Программа для анализа в реальном времени данных спектральной рефлектометрии с использованием моделей машинного обучения для решения обратной задачи (SpRA Tool)
Рефлектометрия спектральные измерения коэффициент отражения
Программа позволяет обрабатывать данные измерений, полученные методом спектральной рефлектометрии образцов тонких пленок металлов и диэлектриков, вычислять значения
оптических характеристик (коэффициент преломления n и коэффициент поглощения k, толщина плёнки d и оптическая температура T) в реальном времени. Применение машинного обучения, написанного с использованием библиотеки TensorFlow 2, позволяет вычислять характеристики в 1000 раз быстрее, по сравнению с ньютоновскими методами и градиентным спуском. Программа написана на языке Python, имеет графический пользовательский интерфейс ввода данных, вывод результатов анализа может быть загружен в формате .csv. Тип ЭВМ: 64bit; ОС: Windows 10 и выше.
Применение для мониторинга плазменных процессов травления и осаждения диэлектриков, в том числе нанопористых диэлектриков систем металлизации ИС
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
Рафаэль
Гайдукасов
Алексеевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"HKW-8424-2023"
"57797830300"
"0000-0001-9915-9801"
РОССИЯ
Андрей
Мяконьких
Валерьевич
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"B-1357-2016"
"57203712756"
"181327"
"0000-0002-9547-1619"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФТИАН им. К.А.Валиева РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А.Валиева Российской академии наук
1037739352155
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения