СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ НАНОПЛЕНОК ДИОКСИДА ТИТАНА, ЛЕГИРОВАННОГО МОЛИБДЕНОМ, С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ТЕХНОЛОГИИ АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ
атомно-слоевое осаждение диоксид титана легирование атомами молибдена нанопленки
Изобретение относится к технологии получения нанопленок диоксида титана, легированного молибденом, методом атомно-слоевого осаждения с использованием в качестве прекурсоров тетрахлорида титана, оксотетрахлорида молибдена и воды. Изобретение заключается в двухэтапном процессе, где на первом этапе производится подготовка поверхности к осаждению путем нанесения оксида алюминия толщиной 50 Å с использованием триметилалюминия и воды методом атомно-слоевого осаждения с целью создания большого количества гидроксильных групп на поверхности и обеспечения высокой адгезионной прочности нанопленки диоксида титана, легированного молибденом. На втором этапе происходит атомно-слоевое осаждение нанопленки диоксида титана, легированного молибденом, с использованием суперцикла, состоящего из субциклов «тетрахлорид титана-вода», повторяющегося один раз, и «оксотетрахлорид молибдена-вода», повторяющегося семь раз. Рост пленки осуществляется поэтапно за счет химических самоограничивающихся поверхностных реакций гидролиза хлоридных групп использованных реагентов. Изобретение обеспечивает преимущество воспроизводимости процесса, управления состава пленки за счет регулирования стехиометрии,  послойного контроля толщины получаемой пленки и исключает процессы паразитного легирования. Используемая технология атомно-слоевого осаждения обеспечивает высокую степень адгезии и конформности на подложках и поверхностях со сложной топографией.
Изобретение относится к технологии получения нанопленок диоксида титана, легированного молибденом, методом атомно-слоевого осаждения и может быть использовано для получения полупроводникового материала с улучшенными фотокаталитическими свойствами, имеющего перспективу применения в солнечной энергетике,  как фотокатализатор разложения воды, и органических загрязнителей, а также как антибактериальное нанопокрытие
Испаният
Максумова
Маликовна
студент
Отсутствует
Отсутствует
отсутствует
отсутствует
РОССИЯ
Испаният
Максумова
Маликовна
студент
РОССИЯ
31.15.19
Химия твердого тела
01.04.EI
CHEMISTRY, PHYSICAL
Абай
Максумова
Маликовна
РОССИЯ
Испаният
Максумова
Маликовна
РОССИЯ
Ильмутдин
Абдулагатов
Магомедович
РОССИЯ
Азиз
Абдулагатов
Ильмутдинович
РОССИЯ
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ"
1051633002915
ГАЛИНА
СИЗОВА
ТИМОФЕЕВНА
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Общества с ограниченной ответственностью
Испаният
Максумова
Маликовна
Физическое лицо
РОССИЯ
Абай
Максумова
Маликовна
Физическое лицо
РОССИЯ
Ильмутдин
Абдулагатов
Магомедович
Физическое лицо
РОССИЯ
Азиз
Абдулагатов
Ильмутдинович
Физическое лицо
РОССИЯ