Программное обеспечение для моделирования распределения легирующей примеси и расчета эквивалентного модуля упругости в балочных упругих элементах МЭМС
распределение легирующей примеси, эквивалентный модуль упругости, балочные упругие элементы МЭМС
Программный продукт предназначен для исследования зависимости эквивалентного модуля упругости монокристаллического кремния от профиля распределения концентрации легирующей примеси в нём по толщине упругого элемента МЭМС. Позволяет, изначально зная  зависимость модуля упругости кремния от концентрации данной легирующий примеси, построить заданный профиль распределения этой примеси по толщине упругого элемента.  Варьируя такие параметриты как: тип легирующей примеси, время и температуру процесса имплантации, рассчитать соответствующий данному профилю эквивалентный модуль упругости.
Исследование зависимости эквивалентного модуля от профиля распределения примеси
Филонов О.М.
Доцент
Кандидат технических наук
Антохина Ю. А.
Ректор ГУАП
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Александр
Бестугин
Роальдович
Разработка математической  модели функциональных частей программы
Олег
Филонов
Михайлович
Постановка задачи по исследованию зависимости эквивалентного модуля от профиля распределения примеси
Ирина
Киршина
Анатольевна
Получение данных по зависимости модуля упругости кремния от легирующей примеси
Павел
Окин
Александрович
Разработка тестовых примеров
РФФИ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "РОССИЙСКИЙ ФОНД ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ"
1037739411489
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Российский фонд фундаментальных исследований"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ГУАП
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный университет аэрокосмического приборостроения"
1027810232680
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения