Газовый сенсор
СЕЛЕКТИВНОСТЬ, СТАБИЛЬНОСТЬ, ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ, ЛАЗЕРНАЯ МИКРОФРЕЗЕРОВКА, ПЛАТИНОВАЯ ПАСТА
Полезная модель относится к области микроэлектронных и микромеханических устройств, а более конкретно к газовым сенсорам, и может найти применение в измерительной технике для определения типов различных газов и их количественного содержания в воздухе. Технический результат - повышение селективности и стабильности работы сенсора. Сущность полезной модели заключается в том, что диэлектрическая подложка, в которой с помощью сквозной перфорации сформирована рабочая область, на одной из сторон которой расположен тонкопленочный чувствительный элемент, связанный платиновыми пленочными дорожками с информационными контактными площадками, а на другой стороне - тонкопленочный нагревательный элемент, связанный с контактными площадками нагревателя, помещается в керамический корпус в горизонтальном положении. Благодаря горизонтальному расположению рабочей области сенсора обеспечивается равномерный нагрев всех участков газочувствительного элемента и, тем самым, высокая селективность сенсора.
Полезная модель может найти применение в измерительной технике для определения типов различных газов и их количественного содержания в воздухе.
Першенков В.С.
Профессор
Доктор технических наук
Каргин Н. И.
И.о. проректора
59.14.19
Проектирование и конструирование электрических, электромагнитных и электромеханических измерительных приборов
02.03.00
Mechanical engineering
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Майя
Этрекова
Оразгельдыевна
Создание описания, формулы, иллюстраций, реферата.
Константин
Облов
Юрьевич
Создание описания, формулы, иллюстраций, реферата.
Евгений
Онищенко
Михайлович
Создание описания, формулы, иллюстраций, реферата.
Николай
Самотаев
Николаевич
Создание описания, формулы, иллюстраций, реферата.
Дмитрий
Филипчук
Валерьевич
Создание описания, формулы, иллюстраций, реферата.
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НИЯУ МИФИ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"
1037739366477
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения