Блок фиксации нагреваемой подложки в вакуумной камере с жесткими зажимами фиксирующих керамических пластин
МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ, ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА, ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ СТРУКТУРА
Сущность полезной модели заключается в том, что блок фиксации подложки, нагреваемой с помощью изготовленного из тугоплавкого металла или сплава пластинчатого или ленточного резистивного нагревателя в вакуумных установках, предпочтительно, с фиксацией подложки с нижним расположением ее рабочей поверхности и формированием потоков паров полупроводникового материала, например, германия в направлении снизу вверх от сублимационных источников указанных паров или потоков паров полупроводникового материала, например германия или/и кремния, в направлении снизу вверх от тигельных молекулярных источников на основе электроннолучевых испарителей.
Использование: для вакуумной молекулярно-лучевой эпитаксии полупроводниковых структур
Тетельбаум Д.И.
Ведущий научный сотрудник
Загайнова Е.В.
врио ректора
29.19.21
Влияние облучения на свойства твердых тел
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
47.09.48
Наноматериалы для электроники
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Николай
Кривулин
Олегович
проведение экспериментальных опытов, анализ и обработка полученных результатов
Елена
Кочугова
Сергеевна
проведение экспериментальных опытов, оформление результатов и тех. документации
Дмитрий
Павлов
Алексеевич
основная идея, контроль за ходом работы и результатами
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ННГУ им. Н.И. Лобачевского
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского».
1025203733510
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения