Устройство для формирования пучка кластерных или атомарных ионов газа
Ионизация кластерных ионов катод анод ускорение кластерных ионов устройство для ускорения кластерных ионов
Устройство позволяет получать кластерные и атомарные ионы с возможностью использования химически активных газов (диборан, декаборан, аммиак, хлориды) с улучшенными эксплуатационными характеристиками, включая рабочую температуру катода (650 – 900оС), при которой происходит эмиссия электронов, срок службы катода до 800 часов при работе с химически активными газами, эффективность ионизации ионов, характеризующаяся плотностью ионного тока для пучка атомарных ионов 1 пА/см2-6 мкА/см2 и до 10 мкА/см2 кластерных ионов, со средним размером 800-1200 атомов, получение стабильного направленного пучка атомарных или кластерных ионов. При этом конструкция устройства является надежной, простой в изготовлении и эксплуатации.
Улучшение эксплуатационных характеристик устройства и повышение эффективности ионизации атомарных и кластерных ионов при возможности использования для ионизации химически активных газов достигается за счет использования комплекса признаков, включающего конструктивное решение корпуса устройства с колпаком со скошенными краями вокруг выходного отверстия для пучка атомарных или кластерных ионов, выполняющим функцию электрода; соосное расположение корпуса, анода, катода; наличие магнита, установленного между корпусом и анодом, позволяющим увеличить длину свободного пробега электронов в области ионизации между анодами; наличие отверстий в корпусе устройства, позволяющим увеличить сечение вакуумной откачки; использование металлического катода с примесью порошка интерметаллида и деталей устройства, расположенных в области ионизации, с покрытием из аморфного оксида кремния толщиной до 100 нм.
Изобретение относится к ускорительной технике, в частности, к источникам ионов, и может быть использовано для получения ускоренных кластерных или атомарных ионов. Данное изобретение позволяет получить стабильный направленный поток ионов на выходе ионизатора, и может найти применение как для решения практических задач оптики, микро- и наноэлектроники, так и в методиках исследования поверхности, таких как вторичная ионная масс-спектрометрия (ВИМС) и рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС).
Виктор
Садовничий
Антонович
ректор
Доктор физико-математических наук
Академик
K-6414-2012
7801673584
https://istina.msu.ru/profile/SVA/
РОССИЯ
Сергей
Карлов
Сергеевич
И.о. декана химического факультета
РОССИЯ
29.31.17
Оптика атомов и ионов
01.03.SY
OPTICS
Владимир
Черныш
Савельевич
РОССИЯ
Андрей
Шемухин
Александрович
РОССИЯ
Екатерина
Воробьева
Андреевна
РОССИЯ
Дмитрий
Киреев
Сергеевич
РОССИЯ
Антон
Назаров
Викторович
РОССИЯ
Юрий
Балакшин
Викторович
РОССИЯ
Александр
Евсеев
Павлович
РОССИЯ
Дамир
Миннебаев
Кашифович
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ М.В.ЛОМОНОСОВА, МГУ ИМЕНИ М.В.ЛОМОНОСОВА, МОСКОВСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИЛИ МГУ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ М.В.ЛОМОНОСОВА"
1037700258694
ВИКТОР
САДОВНИЧИЙ
АНТОНОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения