Калибровочная двухпериодная сверхрешетка InAlAs/InGaAs на подложке InP
ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ, ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ, СВЕРХРЕШЕТКА INALAS/INGAAS, ДВУХПЕРИОДНАЯ СВЕРХРЕШЕТКА, МЕТРОЛОГИЯ ГЕТЕРОСТРУКТУР, ВЫСОКОРАЗРЕШАЮЩАЯ РЕНТГЕНОВСКАЯ ДИФРАКТОМЕТРИЯ, КАЛИБРОВКА ТОЛЩИНЫ И СОСТАВА СВЕРХРЕШЕТКИ
Полезная модель относится к полупроводниковым наногетероструктурам AIIIBV, используемым в качестве активной области для изготовления оптических и радиофотонных устройств (квантово-каскадные лазеры, модуляторы и т.д.), а также СВЧ транзисторов суб-терагерцового диапазона частот.Технический результат полезной модели заключается в возможности определить составы и толщины тройных твердых растворов InxAl1-xAs и InyGa1-yAs из сверхрешеточной гетероструктуры, полученной в едином процессе эпитаксиального роста, без привлечения результатов косвенного расчетного моделирования. Это достигается благодаря решению двух независимых  уравнений толщины, общие периоды для которых могут быть получены путем исследования гетероструктуры методом высокоразрешающей рентгеновской дифрактометрии. Применение модели приводит к возможности путем прямого расчета с высокой точностью независимо определить толщины и состав двух различных тройных соединений, полученных в рамках единого технологического процесса.
По сравнению с аналогами гетероструктура на основе полезной модели демонстрирует возможность путем прямого расчета независимо определить толщины и состав двух различных тройных соединений InxAl1-xAs и InyGa1-yAs, полученных в рамках единого технологического процесса.
Каргин, Н.И.
Директор ИНТЭЛ
Доктор технических наук
Каргин, Н.И.
И.о. проректора
29.35.47
Твердотельные приборы СВЧ-диапазона
29.35.19
Распространение электромагнитных волн
29.33.39
Оптические явления в волноводах и тонких пленках. Интегральные оптические схемы
02.10.00
Nano-technology
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Николай
Каргин
Иванович
Руководитель работ
Иван
Васильевский
Сергеевич
Исполнитель работ
Александр
Виниченко
Николаевич
Исполнитель работ
Петр
Доброхотов
Леонидович
Исполнитель работ
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НИЯУ МИФИ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"
1037739366477
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения