Тестовая ячейка для контроля качества изготовления диодов Шоттки на карбиде кремния
карбид кремния диод Шоттки контроль качества тестовая ячейка
Областью применения предлагаемой полезной модели является микроэлектроника, а именно – контроль качества при производстве полупроводниковых приборов на основе кремния и  карбида кремния.
Результатом предлагаемой полезной модели является повышение и расширение возможностей оперативности контроля планарных элементов повышающих напряжение пробоя на основе слаболегированных JTE-колец.
Указанный технический результат достигается тем, что тестовая ячейка для контроля качества изготовления диодов Шоттки на карбиде кремния, состоящая из рабочего диода Шоттки, сформированного на эпитаксиальной структуре одного типа проводимости и содержащего охранную систему из колец другого типа проводимости, отличающаяся тем, что в ней дополнительно сформирован диод такой же по конструкции, как и рабочий, у которого по всей площади контакта Шоттки сформирован участок другого типа проводимости глубиной равной глубине внутреннего кольца.
Микроэлектроника.
Андрей
Демидов
Александрович
гнс
Доктор физико-математических наук
Доцент
B-8234-2012
7004500139
140403
0000-0002-8639-3575
РОССИЯ
Олег
Федонин
Николаевич
Ректор
РОССИЯ
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Николай
Брюхно
Александрович
0,34
РОССИЯ
Маргарита
Котова
Юрьевна
0,33
РОССИЯ
Сергей
Рыбалка
Борисович
0,33
РОССИЯ
ЗАО "Группа Кремний Эл"
Закрытое акционерное общество "Группа Кремний Эл"
1023202741781
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Непубличные акционерные общества
ФГБОУ ВО "БГТУ"
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Брянский государственный технический университет"
1023201058627
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения