Способ получения нанолитографических рисунков с упорядоченной структурой со сверхразвитой поверхностью
НАНОМАТЕРИАЛ НАНОЛИТОГРАФИЯ УПОРЯДОЧЕННАЯ СТРУКТУРА ФОТООТЖИГ СВЕРХРАЗВИТАЯ ПОВЕРХНОСТЬ
Изобретение относится к области нанотехнологий, а именно к способам формирования наноматериалов в виде нанолитографических рисунков с упорядоченной структурой со сверхразвитой поверхностью, и может быть использовано для получения устройств нано- и микроэлектроники нового поколения. Технический результат изобретения заключается в том, что с помощью совмещения зондовой литографии и золь-гель метода формируются нанолитографические рисунки с упорядоченной структурой со сверхразвитой поверхностью.
Формирование наноматериалов в виде нанолитографических рисунков с упорядоченной структурой со сверхразвитой поверхностью для газовых сенсоров и датчиков вакуума нового поколения.
Игорь
Аверин
Александрович
Заведующий кафедрой «Нано- и микроэлектроника»
Доктор технических наук
Профессор
S-5167-2016
14017861700
141239
0000-0002-9394-956X
РОССИЯ
Александр
Гуляков
Дмитриевич
ректор
РОССИЯ
29.19.31
Полупроводники
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Надежда
Якушова
Дмитриевна
Визуализация экспериментальных данных
РОССИЯ
Игорь
Пронин
Александрович
Обработка экспериментальных данных
РОССИЯ
Андрей
Карманов
Андреевич
Проведение экспериментальных исследований
РОССИЯ
ФГБОУ ВО "ПГУ", ПЕНЗЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ, ФГБОУ ВО "ПЕНЗЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ПЕНЗЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1025801440620
АЛЕКСАНДР
ГУЛЯКОВ
ДМИТРИЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения