СИСТЕМА ДЛЯ ПРОВЕДЕНИЯ ПРОЦЕССА ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ПАРОВ ЛЕТУЧИХ ПРЕКУРСОРОВ
Оксидные покрытия Тонкие пленки Планетарный реактор Химическое газофазное осаждение
Изобретение относится к области осаждения покрытий газофазным методом, при котором тонкий слой материала формируется на поверхности подложки. Изобретение может быть использовано в областях техники, требующих качественных тонких покрытий, в частности, оксидных. Система для химического осаждения из паров летучих прекурсоров, содержащая реакционную камеру, карусельный подложкодержатель, модуль подачи реакционных газов, модуль подачи ионизированных газов, нагреватель и средства вакуумной откачки, в которой модуль подачи реакционных газов включает газораспределяющее устройство, выполненное в виде душевой насадки со средствами подвода к ней реакционных газов, причем душевая насадка установлена в верхней части реакционной камеры с возможностью ее перемещения вдоль вертикальной оси камеры, карусельный подложкодержатель установлен в нижней части реакционной камеры с образованием между упомянутым подложкодержателем и душевой насадкой рабочего пространства, а модуль подачи ионизированных газов включает герметичный отсек с установленным внутри отсека ионным источником со средствами подвода ионизируемых газов, где упомянутый источник установлен с возможностью перемещения из отсека в рабочее пространство реакционной камеры, при этом отсек сопряжен с реакционной камерой и отделен от нее герметичным люком. Изобретение позволяет получить качественные равномерные покрытия, а также повышение производительности работы системы.
Изобретение может быть использовано в областях техники, требующих качественных тонких покрытий, в частности, оксидных.
Дмитрий
Шароваров
Игоревич
Генеральный директор
Отсутствует
Отсутствует
P-1139-2019
56811599600
0000-0003-2616-1569
РОССИЯ
Дмитрий
Шароваров
Игоревич
Генеральный директор
РОССИЯ
81.29.29
Вакуумные системы и методы для проведения научных и прикладных исследований
81.29.31
Вакуумные системы и технология для проведения промышленных технологических процессов в вакууме и в разреженных средах
61.31.51
Остальные элементы, оксиды, минеральные кислоты, основания, соли
61.13.21
Химические процессы
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Дмитрий
Шароваров
Игоревич
Руководитель работ, контроль конструкторской документации, участие в проектировании. Руководство пуско-наладочных работами.
РОССИЯ
Андрей
Кауль
Рафаилович
Научный руководитель работ. Комплексная консультация по проектированию установки
РОССИЯ
Андрей
Коблов
Викторович
Инженер-конструктор. Разработка конструкторской документации.
РОССИЯ
Павел
Минаков
Владимирович
Инженер-автоматизатор. Разработка электрических схем. Монтаж.
РОССИЯ
Рой
Ниигард
Роевич
Инженер-исследователь. Участие в проектировании. Пуско-наладочные работы. Подготовка документации к регистрации ИС.
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "ОКСИФИЛМ"
Общество с ограниченной ответственностью "ОКСИФИЛМ"
5157746213752
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью