Способ получения нанокомпозиционного покрытия из диоксида кремния с наночастицами дисульфида молибдена
НАНОКОМПОЗИТ, ДИСУЛЬФИД МОЛИБДЕНА, ДИОКСИД КРЕМНИЯ, ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
Изобретение относится к способу формирования нанокомпозиционного покрытия химическим осаждением из газовой фазы, состоящего из матрицы диоксида кремния с равномерно распределенными в ней наночастицами дисульфида молибдена. Проводят совместную конденсацию в реакторе наночастиц дисульфида молибдена и диоксида кремния на подложке при атмосферном давлении до достижения требуемой толщины покрытия, при этом получают наночастицы дисульфида молибдена в верхней части реактора, которую нагревают до 750-900°С, путем пиролиза раствора тиомолибдата аммония в диметилформамиде. Затем наночастицы дисульфида молибдена переносят потоком гелия в нижнюю зону реактора, которую нагревают до температуры 25-300°С. В нижней зоне реактора формируют пары диоксида кремния путем подачи паров тетраэтоксисилана потоком гелия и их разложения под воздействием коронного разряда. Обеспечивается износостойкое нанокомпозиционное покрытие из диоксида кремния с однородным распределением наночастиц дисульфида молибдена.
Изобретение может быть использовано для нанесения нанокомпозиционных покрытий на поверхность изделий сложной формы в промышленных масштабах. В частности, возможно применение в машиностроении, в электронной и микросистемной технике в качестве защитного антифрикционного покрытия с высокой износостойкостью и низким коэффициентом трения.
Александров С. Е.
заведующий кафедрой "Физико-химия и технологии микросистемной техники"
Доктор химических наук
Сергеев В. В.
Проректор по научной работе
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
55.09.43
Композиционные материалы
31.15.19
Химия твердого тела
61.31.01
Общие вопросы
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
01.04.DW
CHEMISTRY, APPLIED
02.05.QH
MATERIALS SCIENCE, COMPOSITES
Кирилл
Тюриков
Сергеевич
Экспериментальное подтверждение способа формирования нанокомпозиционного покрытия из диоксида кремния с наночастицами дисульфида молибдена.
Сергей
Александров
Евгеньевич
Разработка способа формирования нанокомпозиционного покрытия из диоксида кремния с наночастицами дисульфида молибдена.
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГАОУ ВО "СПбПУ"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого»
1027802505279
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения