Способ нанесения нанопленочного покрытия на подложку
НАНОПЛЕНОЧНОЕ ПОКРЫТИЕ, ИМПУЛЬСНО-ПЛАЗМЕННОЕ НАПЫЛЕНИЕ, УЛЬТРАФИОЛЕТОВОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ, ОКСИДНЫЕ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
Изобретение относится к способу нанесения нанопленочного покрытия на подложку и может быть использовано для получения нанопокрытий на поверхностях различных подложек при невысокой температуре. Осуществляют импульсно-плазменное напыление с лазерным поджигом. Используют импульсный режим работы эксимерного ультрафиолетового лазера и собственные ионы материала мишени для создания рабочей плазмы. Используют ультрафиолетовое излучение с прецизионно низкой мощностью для начального поджига при создании рабочей плазмы и используют импульсный режим работы источника питания магнетрона с временем работы меньше, чемчастота следования лазерных импульсов. Техническим результатом изобретения является улучшение оптических и структурных свойств напыляемых покрытий за счет использования плазмы из собственных ионов распылительноймишени и использования прецизионно низкой мощности лазерного излучения.
Изготовление тонких дисплеев, органических светоизлучающих диодов, солнечных батарей, тонкопленочных транзисторов, газовых сенсоров, космических аппаратов.
Овчинников С.Г.
руководитель научного направления
Балаев Д. А.
директор
29.19.37
Теория магнитных свойств твердых тел
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Екатерина
Тамбасова
Витальевна
20%
Игорь
Тамбасов
Анатольевич
20%
Виктор
Мягков
Григорьевич
20%
Виктор
Жигалов
Степанович
20%
Алексей
Мацынин
Александрович
20%
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИФ СО РАН
Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук – обособленное подразделение ФИЦ КНЦ СО РАН
1022402133698
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Обособленные подразделения юридических лиц