корпусу которой посредством фланцевых соединений присоединены система откачки и контроля давления, источник кремния, кварцевые микровесы.  Вольфрамовая подложка с нанесенным на ее поверхность слоем монокристаллического серебра закреплена на нагревательном элементе. Устройство работает следующим образом. При достижении давления в камере 1 уровня вакуума от 10-8 до 10-10 мбар производят нагрев  монокристаллической вольфрамовой подложкой с предварительно нанесенным монокристаллическим слоем серебра до  определенной температуры в диапазоне от 200 до 300 °С. Затем производят термическое нанесение одного монослоя кремния. Силицен формируется за счет миграции атомов кремния на поверхности нагретой монокристаллической вольфрамовой подложки с предварительно нанесенным монокристаллическим слоем серебра, а кристаллическая ориентация силицена задается структурными параметрами слоя серебра.
Устройство может быть использовано в области получения эпитаксиальных тонкопленочных материалов в вакууме и может быть использована для производства кремний-содержащих логических компонентов приборов наноэлектроники, композитных материалов для реального сектора экономики.
Элеонора
Лазнева
Федоровна
Ведущий научный сотрудник
Доктор физико-математических наук
Старший научный сотрудник
N-1139-2015
6701845505
47379
0000-0002-5484-8045
РОССИЯ
Елена
Лебедева
Витальевна
Начальник Управления научных исследований
РОССИЯ
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Алексей
Комолов
Сергеевич
РОССИЯ
Дмитрий
Пудиков
Александрович
РОССИЯ
Евгений
Жижин
Владимирович
РОССИЯ
РФФИ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "РОССИЙСКИЙ ФОНД ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ"
1037739411489
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Российский фонд фундаментальных исследований"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербургский университет, СПбГУ
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный университет"
1037800006089
Организация
Правительство Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения