Роторный затвор ионного пучка
диафрагма ионный пучок
Роторный затвор ионного пучка представляет собой систему из диска с секторальным отверстием, заданной величины угла, и пластины с диафрагмирующим отверстием, выполненных из вакуумных материалов (например, нержавеющей стали). Диск, соединенный с валом, приводится в движение электродвигателем с устройством контроля и поддержания заданного количества оборотов в единицу времени с целью периодического перекрытия отверстий системы на заданный промежуток времени.  Технический результат заключается в равномерности скорости дискретного набора повышенных флюенсов (1016 см-2 и более) ионного облучения за счет суммирования малых выдержек, стабильности работы устройства в условиях вакуума и высоких температур, отсутствии вибраций в работе.
Полезная модель относится к ионно-пучковой обработке материалов и может быть использована в качестве конструктивного элемента ионных имплантеров, а также других установок для ионного облучения.
Владимир
Овчинников В.В.
Владимирович
г.н.с.
Доктор физико-математических наук
Профессор
Q-7362-2016
57025641100
0000-0002-7263-5756
РОССИЯ
Станислав
Чайковский С.А.
Анатольевич
Директор
РОССИЯ
29.19.21
Влияние облучения на свойства твердых тел
01.03.UB
PHYSICS, APPLIED
Владимир
Овчинников
Владимирович
руководство по созданию полезной модели
РОССИЯ
Константин
Шаломов
Владиславович
создание полезной модели
РОССИЯ
РНФ
Российский научный фонд
1137799022261
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Фонды
ИЭФ УрО РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт электрофизики Уральского отделения Российской академии наук
1026604936929
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Учреждения