Устройство и способ для прецизионного переноса слоев атомарно тонких материалов любой площади на планарные подложки
ПРЕЦИЗИОННОЕ МАНИПУЛИРОВАНИЕ, ПЕРЕНОС СЛОЕВ АТОМАРНО ТОНКИХ МАТЕРИАЛОВ, ВАН-ДЕР-ВААЛЬСОВЫЕ ГЕТЕРОСТРУКТУРЫ
Изобретение относится к области прецизионного манипулирования и может быть использовано для переноса слоев атомарно тонких материалов, таких как графен, на планарные подложки любого типа с достаточной адгезией, в том числе для создания Ван-дер-Ваальсовых гетероструктур и гибридных устройств с функциональным слоем из атомарно тонких материалов и Ван-дер-Ваальсовых гетероструктур. Решается задача расширения диапазона размеров слоев атомарно тонких материалов, переносимых на планарные подложки совместно с повышением точности взаимного позиционирования слоя и подложки и улучшением контролируемости процесса переноса путем регулирования направления движения фронта соприкосновения слоя и подложки.
Перенос слоев атомарно тонких материалов, таких как графен, на планарные подложки любого типа с достаточной адгезией.
Шелых И.А.
Главн. научн. сотр.
Васильев В. Н.
Ректор
29.31.21
Оптика твердых тел
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Татьяна
Иванова
Владимировна
20%
Екатерина
Хестанова
Андреевна
20%
Никита
Кулаченков
Константинович
20%
Дмитрий
Пермяков
Вадимович
20%
Иван
Синев
Сергеевич
20%
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
УНИВЕРСИТЕТ ИТМО; НИУ ИТМО; ИТМО
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИТМО"
1027806868154
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения