СПОСОБ ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННОГО ОСАЖДЕНИЯ ТОНКОЙ ПЛЕНКИ ИЗ ОКСИНИТРИДА ФОСФОРА ЛИТИЯ
ТОНКИЕ ПЛЁНКИ ТЕРМОЭМИССИОННЫЙ КАТОД АЗОТНАЯ ПЛАЗМА ОКСИНИТРИД ФОСФОРА ЛИТИЯ ЭЛЕКТРОПРОВОДЯЩАЯ ПОДЛОЖКА
Изобретение относится к способу получения тонкой пленки из оксинитрида фосфора лития (LiPON) с высокой скоростью на электропроводящих подложках. Способ включает нагрев, испарение ортофосфата лития (Li3PO4), осаждение паров на поверхность подложек в азотной плазме разряда. Нагрев тигля осуществляют во вспомогательном разряде с прямонакальным термоэмиссионным катодом, плазма которого отделена экраном от паров Li3PO4. Скорость испарения Li3PO4 регулируют изменением мощности разряда. Концентрацию азотной плазмы регулируют независимо изменением тока основного разряда между самонакаливаемым полым катодом, через который напускают азот, и кольцевым анодом, установленными соосно с тиглем, причем анод располагают в области между тиглем и держателем образцов. Формирование LiPON на поверхности подложек достигают тем, что при заданной скорости испарения Li3PO4 устанавливают величину тока основного разряда и давления азота, при которых обеспечивается требуемая плотность азотной плазмы у поверхности растущей пленки.
Может быть использовано при разработке элементов микроэлектроники и источников энергии на основе твердотельных литий-ионных проводников. Технической задачей изобретения является создание высокоскоростного (0,5 мкм/ч и более) способа нанесения тонких пленок твердого электролита из оксинитрида фосфора лития (LiPON), имеющих высокую (~10-6 (Ом*см)-1) ионную проводимость.
Николай
Ратахин
Александрович
главный научный сотрудник
Доктор физико-математических наук
Академик
М-5241-2015
6602191236
-
0000-0002-3820-8777
РОССИЯ
Илья
Романченко
Викторович
директор
РОССИЯ
29.19.25
Взаимодействие проникающего излучения с твердыми телами
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
29.19.19
Методы исследования кристаллической структуры и динамики решетки
29.27.51
Применение плазмы
01.03.UF
PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Александр
Каменецких
Сергеевич
РОССИЯ
Николай
Гаврилов
Васильевич
РОССИЯ
Петр
Третников
Васильевич
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИСЭ СО РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук
1027000871666
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения