Способ синтеза композитных покрытий TiN-Cu и устройство для его осуществления
вакуумно-дуговой и магнетронный разряды, ионное распыление, катодное испарение, синтез покрытий
Изобретение относится к технике нанесения покрытий путем проведения неравновесных сопряженных плазмохимических процессов, объединяющих испарение вакуумно-дуговым разрядом титана, магнетронное распыление меди и синтез нитрида титана в парах меди. Может быть использовано для упрочнения рабочих кромок режущего инструмента, нанесения сверхтвердых покрытий полифункционального назначения, в частности,  износо-, ударо-, тепло-, трещино- и коррозионностойких. Технический результат – повышение эффективности процесса благодаря оптимизации технологических параметров 
синтеза композитного покрытия TiN-Cu с термической стабильностью, механическими, трибологическими и теплофизическими свойствами, благодаря управляемого формированию наноструктурированной зеренной структуры. Способ включает синтез TiN при токе дугового разряда 60-90 А в парах  Cu, дозированно инжектируемых в зону синтеза из зоны парообразования Cu, распылением Cu магнетронным разрядом при токе 0,6-1 А, при этом пары меди выпускают через щелевое отверстие в стенке, разделяющей зоны парообразования Cu и синтеза TiN. Устройство содержит вакуумно-дуговой испаритель, планарный магнетрон, вакуумную камеру плазмохимического реактора, держатель подложек и систему напуска реакционного газа – азота. Плазмохимический реактор разделен стенкой-диафрагмой на два отсека: отсек синтеза  TiN и отсек парообразования Cu, в стенке-диафрагме выполнено щелевое отверстие соосное с осью симметрии магнетрона, планарный магнетрон и вакуумно-дуговой испаритель установлены: первый вертикально, второй горизонтально, на стенках плазмохимического реактора.
Изобретение относится к технике нанесения покрытий путем проведения неравновесных сопряженных плазмохимических процессов, объединяющих испарение вакуумно-дуговым разрядом титана, магнетронное распыление меди и синтез нитрида титана в парах меди. Может быть использовано для упрочнения рабочих кромок режущего инструмента, нанесения сверхтвердых покрытий полифункционального назначения, в частности, износо-, ударо-, тепло-, трещино- и коррозионностойких.
Александр
Семенов
Петрович
Главный научный сотрудник
Доктор технических наук
Профессор
J-6724-2018
57091131900
1700
http://ipms.bscnet.ru/labs/lfm.html
0000-0002-1817-3044
РОССИЯ
Андрей
Номоев
Валерьевич
Директор
РОССИЯ
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
29.27.43
Газовый разряд
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Дмитрий
Цыренов
Бадма-Доржиевич
Исследование газоразрядного устройства
РОССИЯ
Александр
Семенов
Петрович
Разработка газоразрядного устройства
РОССИЯ
Ирина
Семенова
Александровна
Синтез композитных покрытий TiN-Cu
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИФМ СО РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ФИЗИЧЕСКОГО МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЯ СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
1110327014203
АНДРЕЙ
НОМОЕВ
ВАЛЕРЬЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения