Программа расчета перемещения подвешенного подвижного электрода электростатического привода высокочастотных микроэлектромеханических переключателей с емкостным принципом коммутации в статическом и динамическом режиме
Искусственный интеллект Программное обеспечение Высокочастотный микроэлектромеханический переключатель с емкостным принципом коммутации Алгоритмы диагностики и прогнозирования Повышение точности прогноза
Разработанная программа позволяет выполнять расчет перемещения подвешенного подвижного электрода электростатического привода в статическом и динамическом режиме. В статическом режиме: при отсутствии управляющего напряжения на нижнем неподвижном электроде электростатического привода, при этом перемещение подвешенного подвижного электрода возможно в результате действия электрических зарядом на поверхности нижнего неподвижного электрода электростатического привода, возникающих на определенных этапах технологического процесса изготовления, а также накапливаемые в процессе работы переключателя. В динамическом режиме: при подаче некоторой величины управляющего напряжения, не являющегося пороговым, на нижний неподвижный электрод электростатического привода. При этом расчет перемещения подвешенного подвижного электрода электростатического привода основывается на решении дифференциального уравнения Д’Аламбера, описывающего отклик динамической системы в зависимости от изменения кинетической и потенциальной энергии подвижного элемента.
Областью применения разработанной программы являются микромеханические инерциальные, высокочастотные, оптико-электронные устройства с целью расчета перемещения подвижного электрода электростатического привода в статическом и динамическом режиме, а также определения величины управляющего напряжения притяжения.
Андрей
Ковалев
Владимирович
Директор Инжинирингового центра приборостроения, радио- и микроэлектроники ЮФУ
Доктор технических наук
Доцент
А-8749-2017
57213917330
РОССИЯ
Анатолий
Метелица
Викторович
Проректор по научной и исследовательской деятельности
РОССИЯ
47.14.13
Проектирование и конструирование изделий электронной техники СВЧ-диапазона
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
27.41.17
Численные методы анализа
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Игорь
Лысенко
Евгеньевич
РОССИЯ
Марк
Денисенко
Анатольевич
РОССИЯ
Алексей
Ткаченко
Вячеславович
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
Южный федеральный университет,  ФГАОУ ВО "ЮФУ"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
1026103165241
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью