ВЧ-ИСТОЧНИК ПЛАЗМЫ С ПЛАНАРНЫМ ИНДУКТОРОМ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН ДИАМЕТРОМ ДО 600 мм
ВЧ-источник плазмы
Изобретение относится к устройствам, предназначенным для генерации низкотемпературной сильно-ионизованной плазмы. Технический результат – повышение радиальной однородности плазмы низкого давления для обработки полупроводниковых пластин большого диаметра до 600 мм. ВЧ-источник плазмы содержит цилиндрическую вакуумную камеру, герметично разделенную диэлектрическим окном ввода ВЧ-мощности на два объема. В первом объеме производится обработка полупроводниковых пластин посредством воздействия технологической индуктивно-связанной плазмы, второй объем, цилиндрическая стенка и крышка которого изготовлены из диамагнитного материала, предназначен для размещения планарного спирального ВЧ-индуктора. Когда в технологическом объеме производится генерация плазмы в диапазоне рабочих давлений 1-100 мТорр, в объеме индуктора поддерживается давление инертного газа, обладающего высоким потенциалом ионизации, в диапазоне 5-20 Торр, что препятствует возникновению паразитного газового разряда в объеме индуктора во всем диапазоне ВЧ-мощностей, прикладываемых к индуктору и используемых для генерации плазмы в технологическом объеме.
Генерация низкотемпературной сильно-ионизованной плазмы низкого давления для обработки полупроводниковых пластин большого диаметра до 600 мм
Владимир
Лукичев
Федорович
Директор ФТИАН им. К.А. Валиева РАН
Доктор физико-математических наук
Член-корреспондент РАН
R-6429-2016
6603602322
35827
https://www.ftian.ru
0000-0003-3282-8374
РОССИЯ
Владимир
Лукичев
Федорович
Директор
РОССИЯ
29.27.51
Применение плазмы
01.03.UF
PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
Владимир
Лукичев
Федорович
РОССИЯ
Константин
Руденко
Васильевич
РОССИЯ
Сергей
Аверкин
Николаевич
РОССИЯ
Андрей
Мяконьких
Валерьевич
РОССИЯ
Юрий
Семин
Федорович
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФТИАН им. К.А.Валиева РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А.Валиева Российской академии наук
1037739352155
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения