Тонкопленочный титановый терморезистор на гибкой полиимидной подложке и способ его изготовления
ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ ТЕРМОРЕЗИСТОР НАНОСЕНСОР ТИТАНОВЫЙ ТЕРМОРЕЗИСТОР ГИБКАЯ ПОЛИИМИДНАЯ ПОДЛОЖКА
Созданный терморезистор может быть использован в качестве чувствительного элемента в системах контроля уровня и измерения расхода газообразных и жидкостных неагрессивных сред в диапазоне температур от минус 250 до 120ᵒС, а также для измерения температуры этих сред.
В отличие от аналогичных сенсоров, изготовленных на кремниевой мембране, предназначенных для измерения расхода газов, имеющих толщину менее 0,002 мм, сенсоры на гибкой полиимидной подложке могут использоваться и для жидких сред. На их поверхности не образуются за счет смачивания капли жидкости, увеличивающие время задержки до нескольких секунд при их извлечении из жидкости. Кроме этого, сенсоры на кремниевой мембране не выдерживают вибрационных и ударных нагрузок в жидкой среде и разрушаются.
Кроме основного назначения использования терморезисторов в качестве первичных преобразователей для контроля уровня и измерения массового расхода компонентов ракетных топлив, они могут быть использованы: 
- в системах хранения и транспортирования углеводородных сжиженных газов;
- в энергетических системах охлаждения жидким азотом, использующих сверхпроводящие высоковольтные кабели;
- в медицинском реанимационном оборудовании и при изготовлении лекарственных средств.
Дополнительно необходимо отметить, микроминиатюрное исполнение терморезисторов позволяет их использовать в труднодоступных местах внутри баков не посредственно у двигателей для определения остатков топлива и внутри трубопроводов диаметром меньше 5 мм.
Александр
Королев
Николаевич
Генеральный конструктор «НИИ КС имени А.А.Максимова» - филиала АО «ГКНПЦ им. М.В.Хруничева»
Кандидат технических наук
Старший научный сотрудник
-
-
75995957
0000000303159124
РОССИЯ
Александр
Королев
Николаевич
Генеральный конструктор «НИИ КС имени А.А.Максимова» - филиала АО «ГКНПЦ им. М.В.Хруничева»
РОССИЯ
50.09.37
Датчики и преобразователи
02.02.AC
AUTOMATION & CONTROL SYSTEMS
02.02.RB
ROBOTICS
Лариса
Кадина
Евгеньевна
Усовершенствовала конструктивные размеры, обосновала размеры пленочных элементов из титана. (15%).
РОССИЯ
Александр
Савчук
Дмитриевич
Разработал и обосновал путь патентования РИД с выбором прототипа и аналогов, а так же обосновал конструктивные размеры (15%)
РОССИЯ
Татьяна
Лашкова
Сергеевна
Усовершенствовала технологию (способ) изготовления устройства, обосновала технологические режимы последовательного напыления слоев, селективной фотолитографии и травления (15%)
РОССИЯ
Игорь
Гончар
Иванович
Разработал устройство и способ его изготовления в целом, а также основные параметры, отличающие РИД от прототипа и аналогов (55%).
РОССИЯ
ГОСКОРПОРАЦИЯ "РОСКОСМОС"
Государственная корпорация по космической деятельности "Роскосмос"
1157700012502
Организация
Государственная корпорация по космической деятельности "Роскосмос"
Государственные корпорации
ОАО "Авангард"
Открытое акционерное общество "Авангард"
1027802483070
Организация
Министерство (ведомство) не определено
Публичные акционерные общества
НИИ КС имени А.А. Максимова - филиал АО "ГКНПЦ им. М.В. Хруничева"
Научно-исследовательский институт космических систем имени А.А. Максимова - филиал Акционерного общества "Государственный космический научно-производственный центр имени М.В. Хруничева"
1027739198090
Организация
Хозяйственные общества, образованные из государственных предприятий, добровольных объединений государственных предприятий
Филиалы юридических лиц