Устройство для нанесения многослойных покрытий
ВАКУУМНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ МЕТАЛЛОВ, НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫЕ ПОКРЫТИЯ, ОПТИЧЕСКИЕ МНОГОСЛОЙНЫЕ ПОКРЫТИЯ, УСТРОЙСТВА ДЛЯ НАПЫЛЕНИЯ
Полезная модель относится к плазменной технике, а именно к устройствам для нанесения оптических, защитных и других многослойных покрытий на поверхности подложек путем вакуумного распыления металлов, и может быть использована для нанесения наноструктурированных покрытий, применяющихся в рентгеновской и нейтронной оптике. Устройство для нанесения многослойных покрытий содержит герметизированную рабочую камеру с закрепленными на боковой стенке по меньшей мере одним ионным источником, и по меньшей мере двумя магнетронами, многоканальную систему напуска рабочего газа, вакуумную систему, шлюзовую камеру, отделенную от рабочей камеры вакуумным затвором, реверсивную камеру, транспортную систему линейного перемещения с держателем подложек и контрольно-измерительные элементы расхода газа и давления, взаимосвязанные с блоком управления технологическими процессами связанным с запорно-регулирующими элементами. Устройство также содержит контрольно-измерительные элементы скорости осаждения покрытия,
Использование для нанесения оптических, защитных и других многослойных покрытий, для нанесения наноструктурированных покрытий
Москвин Е. В.
Старший научный сотрудник отдела нейтронной оптики инжинирингового центра "Нейтронные технологии"
Кандидат физико-математических наук
Саранцева С. В.
Заместитель директора по научной работе
55.22.19
Металлические покрытия
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
02.00.00
Engineering and Technology
01.03.UB
PHYSICS, APPLIED
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Василий
Болбуков
Петрович
Расчет технических параметров устройства, предложения  к выполнению конструктивных элементов. Творческий вклад 20%
Сергей
Шустов
Борисович
Исследование уровня техники, постановка технической задачи, описание работы устройства. Творческий вклад  25%
Евгений
Москвин
Владимирович
Разработка конструктивных элементов устройства и связи между ними, составление формулы полезной модели. Доля творческого участия в создании РИД 35%.
Виктор
Караваев
Викторович
Расчет технических параметров устройства, предложения к выполнению конструктивных элементов. Творческий вклад 20%
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НИЦ «Курчатовский институт» – ПИЯФ
Федеральное государственное бюджетное учреждение «Петербургский институт ядерной физики им. Б.П. Константинова Национального исследовательского центра «Курчатовский институт»
1034701242443
Организация
Правительство Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения