ИСТОЧНИК ИОНОВ
сеточный источник ионов, высокочастотный, мощность, плазма, распыление
Изобретение относится к плазменным источникам ионов. Источник содержит газоразрядную камеру из проницаемого для электромагнитного излучения диэлектрического материала. Камера включает два последовательно сопряженных участка, первый из которых расположен со стороны патрубка ввода газообразного рабочего вещества и имеет цилиндрическую форму. Второй участок сопряжен с выходной частью первого участка и выполнен сужающимся в направлении извлечения и ускорения ионов в форме усеченного конуса вращения. Узел ввода энергии выполнен в виде проводника, участки которого образуют витки, расположенные с внешней стороны первого участка камеры, и подключен к выходу высокочастотного генератора напряжения. Система извлечения и ускорения ионов включает два электрода, расположенные со стороны первого участка камеры и соосно камере со стороны ее второго участка. С внешней стороны газоразрядной камеры между узлом ввода энергии и выходным сечением второго участка установлена электромагнитная катушка.
Изобретение относится к плазменным источникам, предназначенным для создания интенсивных ионных пучков с использованием высокочастотной электромагнитной энергии для генерации плазмы в газоразрядной камере. Технические результаты данного изобретения заключаются в увеличении ресурса, повышении надежности и упрощении конструкции источника ионов за счет исключения сеточных или перфорированных электродов, при этом обеспечивается независимое регулирование плотности тока и энергии ускоренных ионов.  Изобретение может применяться в ионно-плазменных технологических установках, в которых ионные пучки используются для нанесения покрытий, ионного ассистирования, ионной имплантации, очистки поверхностей и модификации поверхностных свойств материалов.
Вавилин К. В.
Научный руководитель
Кандидат физико-математических наук
Миленин С. А.
Генеральный директор
29.27.43
Газовый разряд
29.27.51
Применение плазмы
01.03.UF
PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
Сергей
Миленин
Александрович
Руководитель
Константин
Вавилин
Викторович
Научный руководитель
Илья
Задириев
Игоревич
Инженер
Александр
Лавров
Геннадьевич
Консультант
Елена
Кралькина
Александровна
Главный консультант
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "ПЛАЗТРЕК"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ПЛАЗТРЕК"
1197746454520
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью