Устройство для электронно-лучевой литографии
микроскопия литография нанотехнология
Изобретение относится к оборудованию для создания устройств микроэлектроники с помощью технологии электронно-лучевой литографии.
Устройство для электронно-лучевой литографии  (фиг1) содержит: электронно-оптическую систему 1 с блоком контроля интенсивности электронного луча  2;  координатный столик 3 с электроприводом  4 и блоком контроля текущего положения подвижной платформы 5; управляющий компьютер 6; генератор изображений 7; драйвер координатного столика 8; драйвер генератора изображений 9, при этом входы управления параметрами электронного луча электронно-оптической системы 1 подключены к соответствующим выходам генератора изображений 7, вход которого соединён с выходом блока контроля интенсивности электронного луча  2, а порт обмена данными  связан по оптоволоконной линии связи через драйвер  генератора изображений 9   с управляющим компьютером 6, который другим своим портом обмена данными через  драйвер координатного столика 8 соединён с электроприводом координатного столика 4 и блоком контроля текущего положения подвижной платформы 5.
Технический результат заключается в снижении суммарного времени  на изготовление  готового  изделия методом электронно-лучевой литографии при  повышении помехоустойчивости  работы  используемого оборудования,
Задача, на решение которой направлено заявляемое техническое решение, заключается в повышении эффективности технологии электронно-лучевой литографии.
Технический результат, отвечающий сформулированной выше задаче, заключается в снижении суммарного времени  на изготовление  готового  изделия методом электронно-лучевой литографии при  повышении помехоустойчивости  работы  используемого оборудования.
Сергей
Зайцев
Иванович
Научный руководитель проекта
Доктор физико-математических наук
Старший научный сотрудник
"_"
"_"
РОССИЯ
Булат
Гайфуллин
Накиевич
Генеральный директор
РОССИЯ
29.35.43
Электронная и ионная микроскопия
50.41.29
Программное обеспечение пользовательского интерфейса
50.47.29
Автоматизированные системы управления непрерывными технологическими процессами
02.11.RA
MICROSCOPY
02.02.AC
AUTOMATION & CONTROL SYSTEMS
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
01.02.EX
COMPUTER SCIENCE, THEORY & METHODS
01.02.EW
COMPUTER SCIENCE, SOFTWARE ENGINEERING
Булат
Гайфуллин
Накиевич
изобретение, разработка
РОССИЯ
ООО "ИНТЕРФЕЙС РУ"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ИНТЕРФЕЙС РУ"
1027700511288
БУЛАТ
ГАЙФУЛЛИН
НАКИЕВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью