Магнетронное распылительное устройство
ОСАЖДЕНИЕ ПОКРЫТИЙ, МАГНЕТРОН, ТЛЕЮЩИЙ РАЗРЯД, ПЛАЗМА, ВАКУУМ, РАСХОД МАТЕРИАЛА
Изобретение относится к ионно-плазменной технологии и может быть использовано для осаждения покрытий на изделия в вакууме. Магнетронное распылительное устройство, содержащее плоскую круглую мишень, являющуюся катодом тлеющего разряда, магнитную систему, один из полюсов которой прилегает к центру внешней поверхности мишени, вакуумную камеру, являющуюся анодом тлеющего разряда, и источник питания тлеющего разряда, соединенный отрицательным полюсом с мишенью, а положительным полюсом – с вакуумной камерой, снабжено охватывающим мишень и соединенным с ней электрически цилиндрическим электродом, а второй полюс магнитной системы прилегает к внешней поверхности цилиндрического электрода.Технический результат – расширение эксплуатационных возможностей за счет повышения эффективности использования материала мишени, а также снижение затрат на изготовление распыляемых мишеней.1 ил.
Возможным направлением использования данного изобретения является область проектирования и изготовления инновационных конструкций вакуумно-плазменного оборудования, а также совершенствование установок, используемых в промышленности и лабораториях.
Григорьев С.Н.
Заведующий кафедрой
Пинчук А. Ю.
Первый проректор
55.22.29
Комбинированные и другие покрытия
59.13.17
Технология и оборудование для обработки комбинированных и вспомогательных приборостроительных материалов
02.00.00
Engineering and Technology
Александр
Метель
Сергеевич
Разработка технического решения, связанного с созданием и размещением  магнитной системы один из полюсов которой прилегает к центру внешней поверхности мишени, а другой к внешней поверхности цилиндрического электрода
Марина
Волосова
Александровна
экспериментальная реализация технического решения и исследования модели заявленного устройства
Энвер
Мустафаев
Серверович
Выполнение расчетов для  наилучшего расположения  мишени в вакуумной камере с целью обеспечения максимального коэффициента использования материала
Хтет
Нэй
Аунг
Техническая реализация магнитной системы распылительного устройства
Юрий
Мельник
Андреевич
Разработка конструкции  плоской круглой мишени, являющейся катодом тлеющего разряда
Сергей
Григорьев
Николаевич
Разработка общей конструкции магнетронного распылительного устройства, обеспечивающего повышение эффективности использования материала мишени
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГБОУ ВО «МГТУ «СТАНКИН»
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
1037700246451
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения