Разработка прозрачного электрода на основе структуры оксид/металл/оксид
Прозрачные проводящие электроды металлические пленки оксид/металл/оксид оптоэлектронные устройства магнетронное напыление
Изобретение относится к области технологических процессов, связанных с нанесением нанопленочных покрытий металлов и оксидов, в частности к магнетронному (реактивному) распылению. Может быть использовано для получения прозрачных проводящих композитных нанопленок на поверхности различных подложек при невысокой температуре.
Основным методом нанесения тонких нанопленок этих материалов на подложку было магнетронное распыление. Оксид индия был нанесен методом реактивного магнетронного напыления, что обеспечило высокую чистоту и структурную однородность пленок. Новизна заключается в дополнительной обработке слоя серебра ионами аргона на источнике ионного излучения.
Ионное облучение слоя серебра позволило уменьшить шероховатость поверхности, что привело к усилению эффекта просветления. 
Техническим результатом предлагаемого изобретения является снижение поверхностного сопротивления прозрачных проводящих покрытий и увеличение пропускания композитной структуры оксид/металл/оксид.
Электроника, оптоэлектроника, солнечная энергетика, наукоёмкое производство.
Сергей
Неделин
Викторович
Магистрант
Отсутствует
Отсутствует
-
57458735900
РОССИЯ
Сергей
Неделин
Викторович
Магистрант
РОССИЯ
29.31.26
Спектроскопические методы и методики
29.27.51
Применение плазмы
01.03.UF
PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
01.03.UP
PHYSICS, PARTICLES & FIELDS
02.05.QH
MATERIALS SCIENCE, COMPOSITES
Сергей
Неделин
Викторович
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Сергей
Неделин
Викторович
Физическое лицо
РОССИЯ