Планарный магнетрон с ротационным центральным анодом
Планарный магнетрон, плазменный источник ионов, ротационный анод, ионное распыление, наноструктурированное покрытие, синтез, состав, структура, свойства
Изобретение относится к технике нанесения композитных покрытий путем проведения неравновесных плазмохимических процессов, объединяющих ионное распыление в магнетронном разряде и распыление
ионным пучком. Может быть использовано для нанесения сверхтвердых покрытий полифункционального назначения, в частности, ударо-, износо-, тепло-, трещино- и коррозионностойких. Технический результат 
- повышение эффективности процесса благодаря оптимизации совмещения функций центрального анода в качестве распыляемой ионным пучком мишени и расширение функциональных возможностей планарного магнетрона при синтезе наноструктурированных композитных покрытий полифункционального назначения. Планарный магнетрон содержит центральный анод, распыляемый ионным пучком, кольцевой анод, катод, кольцевые магниты, высоковольтный выпрямитель, систему напуска плазмообразующего газа. В магнетроне соосно оси его симметрии выполнено сквозное отверстие, соосно в отверстии установлен стержень с возможностью осевого вращения со скоростью 6,28 рад/с и наклонно удерживает центральный анод под углом 45-50о относительно направления падения распыляющего ионного пучка на центральный анод, причем ось вращения центрального анода совпадает с осью симметрии ионного пучка, стержень и центральный анод электрически соединенны с кольцевым анодом.
Нанесения сверхтвердых покрытий полифункционального назначения, в частности, износо-, ударо-, тепло-, трещино- и коррозионностойких.
Александр
Семенов
Петрович
главный научный сотрудник
Доктор технических наук
Профессор
J-6724-2018
57091131900
1700
0000-0002-1817-3044
РОССИЯ
Андрей
Номоев
Валерьевич
директор
РОССИЯ
29.27.51
Применение плазмы
29.19.21
Влияние облучения на свойства твердых тел
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Дмитрий
Цыренов
Бадма-Доржиевич
РОССИЯ
Ирина
Семенова
Александровна
РОССИЯ
Александр
Семенов
Петрович
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИФМ СО РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физического материаловедения Сибирского отделения Российской академии наук
1110327014203
АНДРЕЙ
НОМОЕВ
ВАЛЕРЬЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения