Способ определения концентрации связей Ge-O в плёнках оксида германия из анализа спектров ИК-пропускания
ДИЭЛЕКТРИКИ ОКСИД ГЕРМАНИЯ ИК-СПЕКТРОСКОПИЯ СЕЧЕНИЕ ПОГЛОЩЕНИЯ ВАЛЕНТНЫЕ КОЛЕБАНИЯ СВЯЗЕЙ
Техническое решение относится к области исследования материалов с помощью инфракрасного (ИК) излучения и может быть использовано для исследования оксидов германия для микроэлектроники. Разработка произведена на базе оборудования ЦКП «ВТАН» НГУ. Направление использования: производство структур металл – оксид - полупроводник. Неразрушающий экспрессный способ основан на измерении коэффициента пропускания в ИК спектральном диапазоне в области валентных колебаний связей кислород-германий. Новизной способа является то, что не требуется измерять спектры ИК-отражения, поэтому не требуется специальная приставка для измерения спектров отражения.
Исследования плёнок оксида германия на кремнии для анализа структур оксид - полупроводник.
Владимир
Володин
Алексеевич
Ведущий научный сотрудник
Доктор физико-математических наук
Доцент
A-7730-2014
22981925400
31973
0000-0002-1431-8242
РОССИЯ
Дмитрий
Чуркин
Владимирович
проректор по научно-исследовательской деятельности
РОССИЯ
29.19.04
Структура твердых тел
29.19.07
Колебания кристаллических решеток
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Владимир
Володин
Алексеевич
РОССИЯ
Павел
Гейдт
Викторович
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НОВОСИБИРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ, НГУ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НОВОСИБИРСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1025403658565
МИХАИЛ
ФЕДОРУК
ПЕТРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения