Устройство оптической очистки твердой поверхности от наночастиц
фотоника, наночастица, частица
Изобретение относится к устройствам очистки твердых поверхностей от нано- и микрочастиц и может быть использовано для удаления наночастиц с поверхности полупроводниковых пластин после их шлифовки, а также в космической оптике, оптике высокого разрешения, фотонике, иных нанотехнологиях.

Указанная задача решена благодаря тому, что устройство оптической очистки твердой поверхности от наночастиц, содержит источник лазерного излучения, облучающий мезоразмерную диэлектрическую частицу с характерным размером (диаметром) не менее длины волны используемого излучения и эффективным показателем преломления материала приблизительно равным 2, в мезоразмерной частице выполнено отверстие с диаметром менее половины длины волны используемого излучения, новым является то, что мезоразмерная частица имеет форму цилиндра или прямоугольного параллелепипеда, облучение производят по боковой поверхности частицы, а отверстие выполнено непосредственно на теневой поверхности мезоразмерной частицы вдоль ее боковой поверхности.

Техническим результатом является создание устройства оптической очистки твердой поверхности от наночастиц с высокой эффективностью работы за счет большей поверхности одновременного удаления микро- и наночастиц с твердой поверхности бесконтактным методом.
Изобретение относится к устройствам очистки твердых поверхностей от нано- и микрочастиц и может быть использовано для удаления наночастиц с поверхности полупроводниковых пластин после их шлифовки, а также в космической оптике, оптике высокого разрешения, фотонике, иных нанотехнологиях.
Игорь
Минин
Владиленович
Заведующий лабораторией
Доктор технических наук
Профессор
"-"
"-"
РОССИЯ
Александр
Карпик
Петрович
Ректор
РОССИЯ
29.31.01
Общие вопросы
01.03.SY
OPTICS
Игорь
Минин
Владиленович
50%
РОССИЯ
Олег
Минин
Владиленович
50%
РОССИЯ
ФГБОУ ВО "СИБИРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ГЕОСИСТЕМ И ТЕХНОЛОГИЙ", СИБИРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ГЕОСИСТЕМ И ТЕХНОЛОГИЙ, СГУГИТ, ФГБОУ ВО "СГУГИТ"
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "СИБИРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ГЕОСИСТЕМ И ТЕХНОЛОГИЙ"
1025401493061
АЛЕКСАНДР
КАРПИК
ПЕТРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения