Специальное программное обеспечение для электронно-лучевой литографии на основе растровых электронных  микроскопов
микроскопия литография нанотехнологии
Разработанное специальное программное обеспечение (далее СПО) предназначено для комплексной автоматизации научных исследований физических и математических моделей электронно-лучевой литографии (ЭЛЛ) и их экспериментальной проверки, проводимых на лабораторных литографических установках, создаваемых на основе растровых электронных микроскопов (РЭМ). 
Специальное программное обеспечение позволяет реализовать эффективные алгоритмы для коррекции эффектов искажения структуры при создании прецизионных субмикронных элементов, алгоритмы поиска оптимальных параметров технологического процесса, осуществить предварительную обработку больших объемов данных, описывающих форму и требуемые параметры микроструктур, а также провести достаточные сложные процедуры управления процессами экспонирования. 
Технический результат применения СПО заключается в улучшении качественных характеристик и снижении суммарного времени на изготовление готового изделия методом электронно-лучевой литографии при повышении степени автоматизации работы используемого оборудования.
Специальное программное обеспечение для автоматизации процессов в литографических комплексах на основе генераторов изображений и электронных микроскопов позволяет решить большой перечень задач, связанных с достижением высокой разрешающей способности, производительности и точности литографии, осуществить подбор значений параметров, определяющих технологический процесс изготовления микросхем.
Сергей
Зайцев
Иванович
Научный руководитель проекта
Доктор физико-математических наук
Старший научный сотрудник
"_"
"_"
РОССИЯ
Булат
Гайфуллин
Накиевич
Генеральный директор
РОССИЯ
29.35.43
Электронная и ионная микроскопия
50.41.29
Программное обеспечение пользовательского интерфейса
50.47.29
Автоматизированные системы управления непрерывными технологическими процессами
02.11.RA
MICROSCOPY
02.02.AC
AUTOMATION & CONTROL SYSTEMS
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
01.02.EW
COMPUTER SCIENCE, SOFTWARE ENGINEERING
Булат
Гайфуллин
Накиевич
Полный цикл разработки и создания программы
РОССИЯ
ООО "ИНТЕРФЕЙС РУ"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ИНТЕРФЕЙС РУ"
1027700511288
БУЛАТ
ГАЙФУЛЛИН
НАКИЕВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью