Отчет о научно-исследовательской и опытно-конструкторской работе Разработка инновационных методов синтеза монокристаллических алмазных полупроводниковых материалов и гетероструктур изолятор-полупроводник-проводник. Этап 2021 года
Синтез, обработка алмазных монокристаллов, выращенных на HPHT подложках типа IIa, Ib, IIb (промежуточный) этап 1
СПЕКТРОСКОПИЯ КОМБИНАЦИОННОГО РАССЕЯНИЯ ИК СПЕКТРОСКОПИЯ СИНТЕТИЧЕСКИЙ АЛМАЗ РЕЖИМЫ ХИМИЧЕСКОЙ И ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ АЛМАЗОВ РЕЖИМЫ СИНТЕЗА ЛАЗЕРНЫЙ РАСКРОЙ АЛМАЗА ГОМОЭПИТАКСИАЛЬНЫЙ РОСТ АЛМАЗА
Объектом исследования являются: - режимы синтеза CVD алмазных монокристаллов; - параметры постростовой обработки CVD алмазных монокристаллов; - методы определения азота и бора в CVD алмазных монокристаллах. Цель работы – разработка новой технологии и синтез алмазных монокристаллов на НРНТ (высокое давление, высокая температура) подложках типа IIa, Ib, IIb, проведение исследований структурного качества синтезированных кристаллов, влияние параметров постростовой обработки CVD алмазных монокристаллов на их свойства. В процессе работы были выполнены следующие работы: - синтезированы НРНТ алмазные монокристаллы типов IIa, Ib, IIb, из них изготовлены подложки для синтеза CVD монокристаллических алмазов; - установлены режимы алмазного CVD синтеза, обеспечивающие длительный и стабильный рост высококачественных монокристаллических алмазов; - синтезированы шесть алмазных монокристаллов на НРНТ подложках типа IIa, Ib, и два на IIb; - проведены обработка и исследования CVD монокристаллических алмазов методами ИК-спектроскопии и СКР. Отчет является промежуточным, по первому этапу государственного контракта № Н.4х.241.09.21.1110 от 29.04.2021.
Результаты работы имеют практическую значимость для синтеза монокристаллических алмазных полупроводниковых материалов и гетероструктур изолятор-полупроводник-проводник.
Николай
Полушин
Иванович
Заведующий НИЛ СТМ
Кандидат технических наук
Доцент
2497325
6603878820
611729
https://misis.ru/science/community/scientists/3764/
нет
РОССИЯ
Елена
Босова
Владимировна
Главный специалист ОПКиАНД по доверенности №29-312 от 03.02.2021
РОССИЯ
61.69.37
Монокристаллы и сцинтилляторы
61.13.21
Химические процессы
01.03.UF
PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
02.03.RY
NUCLEAR SCIENCE & TECHNOLOGY
02.04.II
ENGINEERING, CHEMICAL
Николай
Полушин
Иванович
введение, разделы 3, заключение
РОССИЯ
Сергей
Диденко
Иванович
раздел 1
РОССИЯ
Александр
Лаптев
Иванович
введение, разделы 1-3, заключение
РОССИЯ
Сергей
Тарелкин
Александрович
разделы 1-2
РОССИЯ
Анатолий
Маслов
Львович
разделы 1-3
РОССИЯ
Сергей
Терентьев
Александрович
раздел 1
РОССИЯ
Николай
Корнилов
Владимирович
раздел 2
РОССИЯ
ГОСКОРПОРАЦИЯ "РОСАТОМ"
ГОСУДАРСТВЕННАЯ КОРПОРАЦИЯ ПО АТОМНОЙ ЭНЕРГИИ "РОСАТОМ"
1077799032926
Организация
Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом"
Государственные корпорации
МИСиС, НИТУ "МИСиС"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
1027739439749
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения
МИСиС, НИТУ "МИСиС"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
1027739439749
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения