Программа моделирования криогенного плазменного травления NGCES
Глубокого травление кремния Плазменное травление моделирование методом Монте-Карло криогенное травление кинетика поверхностных реакций
Программа решает задачи математического моделирования процесса криогенного плазменного
травления. Программа позволяет рассчитывать трехмерные профили травления для произвольной
топологии маски и параметров плазменного разряда, задаваемых пользователем. Область
моделирования разбивается на кубические ячейки. Профиль травления представляется как
граница между заполненными и вакантными ячейками. Потоки частиц плазмы внутри профиля
рассчитываются с помощью метода Монте-Карло, а поверхностная кинетика моделируется в
рамках подхода кинетического Монте-Карло. Программа построена по модульному принципу,
причем конкретные реализации модулей задаются пользователем перед расчетом. Это позволяет
эффективно решать задачи расчета профилей травления, а также оптимизации и калибровки
параметров модели. Возможен вывод результата расчетов в файл формата HDF5. ОС: Windows
10 и выше.
Применение для моделирования профиля плазменного криогенного травления кремния. Определение шероховатости боковых стенок. Оптимизация процессов.
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
Михаил
Руденко
Константинович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
""
""
""
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФТИАН им. К.А.Валиева РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А.Валиева Российской академии наук
1037739352155
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения