Туннельный магниторезистивный элемент с вихревым распределением намагниченности в свободном слое и способ его изготовления
Электронная техника Туннельный магниторезистивный элемент вихревое распределение
Группа изобретений относится к электронной технике. В туннельном магниторезистивном (ТМР) элементе свободный магнитный слой состоит из текстурированного слоя CoFeB(7 нм), непосредственно примыкающего к туннельному изолирующему слою MgO(1,2 нм), и аморфного слоя CoFeB(40 нм), непосредственно контактирующего с текстурированным слоем CoFeB(7 нм) и обеспечивающего возможность формирования магнитного вихря. При этом свободный магнитный слой формируют в два этапа, причем на первом этапе происходит кристаллизация аморфных слоев CoFeB а на втором этапе методом магнетронного распыления непосредственно на текстурированный слой CoFeB(7 нм) наносят аморфный слой CoFeB(40 нм), обеспечивающий возможность формирования магнитного вихря. Текстурированный слой обеспечивает высокий уровень ТМР эффекта, аморфный слой обеспечивает формирование магнитного вихревого состояния. Технический результат – упрощение процесса изготовления ТПР элемента при сохранении высокой величины ТМР эффекта.
Отрасли промышленности и техники
45.09.29
Магнитные материалы
Никита
Гусев
Сергеевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"ABH-1137-2020"
"56688261600"
"-"
"http://www.ipmras.ru/institute/persons/staff/341-gusev-nikita-sergeevich/"
"-"
РОССИЯ
Максим
Сапожников
Викторович
"Доктор физико-математических наук"
"Отсутствует"
"I-4246-2013"
"7006231402"
"27534"
"http://www.ipmras.ru/institute/persons/staff/76-sapozhnikov-maksim-viktorovich/"
"0000-0003-0316-4185"
РОССИЯ
Игорь
Пашенькин
Юрьевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"-"
"57193417366"
"-"
"http://www.ipmras.ru/institute/persons/staff/242-pashenkin-igor-yurevich/"
"-"
РОССИЯ
Евгений
Скороходов
Владимирович
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"-"
"36242411200"
"644199"
"http://www.ipmras.ru/institute/persons/staff/224-skorokhodov-evgeniy-vladimirovich/"
"-"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИПФ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ НАУЧНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
1025203020193
ГРИГОРИЙ
ДЕНИСОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения