РЕЗИСТИВНЫЙ ГАЗОВЫЙ ДАТЧИК НА ОСНОВЕ МЕТАЛЛОКСИДНОЙ ПЛЕНКИ
газовый датчик металлооксидная пленка микро- и наноэлектроника
Предлагаемая полезная модель относится к областям производства изделий микро- и наноэлектроники и может применяться устройствах наноразмерного детектирования газов и паров. Резистивный датчик на основе металлоксидной пленки включает в себя подложку из поликора, чувствительный элемент из металлооксидной пленки оксида цинка с примесями оксида олова, который формируется методом низкотемпературного твердофазного пиролиза, а также технологические отверстия для попадания исследуемого газа. Техническим результатом предлагаемой полезной модели является создание резистивного газового датчика на основе металлоксидной пленки.
Производства изделий микро- и наноэлектроники и может применяться устройствах наноразмерного детектирования газов и паров.
Ирина
Гуляева
Александровна
Инженер
Отсутствует
Отсутствует
AAR-2405-2021
57427018600
1088014
0000-0001-9364-1007
РОССИЯ
Ирина
Гуляева
Александровна
Инженер
РОССИЯ
29.17.15
Газы
31.15.35
Поверхностные явления. Адсорбция. Хроматография. Ионный обмен
47.14.05
Проектирование и конструирование электровакуумных и газоразрядных приборов
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Ирина
Гуляева
Александровна
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Ирина
Гуляева
Александровна
Физическое лицо
РОССИЯ