Способ изготовления полупроводникового прибора
полупроводниковый прибор реоксидирование азотированного оксида термического слоя оксида SiO2 горячие электроны
Технология способа состоит в следующем: на пластинах кремния n -типа проводимости с удельным сопротивлением 4,5 Ом*см, выращивался слой термического слоя оксида SiO2 10 нм со скоростью роста 0,2 нм/мин окислением в сухом кислороде при температуре 850°С и атмосферном давлении в течение 50 мин. Азотирование 10 нм термического оксидного слоя SiO2 проводилась при температуре 850°С в среде  аммиака NH3 при давлении 1* 104 Па, в течение 60 мин  а последующее реоксидирование азотированного оксида проводили в сухом O2 при атмосферном давлении в течение 180 мин при температуре 850°С. Области полевого транзистора и контакты к этим областям формировали по стандартной технологии. Выбор условий реоксидирования обусловлен необходимостью удаления электронных ловушек и подавления образования состояний на границе раздела.
Технический результат: снижение токов утечек и влияние горячих электронов, обеспечение технологичности, улучшение параметров приборов, повышение качества и увеличения процента выхода годных.
Изобретение относится к области технологии производства полупроводниковых приборов, в частности к технологии изготовления затворного оксида полевого транзистора с низкими токами утечки и пониженным влиянием горячих электронов.
Дахир
Гаев
Сайдулахович
директора центра микроэлектроники и нанотехнологий
Кандидат химических наук
Доцент
-
6508333977
141746
https://kbsu.ru/employees/gaev-dahir-sajdulahovich/
0000-0002-8391-5761
РОССИЯ
Светлана
Хаширова
Юрьевна
И.о. проректора по НИР
РОССИЯ
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Гасан
Мустафаев
Абакарович
РОССИЯ
Наталья
Черкесова
Васильевна
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
КБГУ
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова"
1020700739234
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения