Устройство для обработки изделий быстрыми атомами
ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД, ПЛАЗМА, ВАКУУМ, ГЕНЕРАТОР ИМПУЛЬСОВ ВЫСОКОГО НАПРЯЖЕНИЯ, НЕЙТРАЛИЗАЦИЯ ЗАРЯДА ИОНОВ, ИМПЛАНТАЦИЯ.
Изобретение относится к машиностроению, в частности, к устройствам для обработки поверхности изделий быстрыми атомами с целью получения изделий с повышенными механическими и электрофизическими характеристиками поверхности за счет имплантации в нее легирующих элементов и формирования в ней субмикрокристаллической структуры. Устройство для обработки изделий быстрыми атомами содержащее рабочую камеру, размещенный внутри нее анод, источник питания разряда, соединенный положительным полюсом с анодом, а отрицательным полюсом – с рабочей камерой, закрепленный на рабочей камере высоковольтный ввод напряжения и генератор импульсов высокого напряжения, соединенный положительным полюсом с рабочей камерой, а отрицательным полюсом – с высоковольтным вводом напряжения, снабжено установленным в центре рабочей камеры набором плоскопараллельных металлических пластин, соединенных электрически друг с другом и с высоковольтным вводом напряжения, а также охватывающим плоскопараллельные пластины металличе
Техническое решение относится к машиностроению, в частности, к устройствам для упрочнения поверхности изделий пучками быстрых атомов.
Метель А.С.
Главный научный сотрудник
Пинчук А. Ю.
Первый проректор
55.22.01
Общие вопросы
02.00.00
Engineering and Technology
Марина
Волосова
Александровна
Экспериментальная реализация технического решения
Хтет
Нэй
Аунг
разработка конструкции источника питания разряда
Александр
Метель
Сергеевич
Разработка общей конструкции устройства для обработки изделий быстрыми атомами
Энвер
Мустафаев
Серверович
Разработка и реализация схемы соединения плоскопараллельных металлических пластин
Юрий
Мельник
Андреевич
Исследование экспериментальной модели заявленного устройства
Сергей
Григорьев
Николаевич
Разработка конструкции рабочей вакуумной камеры
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГБОУ ВО «МГТУ «СТАНКИН»
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
1037700246451
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения