Катодный модуль магнетрона
плазменная техника производство магнетронных распылительных систем вакуумное нанесение тонких пленок металлов
Сущность полезной модели заключается и технический результат достигается тем, что в катодный модуль магнетрона, содержащий катод, выполненный в форме стакана, при этом катод имеет полость, введена мишень кольцеобразной формы с соединительным модулем мишени, распложенным со стороны внутренней поверхности мишени, при этом мишень посредством соединительного модуля мишени закреплена на катоде через соединительный модуль катода, расположенный со стороны наружной цилиндрической поверхности катода.
Полезная модель относится к области плазменной техники и может быть использована в производстве магнетронных распылительных систем для вакуумного нанесения тонких пленок металлов.
Вадим
Одиноков
Васильевич
Заместитель генерального директора по науке
Доктор технических наук
Профессор
-
-
РОССИЯ
Михаил
Бирюков
Георгиевич
Генеральный директор
РОССИЯ
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Вадим
Одиноков
Васильевич
РОССИЯ
Михаил
Бирюков
Георгиевич
РОССИЯ
Виталий
Панин
Вячеславович
РОССИЯ
Павел
Афонин
Евгеньевич
РОССИЯ
Руслан
Каракулов
Александрович
РОССИЯ
МИНПРОМТОРГ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1047796323123
ДЕНИС
МАНТУРОВ
ВАЛЕНТИНОВИЧ
Организация
Министерство промышленности и торговли Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
АО НИИТМ
Акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения"
1027700037749
Организация
Приватизированные предприятия
Непубличные акционерные общества