Часть программы для управления процессом молекулярного наслаивания нанопокрытий заданной толщины и состава
МОЛЕКУЛЯРНОЕ НАСЛАИВАНИЕ, АВТОМАТИЗИРОВАННЫЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ, ПОВЕРХНОСТЬ, МОДИФИЦИРОВАНИЕ
Часть программы предназначена для управления процессом молекулярного наслаивания нанопокрытий заданной толщины. Входными данными являются уставки времени, порядка и количества циклов напускаемых прекурсоров и продувочных газов. Выходными данными являются сигналы, подаваемые на клапаны и регуляторы расхода газов с заданной частотой, периодичностью, порядком и временем. Алгоритм обеспечивает управление процессом молекулярного наслаивания нанопокрытий заданой толщины и состава.Тип ЭВМ: Программируемый логический контроллер.Вид и версия среды программирования: CoDeSys 3.5.Язык программирования: CFCОбъем программы для ЭВМ: 1363 Кб
Программа управления процессом нанесения нанопокрытий заданной толщины на автоматизированных установках молекулярного наслаивания проточного и проточно-вакуумного типов. Может использоваться для управления лабораторными, полупромышленными и промышленными установками, формирующими покрытия заданной толщины по технологии молекулярного наслаивания.
Малыгин А. А.
Заведующий кафедрой
Доктор химических наук
Шевчик А. П.
Ректор
61.31.57
Неорганические сорбенты
31.15.35
Поверхностные явления. Адсорбция. Хроматография. Ионный обмен
31.15.19
Химия твердого тела
01.04.00
Chemical sciences
02.04.00
Chemical engineering
02.10.00
Nano-technology
01.04.DW
CHEMISTRY, APPLIED
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Владимир
Антипов
Викторович
50%
Владимир
Балахнин
Сергеевич
50%
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет), СПбГТИ(ТУ)
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный технологический институт (технический университет)"
1027810258761
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения