Устройство для термической обработки металлических, полупроводниковых подложек и    аморфных плёнок
устройство для термической обработки аморфные пленки полупроводниковые подложки
Изобретение относится к технологии термической обработки металлических, полупроводниковых подложек и аморфных плёнок. 
В устройстве для термической обработки металлических, полупроводниковых подложек и аморфных плёнок, содержащем корпус с размещенной внутри него теплоизоляцией, подложкодержатель и нагреватель, нагреватель содержит два дистанционно расположенных кварцевых кольца, вокруг которых расположены по окружности, плотно прилегающие друг к другу цилиндрические трубки, через которые протянута проволока из жаропрочных материалов, выполняющая функцию нагревательной спирали.
Проведённые эксперименты по высокотемпературному мягкому отжигу тонкоплёночных структур типа SmS в предлагаемом устройстве подтверждают возможность его использования как в исследовательских целях, так и в промышленности.
Владимир
Каневский
Михайлович
руководитель ИК РАН
Доктор физико-математических наук
Отсутствует
-
-
-
РОССИЯ
Анастасия
Кривоносова
Юрьевна
делопроизводитель
РОССИЯ
29.31.21
Оптика твердых тел
29.19.13
Механические свойства твердых тел
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
29.19.31
Полупроводники
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
02.05.QF
MATERIALS SCIENCE, CHARACTERIZATION & TESTING
01.04.FI
CRYSTALLOGRAPHY
01.03.SY
OPTICS
Станислав
Супельняк
Игоревич
50 %
РОССИЯ
Александр
Безруков
Владимирович
50 %
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФЕДЕРАЛЬНЫЙ НАУЧНО-ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "КРИСТАЛЛОГРАФИЯ И ФОТОНИКА" РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
1037739548747
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения