Устройство для обработки изделий быстрыми атомами
Тлеющий разряд плазма, вакуум ускоренные ионы быстрые атомы распыление поверхности
Изобретение относится к области обработки изделий ускоренными ионами или быстрыми атомами и предназначено для получения изделий с повышенными механическими и электрофизическими характеристиками поверхности за счет имплантации в нее легирующих элементов. Технический результат – расширение эксплуатационных возможностей за счет увеличения скорости обработки путем уменьшения поперечного сечения пучка быстрых атомов и повышения плотности их потока на обрабатываемые изделия, а также увеличения долговечности устройства путем замены плоской ускоряющей сетки, сеткой в виде набора плоскопараллельных металлических пластин. Устройство для обработки изделий быстрыми атомами содержит вакуумную камеру, установленный внутри вакуумной камеры анод, включенный между анодом и вакуумной камерой источник питания разряда, установленный на  вакуумной камере полый корпус, установленный в торце полого корпуса съемный фланец-держатель обрабатываемых изделий, установленный на полом корпусе высоковольтный ввод напряжения, генератор высоковольтных импульсов напряжения, соединенный положительным полюсом с вакуумной камерой, а отрицательным полюсом с высоковольтным вводом напряжения,  снабжено ускоряющей сеткой в виде набора плоскопараллельных металлических пластин, установленных внутри полого корпуса на границе с вакуумной камерой и соединенных электрически с высоковольтным вводом напряжения, причем обращенные в сторону вакуумной камеры участки плоскопараллельных металлических пластин имеют форму сегмента круга. На фиг. 1 и фиг. 2 показаны также плазма, слой объемного заряда между плазмой и стенками вакуумной камеры, слой между плазмой и плоскопараллельными металлическими пластинами, ионы, быстрые атомы и торцы плоскопараллельных металлических пластин. 2 ил.
Область проектирования и изготовления инновационных конструкций вакуумно-плазменного оборудования, а также совершенствование установок, используемых в промышленности и лабораториях.
Александр
Метель
Сергеевич
Профессор
Доктор физико-математических наук
Профессор
L-8736-2013
6506816930
РОССИЯ
Владимир
Серебренный
Валерьевич
И.о.ректора
РОССИЯ
47.13.33
Электронно-ионно-плазменные технологии электронного производства
02.03.IU
ENGINEERING, MECHANICAL
Александр
Метель
Сергеевич
разработка технического решения, связанного с созданием и размещением набора плоскопараллельных металлических пластин соединенных электрически друг с другом и с высоковольтным вводом напряжения
РОССИЯ
Сергей
Григорьев
Николаевич
разработка общей конструкции устройства для обработки изделий быстрыми атомами, обеспечивающего повышение однородности обработки  при низком уровне загрязнения изделий, пониженном давлении газа и повышенном сроке службы устройства
РОССИЯ
Марина
Волосова
Александровна
экспериментальная реализация технического решения и исследования модели заявленного устройства
РОССИЯ
Юрий
Мельник
Андреевич
разработка конструкции  набора плоскопараллельных металлических пластин
РОССИЯ
Энвер
Мустафаев
Серверович
выполнение расчетов для  наилучшего расположения  набора плоскопараллельных металлических пластин в вакуумной камере с целью обеспечения максимальной эффективности устройства
РОССИЯ
РНФ
Российский научный фонд
1137799022261
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Фонды
ФГБОУ ВО «МГТУ «СТАНКИН»
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
1037700246451
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения