СПОСОБ КОНТРОЛЯ И УПРАВЛЕНИЯ ТЕМПЕРАТУРНЫМ РЕЖИМОМ РОСТОВОЙ ПОВЕРХНОСТИ ПОДЛОЖКИ
микроволновый реактор, запредельное кольцо, стабилизация температуры, ПИД регулятор, оптический пирометр
Изобретение относится к области лазерной техники, машиностроения и электронике, в частности, к оптическим технологиям, а именно: к объёмно-резонаторным способам передачи СВЧ энергии в область подложки лежащей на охлаждаемой проводящей платформе СВЧ реакторам для плазмохимического синтеза материалов из газовой фазы. Новый технический результат ― автоматизация управления температурой подложки, в том числе переменного сечения, при обеспечении управления и стабилизации температуры нагрева подложки и стабилизации скорости роста алмазной пленки для получения адгезионно прочной структуры однослойного или мультислойного покрытия как при одиночном, так и при групповом осаждении из газовой фазы в СВЧ-плазме ― достигается тем, что в способе контроля и управления температурным режимом ростовой поверхности подложки, включающем установку основной проводящей платформы в герметичной осесимметричной вакуумной камере с СВЧ плазменным реактором с высокой однородностью температурного поля.
Для упрочнения режущих кромок твердосплавных резцов используемых при обработке сверхупругих композитных материалов в ракетостроении и авиации.
Конов В.И.
Рук. ЦЕНИ ИОФ РАН
Доктор физико-математических наук
Гарнов С. В.
Директор ИОФ РАН
29.27.49
Диагностика плазмы
01.04.EI
CHEMISTRY, PHYSICAL
Евгений
Ашкинази
Евсеевич
Предложил автоматизацию управления температурой подложки , лежащей внутри запредельного кольца, в том числе переменного сечения, за счет системы ПИД регулирования
Станислав
Рыжков
Геннадиевич
предложил т систему ПИД регулирования по обратной связи с оптическим инфракрасным пирометром
Виктор
Ральченко
Григорьевич
предложил оптимизацию данного управления за счет определения диапазона регулирования
Андрей
Большаков
Петрович
предложил оптимизацию ПИД управления за счет определения времени регулирования
Виталий
Конов
Иванович
предложил управление и стабилизацию температуры нагрева подложки и скорости роста алмазной пленки для получение адгезионно прочной структуры при групповом осаждении из газовой фазы
Сергей
Филин
Александрович
предложил задания температурного режима роста алмазной пленки для получения мультислойного покрытия при групповом осаждении
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИОФ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "ИНСТИТУТ ОБЩЕЙ ФИЗИКИ ИМ. А.М. ПРОХОРОВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
1027700378595
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения