Способ эллипсометрического контроля топографического рельефа, механических напряжений и дефектности пленок на подложках
межоперационный контроль параметров дефектность пленок механические напряжения
Способ может использоваться при межоперационном контроле механических напряжений и дефектов в функциональных слоях. Способ включает эллипсометрические измерения показателя преломления на локальных участках пленки, однократное определение на каждом участке пленки толщины и показателей преломления для обыкновенного и необыкновенного лучей, по которым рассчитывают значения величины двойного лучепреломления. Карту механических напряжений и вызванных ими дефектов  определяют по закону фотоупругости. Технический результат – уменьшение времени и сложности контроля дефектности и механических напряжений и расширение номенклатуры измеряемых параметров.
Для преодоления технологических барьеров в соответствии с дорожной картой сквозной цифровой технологии «компоненты робототехники и сенсорика»
Алексей
Переверзев
Леонидович
Руководитель ЛИЦ
Доктор технических наук
Доцент
C-9418-2017
57150587000
211223
0000-0002-5834-5138
РОССИЯ
Сергей
Гаврилов
Александрович
Проректор
РОССИЯ
59.35.71
Узлы, блоки, элементы, детали приборов для измерения состава и физико-химических свойств веществ и материалов
59.14.21
Проектирование и конструирование электронных измерительных приборов
55.30.33
Технологическая оснастка, периферийные устройства и вспомогательное оборудование роботов и манипуляторов
47.13.10
Технология и оборудование для производства изделий электронной техники СВЧ-диапазона
01.02.ET
COMPUTER SCIENCE, INFORMATION SYSTEMS
Анна
Дедкова
Александровна
проведение патентного поиска, оформление текста заявки
РОССИЯ
Валерий
Киреев
Юрьевич
корректировка текста заявки
РОССИЯ
Владимир
Беспалов
Александрович
постановка задачи
РОССИЯ
Алексей
Переверзев
Леонидович
разработка структуры заявки
РОССИЯ
ФОНД НТИ
ФОНД ПОДДЕРЖКИ ПРОЕКТОВ НАЦИОНАЛЬНОЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ ИНИЦИАТИВЫ
1167700062529
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Фонды
МИЭТ;  Национальный исследовательский университет "МИЭТ"; НИУ МИЭТ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
1027739615584
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения