Патент РФ 2777653 "Способ ионно-плазменной обработки крупномасштабных подложек"
индуктивно-связанная плазма ионно-плазменная обработка
Изобретение относится к плазменной технике, а именно к источникам индуктивно-связанной плазмы. Технический результат – повышение коэффициента полезного действия (КПД) и снижение тепловых потерь газоразрядного устройства. В способе ионно-плазменной обработки крупномасштабных подложек молекулярный газ либо смесь молекулярных газов с инертным газом вводят в рабочую камеру напрямую при одновременном вводе инертного газа в рабочую камеру через П-образные газоразрядные трубки, при этом дополнительную активацию рабочего плазмообразующего газа в центральной части рабочей камеры осуществляют путем использования ферромагнитно-усиленных индукционных разрядов.
Ионно-плазменная обработка полупроводниковых, диэлектрических и металлических подложек (ионно-плазменное травление, оксидирование, осаждение слоев и т.д.).
Сергей
Новопашин
Андреевич
Заведующий лабораторией
Доктор физико-математических наук
Старший научный сотрудник
A-4741-2014
6603849573
8416
0000-0003-0220-7366
РОССИЯ
Дмитрий
Маркович
Маркович
Директор
РОССИЯ
29.27.51
Применение плазмы
01.03.UF
PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
Михаил
Исупов
Витальевич
РОССИЯ
Вадим
Пинаев
Александрович
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИТ СО РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ТЕПЛОФИЗИКИ ИМ. С.С. КУТАТЕЛАДЗЕ СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
1025403648786
ДМИТРИЙ
МАРКОВИЧ
МАРКОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения