Конструкция поверхностного ТГц излучателя
ТГц оптоэлектроника наноэлектроника терагерцовая импульсная спектроскопия
Изобретение относится к полупроводниковым материалам группы А3В5, используемым для изготовления поверхностных излучателей терагерцевого диапазона (ТГц) на основе встроенного поля или эффекта Дембера, а также фотопроводящих антенн (ФПА).
Суть изготовления поверхностного излучателя заключается в использовании специальной конструкции структуры, включающей в себя легированный буферный слой вместо обычно используемого нелегированного. Для этого, используя стандартную подложку GaAs или InP, перед фотопроводящим слоем эпитаксиально выращивается буферный слой необходимого состава с толщиной 200 нм, легированный мелкой донорной примесью до концентрации носителей 5×1018 см-3. Далее на нем формируется фотопроводящий слой необходимого состава толщиной 0,5-1 мкм. Наибольшая эффективность достигается для создания поверхностного излучателя на основе слоев GaAs, хотя конструкцию можно использовать для изготовления ТГц излучателей любого типа на основе любых полупроводниковых соединений, включая структуры для ФПА.
Техническим результатом изобретения является простая и универсальная конструкция фотопроводящих слоев, обеспечивающая существенное повышение эффективности ТГц генерации режиме поверхностного излучателя при работе в геометрии на пропускание и отражение.
Николай
Зенченко
Владимирович
Руководитель
Отсутствует
Отсутствует
K-2233-2015
56891470400
7667-6535
0000-0002-7932-1821
РОССИЯ
Николай
Зенченко
Владимирович
Руководитель
РОССИЯ
47.33.33
Оптоэлектронные приборы
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Николай
Зенченко
Владимирович
Расчет структур
РОССИЯ
Дмитрий
Пономарев
Сергеевич
Изготовление устройства
РОССИЯ
Рустам
Хабибуллин
Анварович
Изготовление устройства
РОССИЯ
Игорь
Глинский
Андреевич
Расчет структур
РОССИЯ
Александр
Ячемнев
Эдуардович
Рост структур
РОССИЯ
Денис
Лаврухин
Владимирович
Изготовление устройства
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Николай
Зенченко
Владимирович
Физическое лицо
РОССИЯ