Многофункциональный подложкодержатель для пластин, используемый при изготовлении монолитных интегральных схем
МЭМС Микросборка Бондинг Механические напряжения
Полезная модель относится к области микроэлектроники. Устройство может быть использовано для проведения большинства технологических операций (например, фотолитография, реактивно-ионное травление, плазмохимическое травление, осаждение плёнок методами PECVD). Использование данного устройства позволяет выпускать кремниевые чипы без перестройки технологического оборудования. Таким образом, обеспечивается возможность работы с пластинами, имеющими разный диаметр. Также обеспечивается возможность работы с отдельными кристаллами (фрагментами пластин).
В результате использования предлагаемого устройства увеличивается надежность при сохранении механической целостности пластин или их фрагментов в процессах их обработки, расширяется перечень доступных для проведения технологических операций, обеспечивается возможность безопасной транспортировки образцов, обеспечивается возможность групповой обработки пластин или их фрагментов.
Данный результат достигается за счёт использования в конструкции многофункционального подложкодержателя следующих элементов: фаска по внешнему диаметру, множество пазов, формы которых соответствуют формам удерживаемых пластин или фрагментов пластин; в областях пазов выполнено множество отверстий.
Полезная модель относится к области соединения (сращивания, бондинга) полупроводниковых пластин.
Константин
Зольников
Владимирович
Генеральный директор
Кандидат технических наук
Отсутствует
-
-
623875
РОССИЯ
Константин
Зольников
Владимирович
Генеральный директор
РОССИЯ
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
47.13.17
Технология производства печатных плат. Печатный монтаж
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Евгений
Гусев
Эдуардович
РОССИЯ
Павел
Иванин
Сергеевич
РОССИЯ
Михаил
Фомичёв
Юрьевич
РОССИЯ
Константин
Зольников
Владимирович
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНЫЕ МИКРОСИСТЕМЫ"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНЫЕ МИКРОСИСТЕМЫ"
1213600020479
КОНСТАНТИН
ЗОЛЬНИКОВ
ВЛАДИМИРОВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью