Плазматрон с системой многоканальной подачи реагентов и регулирования объёма плазмы
плазма модификация поверхности плазма атмосферного давления
Полезная модель относится к плазменной технологии обработки материалов, а именно, к источникам получения и управления потоком плазмы атмосферного давления и системам газораспределения. Может быть использовано в различных областях науки и техники для получения тонких плёнок и порошков различных материалов, а также для модификации, очистки и обеззараживания различных поверхностей в микроэлектронике, оптике, микробиологии и медицине. Полезная модель использует плазматрон с такой газораспределительной системой, которая представляет собой цельное герметичное изделие (бесшовное), позволяющее одновременно подавать до пяти реагентов (газов), пропуская их через центральный электрод, и контролировать время нахождения реагентов в плазменной области за счёт изменения размеров плазменной области, технически реализуемое перемещением центрального электрода вдоль вертикальной оси.
Микроэлектроника, оптика, микробиология, медицина
Алексей
Боровков
Иванович
Проректор по цифровой трансформации
Кандидат технических наук
Доцент
G-3055-2011
840090300
6567
РОССИЯ
Юрий
Фомин
Владимирович
Проректор по научной работе
РОССИЯ
29.27.51
Применение плазмы
01.03.UF
PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
Артём
Осипов
Арменакович
РОССИЯ
Сергей
Александров
Евгеньевич
РОССИЯ
Екатерина
Ендиярова
Вячеславовна
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГАОУ ВО СПБПУ,СПБПУ,ФГАОУ ВО "СПБПУ", САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ПЕТРА ВЕЛИКОГО
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САНКТ-ПЕТЕРБУРГСКИЙ ПОЛИТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ПЕТРА ВЕЛИКОГО"
1027802505279
АНДРЕЙ
РУДСКОЙ
ИВАНОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения