Программа автоматического управления технологическим процессом магнетронного распыления
Магнетронное распыление Многослойные тонкие пленки Автоматизация технологического процесса
Получение тонких многослойных пленок методом магнетронного распыления представляет собой сложный и длительный процесс. В процессе получения многослойных структур часто возникает необходимость в многочисленных повторяющихся операциях, что требует значительного количества времени и безошибочности оператора. Автоматизация этого процесса становится необходимостью в силу получение повторяемости структур и повышения эффективности.
Программа позволяет задать пользовательский алгоритм автоматической работы установки магнетронного распыления. Программа через промышленный протокол связи Modbus RTU связывается с устройствами, входящими в состав комплекса магнетронной установки, и корректирует их параметры на основании заданного алгоритма. После выполнения программой автоматического технологического процесса получаются тонкие многослойных структуры, отличающиеся высокой повторяемостью.
Получение многослойных тонких пленок методом магнетронного распыления в автоматизированном режиме.
Кирилл
Волков
Александрович
Исполнитель
Отсутствует
Отсутствует
-
-
РОССИЯ
Кирилл
Волков
Александрович
Исполнитель
РОССИЯ
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Кирилл
Волков
Александрович
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Кирилл
Волков
Александрович
Физическое лицо
РОССИЯ