Способ нанесения покрытий в вакууме на внутреннюю поверхность длинномерных цилиндрических изделий
цилиндрические аноды покрытия вакуумно-дуговой разряд плазменный поток ионно-плазменная технология
Изобретение относится к области вакуумных ионно-плазменных технологий и может быть использовано в машиностроении и электронике, например, для нанесения антидинатронного покрытия на цилиндрические аноды мощных генераторных ламп. Плазменный поток наносимого материала генерируют в результате возбуждения вакуумно-дугового разряда между расходуемым катодом 2 и анодом 1. Под действием магнитного поля катушки 5 катодные пятна с боковой поверхности катода 2 перемещаются на его торцевую поверхность. Плазменный поток под действием магнитного поля фокусирующей катушки 6 направляют внутрь цилиндрической полости 8 длинномерного изделия, расположенного в вакуумной камере 7. По оси цилиндрической полости 8 установлен барьер 9 в форме, например, диска, диаметр которого близок к внутреннему диаметру цилиндрической полости 8. Барьер 9 перемещают вдоль оси цилиндрической полости 8 от входа по направлению к её концу со скоростью, убывающей по мере движения в соответствии с формулой: Увеличенное изображение (открывается в отдельном окне) V(z) - скорость движения барьера внутри полости в точке с координатой z, м/с; z - координата точки по оси полости от входа к ее окончанию; V0 - скорость движения диска в начале полости, м/с; k - постоянная Больцмана, Дж⋅К-1; Te - температура электронной компоненты плазмы, К; Mi - масса иона, кг; Vpl - скорость однородного плазменного потока на входе в полость, м/с; r0 - радиус цилиндрической полости, м. Поток ионов наносимого материала конденсируется на внутренней поверхности полости 8. Обеспечивается высокая равномерность нанесения покрытий по всей длине длинномерного цилиндрического изделия при высокой производительности процесса. 2 ил. Увеличенное изображение (открывается в отдельном окне). Изображения в приложенном файле.
Изобретение относится к области вакуумных ионно-плазменных технологий и может быть использовано в машиностроении и электронике, например, для нанесения антидинатронного покрытия на цилиндрические аноды мощных генераторных ламп.
Александр
Фрейдин
Борисович
главный научный сотрудник
Доктор физико-математических наук
Старший научный сотрудник
N-2089-2015
7003934167
8031
https://ipme.ru/employers/37
0000-0003-2916-3375
РОССИЯ
Владимир
Полянский
Анатольевич
Директор
РОССИЯ
47.13.09
Технология и оборудование для производства электровакуумных и газоразрядных приборов
47.13.10
Технология и оборудование для производства изделий электронной техники СВЧ-диапазона
47.13.15
Технология и оборудование для монтажа и сборки радиоэлектронной аппаратуры
47.29.35
Электронные лампы
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Вячеслав
Кузнецов
Геннадьевич
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИПМАШ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ МАШИНОВЕДЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
1037800003560
ВЛАДИМИР
ПОЛЯНСКИЙ
АНАТОЛЬЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения