Испаритель летучих прекурсоров для применения в MOCVD процессах
возгонка регулятор потока пиролиз МОС синтез МУНТ
Испаритель МОС является неотъемлемой частью в MOCVD реакторах. Его назначение - это испарение МОС, смешение паров прекурсора с газом носителем, подготовка и регулирование газовой смеси. Конструкция испарителя оснащена подвижной трубкой - инжектором, которая выполняет роль регулирующей насыщение подающегося газа заслонки, а при полном её закрытии выполняет роль байпаса.
MOCVD cинтез углеродных нанотрубок, наночастиц и нанопокрытий.
Михаил
Бочкарев
Николаевич
Ведущий научный сотрудник
Доктор химических наук
Профессор
A-7082-2014
7006227538
http://iomc.ras.ru/labs/cree/
РОССИЯ
Игорь
Федюшкин
Леонидович
Директор
РОССИЯ
31.15.03
Теория строения молекул и химической связи
01.04.EI
CHEMISTRY, PHYSICAL
Илья
Вилков
Владимирович
Принципиальная разработка конструкции испарителя. Проведение серии экспериментов с его использованием, исследование и демонстрация его возможностей.
РОССИЯ
Борис
Каверин
Сергеевич
Разработка конструкции испарителя и изготовление опытного образца.
РОССИЯ
Анатолий
Объедков
Михайлович
Инжиниринговые работы по разработке и эксплуатации испарителя. Супервайзер.
РОССИЯ
Людмила
Каверина
Борисовна
Литературно-патентный обзор
РОССИЯ
Николай
Семенов
Михайлович
Изготовление опытного образца.
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИМХ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ МЕТАЛЛООРГАНИЧЕСКОЙ ХИМИИ ИМ. Г.А. РАЗУВАЕВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
1025203569599
ИГОРЬ
ФЕДЮШКИН
ЛЕОНИДОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения