Двухволновый лазерный измеритель перемещений.
Линейные перемещения Разрешающая способность Интерферометр Майкельсона
Изобретение относится к измерительной технике, а именно к лазерной интерферометрии, и может быть использовано для измерения с высокой точностью линейных перемещений объектов при неизвестном профиле температуры. Лазерный измеритель перемещений состоит из оптически связанных и расположенных последовательно блока формирования лазерного излучения, неполяризационного светоделителя, двух уголковых отражателей опорного и измерительного плечей, приемного устройства и электронно-вычислительного блока. В устройстве используется источник излучения с двумя длинами волн, на уголковом отражателе опорного плеча дополнительно установлен пьезоактюатор с псевдослучайным возбуждением, а также перед приемным устройством установлен спектральный делитель пучков, причем приемное устройство выполнено в виде двух узлов, каждый из которых состоит из поляризационного светоделителя и двух фотоприемников. Технический результат заключается в обеспечении возможности упрощении проведения измерений и в снижении требований к условиям их проведения.
Изобретение может быть востребовано для измерения с высокой точностью линейных перемещений объектов при неизвестном профиле температуры.
Андрей
Щипунов
Николаевич
Первый заместитель генерального директора - заместитель по научной работе
Доктор технических наук
Отсутствует
-
-
РОССИЯ
Михаил
Балаханов
Валентинович
Главный научный сотрудник
РОССИЯ
90.03.07
Системы единиц физических величин. Физические константы. Методы и средства воспроизведения и передачи размеров единиц физических величин
01.03.BU
ASTRONOMY & ASTROPHYSICS
Михаил
Мазур
Михайлович
Разработка оптической схемы и составной части устройства.
РОССИЯ
Юрий
Судденок
Александрович
Разработка электронной части прибора.
РОССИЯ
Евгений
Лавров
Александрович
Сборка, настройка и испытание устройства.
РОССИЯ
Владислав
Шорин
Николаевич
Разработка метода регистрации и управления составной части устройства, разработка электронной части прибора.
РОССИЯ
Росстандарт
Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии
1047706034232
Организация
Министерство промышленности и торговли Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГУП "ВНИИФТРИ"
Федеральное государственное унитарное предприятие "Всероссийский научно-исследовательский институт физико-технических и радиотехнических измерений"
1035008854341
Организация
Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии
Федеральные государственные унитарные предприятия