Способ подготовки проб для измерения микропримесей элементов Al, Sb, Ba, Be, Bi, Cd, Ca, Cr, Co, Cu, Ga, Ge, Fe, Pb, Li, Mg, Mo, Ni, Nb, K, Na, Sr, Sn, Ti, Zn, Pt, Mn, In, Au, Tl, Ta, Ag, V в составе ультрачистой серной кислоты для микроэлектроники в диапазоне 0,01-5 ppb методом ИСП-АЭС
МИКРОПРИМЕСИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА СЕРНАЯ КИСЛОТА АТОМНО-ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОМЕТРИЯ С ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМОЙ
Предлагаемое решение относится к методам подготовки проб высокочистой серной кислоты для микроэлектроники с целью последующего микропримесного элементного анализа
При отработке технологии производства ультрачистой серной кислоты для микроэлектроники, реализации выходного контроля лабораторией изготовителем, входного контроля на производствах потребителях
31.19.15
Анализ неорганических веществ
Павел
Волков
Александрович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"A-7127-2014"
"56375465800"
"0000-0001-5393-6847"
РОССИЯ
Артем
Исмагулов
Маратович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"57222555385"
РОССИЯ
Павел
Жданов
Алексеевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"57225847825"
РОССИЯ
Екатерина
Ващенкова
Сергеевна
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"AAH-8598-2019"
"57200795500"
"0000-0002-9921-4142"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НИЦ "Курчатовский институт"
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ"
1027739576006
МАРАТ
КАМБОЛОВ
АРКАДЬЕВИЧ
Организация
Правительство Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения