Подложкодержатель для роста поликристаллических алмазных пластин диаметром до 100 мм
Подложкодержатель Алмазный теплоотвод Поликристаллический алмаз
При осуществлении синтеза алмазных пластин диаметром более 2 дюймов методом химического осаждения из газовой фазы, возникает ряд проблем с
неравномерностью роста пластины, из-за градиента температуры по ее поверхности, связанного с особенностями метода (нагрев в центре значительно больше, чем по краям).
Для решения этой проблемы был рассчитан и изготовлен молибденовый подложкодержатель сложной формы, который выравнивает тепловые поля в подложке и обеспечивает равномерный рост алмазных пластин диаметром до 100 мм.
Изобретение относится к области оборудования для роста пластин поликристаллического алмаза большого диаметра.
Вадим
Седов
Станиславович
старший научный сотрудник
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
S-2320-2016
54387527700
0000-0001-9802-1106
РОССИЯ
Андрей
Синогейкин
Гелиевич
Генеральный директор
РОССИЯ
29.03.21
Тепловые измерения в физическом эксперименте
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Александр
Алтахов
Сергеевич
Синтез пластин поликристаллического алмаза. Определение оптимальных режимов роста для достижения необходимых параметров.
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "ВАНДЕР ТЕХНОЛОДЖИС"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ВАНДЕР ТЕХНОЛОДЖИС"
1127746711355
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью