Способ изготовления микроэлектронного узла
микроэлектронный узел электронная аппаратура бескорпусные микроэлектронные компоненты
Сущность: формирование окон в подложке собираемого микроэлектронного узла для установки предварительно протестированных и запрограммированных бескорпусных кристаллов осуществляют после формирования многоуровневых коммутационных слоев с окнами,  формирование многоуровневых коммутационных слоев осуществляют с двух сторон подложки, коммутационные слои, контактирующие с технологической средой, формируют на основе золота, окна собираемого узла и переходные отверстия формируют «сухим» травлением подложки высокоомного кремния в Бош-процессе через маску диэлектрика, входящего в состав многоуровневых коммутационных слоев, окна для металлизации торцов микроэлектронного узла формируют «сухим» травлением подложки высокоомного кремния в Бош-процессе через маску диэлектрика, входящего в состав многоуровневых коммутационных слоев.
Изобретение относится к области технологии изготовления электронной аппаратуры с применением, в основном, бескорпусных микроэлектронных компонентов и может быть использовано при изготовлении приборов и микросборок, состоящих из нескольких полупроводниковых или прочих компонентов на твердом теле, сформированных на одной общей подложке или внутри нее.
Андрей
Жуков
Александрович
Профессор
Доктор технических наук
Профессор
-
-
РОССИЯ
Юрий
Равикович
Александрович
И.О. проректора по научной работе МАИ
РОССИЯ
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Ирина
Тигашова
Михайловна
РОССИЯ
Андрей
Жуков
Александрович
РОССИЯ
МАИ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ АВИАЦИОННЫЙ ИНСТИТУТ (НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)"
1037739180820
МИХАИЛ
ПОГОСЯН
АСЛАНОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения
МАИ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "МОСКОВСКИЙ АВИАЦИОННЫЙ ИНСТИТУТ (НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)"
1037739180820
МИХАИЛ
ПОГОСЯН
АСЛАНОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения