Способ ионно-плазменного азотирования изделий из титана или титанового сплава
АЗОТИРОВАНИЕ ТИТАНА ИНЖЕКЦИЯ ЭЛЕКТРОНОВ НЕСАМОСТОЯТЕЛЬНЫЙ ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД
Изобретение относится к упрочнению поверхности изделий из титана и титановых сплавов путем ионно-плазменного азотирования и может быть использовано в авиакосмической отрасли, машиностроении, медицине и других отраслях. В вакуумную камеру напускают азот или азотсодержащую смесь газов, в рабочий объем камеры инжектируют электроны, зажигают тлеющий разряд между полым катодом и анодом и генерируют плазму. На обрабатываемые изделия подают отрицательное относительно анода напряжение, затем проводят очистку и нагрев поверхности изделий за счет ионной бомбардировки положительно заряженными ионами и последующее азотирование в плазме тлеющего разряда. Генерацию плазмы осуществляют в частотно-импульсном тлеющем разряде при частоте следования импульсов 1 Гц - 100 кГц с коэффициентом заполнения импульсов разрядного тока 10-90 % при давлении 0,1-10 Па. Изделие азотируют при средней плотности тока ионов из плазмы 1-15 мА/см2и при импульсной плотности тока ионов 5-100 мА/см2в нагретом состоянии при температуре, обеспечивающей диффузию азота вглубь титана или титаносодержащего сплава. В частном случае осуществления изобретения инжекцию электронов в рабочий объем камеры осуществляют в импульсном режиме, при этом импульсы тока электронов синхронизированы с импульсами тока тлеющего разряда, в качестве полого катода используют внутренние стенки вакуумной камеры или поверхность теплового экрана. Обеспечивается повышение насыщающей способности среды для азотирования и упрочнения поверхности изделий.
Изобретение относится к упрочнению поверхности изделий из титана и титановых сплавов путем ионно-плазменного азотирования и может быть применено в авиакосмической отрасли, машиностроении, медицине и т.д.
29.27.43
Газовый разряд
29.27.51
Применение плазмы
Илья
Лопатин
Викторович
"Кандидат технических наук"
"Отсутствует"
"R-2938-2016"
"7003860390"
"151533"
РОССИЯ
Юрий
Ахмадеев
Халяфович
"Кандидат технических наук"
"Отсутствует"
"A-9212-2014"
"8718810600"
"162501"
РОССИЯ
Юрий
Иванов
Федорович
"Доктор физико-математических наук"
"Доцент"
"A-9268-2015"
"56197197400"
"17783"
"0000-0001-8022-7958"
РОССИЯ
Юлия
Денисова
Александровна
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"A-8990-2014"
"56891377300"
"162075"
"0000-0002-3069-1434"
РОССИЯ
Евгений
Островерхов
Владимирович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"U-758-2018"
"57199226909"
"992866"
"-"
РОССИЯ
Николай
Коваль
Николаевич
"Доктор технических наук"
"Отсутствует"
"H-6877-2016"
"7003309319"
"102803"
"-"
РОССИЯ
Владимир
Денисов
Викторович
"Кандидат технических наук"
"Отсутствует"
"E-7276-2014"
"55598586100"
"745667"
"0000-0002-5446-2337"
РОССИЯ
ИСЭ СО РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
1027000871666
ИЛЬЯ
РОМАНЧЕНКО
ВИКТОРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ИСЭ СО РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
1027000871666
ИЛЬЯ
РОМАНЧЕНКО
ВИКТОРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения