Способ создания сенсора газов и паров на основе чувствительных слоев из металлсодержащих кремний-углеродных пленок
Сенсор Кремний-углеродная пленка Электрохимическое осаждение
Способ создания сенсора газов и паров на основе чувствительных слоев из металлсодержащих кремний-углеродных пленок относится к области технологий формирования химически, механически, коррозионно и термостойких тонкопленочных металлсодержащих пленок на диэлектрических подложках, а также их использовании в области сенсорной техники, а именно: при создании конструктивных элементов газовых сенсоров и газоаналитических мультисенсорных линеек хеморезистивного и импедансометрического типов.
Технический результат достигается с помощью того, что чувствительный слой сенсоров на основе металлсодержащих кремний-углеродных пленок формируется на диэлектрической подложке с контактной металлизацией состава хром/медь/хром (толщина слоя меди 2 мкм, толщина слоя хрома 15 нм) в виде встречно-штыревой структуры методом электрохимического осаждения из раствора гексаметилдисилазана в метиловом спирте в соотношении 1:9 в три этапа с добавлением на втором этапе в органический электролит растворимой в нем соли металла, после чего производится отжиг подложки со сформированным на ней чувствительным слоем в течение 120 минут при температуре 200°С-500°С.
Предложенный способ позволяет получать высокочувствительные сенсоры газов и паров хеморезистивного и импедансометрического типов на основе чувствительных слоев из металлсодержащих кремний-углеродных пленок, формируемых методом электрохимического осаждения, работающие при температурах не выше 100°С. Данный метод технически прост, для его реализации не требуется сложное технологическое оборудование, что позволяет сократить время на изготовление сенсоров.
детектирование токсичных газов и паров в воздухе населенных мест; обнаружение утечек паров органических веществ; экологический и производственный мониторинг
Анастасия
Бут
Александровна
Студент
Отсутствует
Отсутствует
отсутствует
отсутствует
РОССИЯ
Анастасия
Бут
Александровна
Студент
РОССИЯ
47.09.29
Полупроводниковые материалы
47.33.37
Приборы функциональной микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
02.04.II
ENGINEERING, CHEMICAL
02.05.QH
MATERIALS SCIENCE, COMPOSITES
Татьяна
Михайлова
Сергеевна
РОССИЯ
Анастасия
Бут
Александровна
РОССИЯ
Татьяна
Мясоедова
Николаевна
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Анастасия
Бут
Александровна
Физическое лицо
РОССИЯ