СПОСОБ РАЗДЕЛЕНИЯ НА ОТДЕЛЬНЫЕ МИКРОСХЕМЫ ГЕРМЕТИЗИРОВАННОЙ С ПОМОЩЬЮ ЭПОКСИДНОГО КОМПАУНДА МУЛЬТИПЛИЦИРОВАННОЙ ПОДЛОЖКИ
ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА, КОРПУСИРОВАНИЕ, ГИБРИДНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
Способ разделения на отдельные микросхемы герметизированной с помощью эпоксидного компаунда мультиплицированной подложки, содержащей множество кристаллов, включает фиксацию мультиплицированной подложки в вакуумном держателе и ее разделение на отдельные микросхемы пилой с алмазным дисковым рабочим органом. Перед разделением мультиплицированной подложки осуществляют ее ламинирование со стороны слоя компаунда пленочным материалом с несущим и клеевым слоями. Несущий слой подбирают толщиной не менее 120 мкм, а клеевой слой – толщиной в диапазоне от 10 до 40 мкм и прочностью отслаивания не менее 20 000 мН/25мм. Разделение мультиплицированной подложки выполняют таким образом, чтобы пленочный материал сохранил свою целостность. Скорость резания устанавливают в диапазоне от 44 до 82 м/с, а скорость движения подачи в интервале от 20 до 40 мм/сек, при этом периодически алмазный дисковый рабочий орган абразивно обрабатывают.
Техническое решение может быть использовано в технологическом процессе производства многокристальных микросхем высокой степени интеграции с одновременным применением процессов корпусирования Flip-Chip и Wire Bond.
Ершова Н. Ю.
заведующая кафедрой информационно-измерительных систем и физической электроники
Кандидат физико-математических наук
Воронин А. В.
ректор
47.13.13
Технология и оборудование для производства радиодеталей и компонентов
47.33.31
Интегральные микросхемы
02.02.00
Electrical eng, electronic eng
02.05.00
Materials engineering
Кирилл
Балашков
Евгеньевич
Разработка технического решения. Апробация технического решения.
Павел
Луньков
Владимирович
Обсуждение изобретения, составлениеформулы и описания заявки
Павел
Будник
Владимирович
Определение направлений поиска совершенствования процесса разделения мультиплицированной подложки.
Наталья
Ершова
Юрьевна
Разработка технического решения
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ПетрГУ
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего  образования "Петрозаводский государственный университет"
1021000519935
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения