МИПРОМ 2.0
магнетронное распыление сегнетоэлектрики многослойные тонкопленочные структуры
Программа предназначена для расчета толщины и равномерности металлической пленки при магнетронном распылении. Применима в области технологий осаждения металлических пленок. Основные функции: расчет скорости осаждения металлической пленки при магнетронном распылении, расчет равномерности получаемой пленки, вывод через графический интерфейс распределения толщины и равномерности получаемой пленки, возможность варьировать физико-технологическими параметрами при магнетронном распылении
предназначена для расчета толщины и равномерности металлической пленки при магнетронном распылении
47.09.33
Сегнетоэлектрики и пьезоэлектрики
31.15.19
Химия твердого тела
47.09.41
Стекла, ситаллы, керамика
47.33.37
Приборы функциональной микроэлектроники
29.19.35
Сегнетоэлектрики и антисегнетоэлектрики
Игорь
Закасовский
Николаевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
РОССИЯ
Марк
Шауро
Александрович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
РОССИЯ
Алексей
Богдан
"Отсутствует"
"Отсутствует"
МОЛДОВА,РЕСПУБЛИКА
Евгений
Сапего
Николаевич
"Кандидат технических наук"
"Отсутствует"
"U-3749-2019"
"57189231468"
"980246"
"0000-0002-1124-4081"
РОССИЯ
Артем
Карамов
Рамикович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"-"
"-"
"-"
"-"
РОССИЯ
Андрей
Тумаркин
Вилевич
"Доктор технических наук"
"Доцент"
"D-7444-2014"
"7003917635"
"128654"
"0000-0001-9858-3846"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
СПбГЭТУ "ЛЭТИ"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “ЛЭТИ” им. В.И. Ульянова (Ленина)"
1027806875381
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения