Программа моделирования воздействия электронного пучка на полимеры при различных температурах с учетом процессов деполимеризации
электронная литография деполимеризация сухое электронно-лучевое травление резиста
Программа позволяет рассчитать параметры электронно-лучевой литографии с дальнейшей термической деполимеризацией полимера. В ходе работы программы используется математическое моделирование методом Монте-Карло для определения координат взаимодействий электронов с атомами полимера. Далее создается модель полимерных цепей на основе модели случайного блуждания, которая позволяет сопоставить взаимодействиям электронов с полимером конкретные фрагменты цепей. Процесс термической деполимеризации полимера моделируется на основе эмпирически полученных данных о количестве взаимодействий электронов определенной энергии с полимером и скорости выхода мономера при нагреве. Программа имеет клавиатурно-файловый интерфейс ввода данных, вывод результатов расчета производится в файлы формата .npy.
оценка влияния процессов взаимодействия электронного пучка с резистом при различных температурах на процесс электронной литографии
Владимир
Лукичев В. Ф.
Федорович
Директор
Доктор физико-математических наук
Член-корреспондент РАН
R-6429-2016
6603602322
35827
0000-0003-3282-8374
РОССИЯ
Владимир
Лукичев
Федорович
Директор
РОССИЯ
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
47.13.33
Электронно-ионно-плазменные технологии электронного производства
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Александр
Рогожин
Евгеньевич
РОССИЯ
Федор
Сидоров
Алексеевич
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФТИАН им. К.А.Валиева РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А.Валиева Российской академии наук
1037739352155
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения