Программа анализа рельефа пластины с тонкой плёнкой для расчёта величины кривизны поверхности и остаточных механических напряжений
механические напряжения кривизна пластины тонкая плёнка
Программа предназначена для расчёта величины кривизны поверхности и остаточных механических напряжений. Программа предусматривает возможность проведения измерений в каждой точке образца, что обеспечивает наглядное представление данных, и позволяет локализовать области на пластине c максимальными значениями кривизны поверхности и остаточными механическими напряжениями.
Для корректировки технологических параметров процесса формирования тонкой пленки с минимальной величиной внутренних механических напряжений
Евгений
Гусев
Эдуардович
Ведущий инженер
Кандидат технических наук
Отсутствует
L-7383-2016
57190162351
5303-8211
0000-0002-2819-2599
РОССИЯ
Сергей
Гаврилов
Александрович
Проректор
РОССИЯ
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Павел
Гусев
Эдуардович
проведено тестирование программы
РОССИЯ
Евгений
Гусев
Эдуардович
замечена возможность оптимизации кода
РОССИЯ
Дмитрий
Товарнов
Андреевич
реализован алгоритм расчёта параметров на языке Python
РОССИЯ
Николай
Дюжев
Алексеевич
сформулирована цель и предложены варианты её аналитического решения
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИЭТ"; НИУ МИЭТ;МИЭТ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
1027739615584
ВЛАДИМИР
БЕСПАЛОВ
АЛЕКСАНДРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения