Программа аппроксимации слоя/слоёв, состоящих из нескольких материалов различного типа смешивания и расчёта градиента данного типа слоёв в моделировании многослойных оптических систем
тонкие пленки расчет оптических параметров эллипсометрия модель эффективной среды
Программа выполняет   аппроксимацию слоев с типами смешивания   по Бругемману, Максвелла-Гартнеру, Лоренц Лоренцу. При выборе 2 материалов, включенных в слой, пользователь может задать градиентное распределение материалов в слое. Доступны три типа градиентного распределения материалов: линейный, параболический, по Гауссу. Программа   вычисляет комплексные показатели преломления для эффективной среды с указанными типами смешивания для входящих в слои материалов.  Включение слоев данного типа в модели многослойных оптических систем позволяет значительно расширять возможности анализа результатов эллипсометрических измерений.
Эллипсометрический контроль ростовых процессов тонкопленочных структур, таких как ГЭС КРТ и др.
Максим
Якушев
Витальевич
зав.лаб.
Доктор физико-математических наук
Доцент
-
35363240800
РОССИЯ
Александр
Латышев
Васильевич
Директор
РОССИЯ
50.41.01
Общие вопросы
01.02.EW
COMPUTER SCIENCE, SOFTWARE ENGINEERING
Нина
Аульченко
Александровна
РОССИЯ
Николай
Назаров
Иванович
РОССИЯ
Евгений
Спесивцев
Васильевич
РОССИЯ
Василий
Швец
Александрович
РОССИЯ
Максим
Якушев
Витальевич
РОССИЯ
Сергей
Рыхлицкий
Владимирович
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИФП СО РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ФИЗИКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВ ИМ. А.В. РЖАНОВА СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
1025403651283
АЛЕКСАНДР
ЛАТЫШЕВ
ВАСИЛЬЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения