Фоточувствительная к инфракрасному излучению структура и способ ее изготовления
ИНФРАКРАСНЫЙ ДЕТЕКТОР МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ ПОРОГОВЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ И ФОТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СВЕРХРЕШЕТКА УНИПОЛЯРНАЯ БАРЬЕРНАЯ СТРУКТУРА ФОТОДИОД ЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ ДИАГРАММА
Изобретение относится к инфракрасной технике и технологии изготовления устройств инфракрасной техники, конкретно – к фотоприемным устройствам инфракрасного диапазона длин волн и технологии их изготовления. Сущность изобретения состоит в том, что в барьерной фоточувствительной к инфракрасному излучению структуре, включающей подложку (слой 1), расположенный на подложке поглощающий слой из CdxHg1-xTe с составом x = 0,22-0,4 толщиной 2-4 мкм (слой 2), расположенный на поглощающем слое барьерный слой из CdxHg1-xTe с составом x = 0,6-0,7 толщиной 0,2-0,5 мкм (слой 3), расположенный на барьерном слое контактный слой из CdxHg1-xTe с составом x = 0,22-0,4 толщиной 1-2 мкм (слой 4), на контактном слое располагается пассивирующий слой (слой 5), а металлический полевой электрод из In (слой 6) нанесен на поверхность пассивирующего слоя, причём геометрические размеры полевого электрода (слой 6) выбирают таким образом, чтобы минимальное расстояние от края полевого электрода до края площадки, ограничивающей область фоточувствительной структуры, было бы равно 1,0-1,2 мкм.
Инфракрасной техника, технологии изготовления устройств инфракрасной техники, фотоприемные устройства инфракрасного диапазона длин волн и технологии их изготовления.
Александр
Войцеховский
Васильевич
Зав. кафедрой
Доктор физико-математических наук
Профессор
P-1741-2014
7003912639
2257-4512
РОССИЯ
Александр
Ворожцов
Борисович
Проректор по научной и инновационной деятельности
РОССИЯ
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
01.03.UI
PHYSICS, MULTIDISCIPLINARY
Александр
Войцеховский
Васильевич
16 %
РОССИЯ
Дмитрий
Горн
Игоревич
14 %
РОССИЯ
Николай
Михайлов
Николаевич
14 %
РОССИЯ
Сергей
Дворецкий
Алексеевич
14 %
РОССИЯ
Георгий
Сидоров
Юрьевич
14 %
РОССИЯ
Сергей
Несмелов
Николаевич
14 %
РОССИЯ
Станислав
Дзядух
Михайлович
14 %
РОССИЯ
РНФ
Российский научный фонд
1137799022261
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Фонды
Томский государственный университет, ТГУ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский Томский государственный университет"
1027000853978
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения