Глубокая очистка тетрахлорида кремния от примесей бензола методом химического преобразования примеси
глубокая очистка тетрахлорид кремния бензол
В результате газохроматографического анализа высокочистого тетрахлорида кремния производства "ХимПром" обнаружена примесь органического вещества с концентрацией на уровне сотен ppm, что в сотни раз превышает допустимый уровень. Идентификация примеси газохроматографическим методом позволила установить, что это примесь бензола. 
В результате изучения фазового равновесия жидкость – пар в системе тетрахлорид кремния – бензол установлено, что он лимитирует дистилляционную очистку тетрахлорида кремния, поскольку экспериментальный коэффициент разделения при температуре 20°С оказался равным 1,35. Полученное значение хорошо согласуется с литературными данными для системы тетрахлорид кремния – бензол, полученными при температуре кипения тетрахлорида кремния [1].
 Анализ литературных данных показал, что высокую эффективность глубокой очистки тетрахлорида кремния может обеспечить обработка его хлором [2], поэтому возможным вариантом удаления примеси бензола является химическое преобразование его в хлорбензол при воздействии хлора на хлорид кремния. Использование чистого хлора практически не влияет на электрофизические свойства кремния, полученного из тетрахлорида кремния, обработанного хлором. Кроме того, хлор легко отделяется от тетрахлорида кремния дистилляционными методами. Хлорирование бензола до хлорбензола позволит легко удалить его из тетрахлорида кремния, поскольку в результате экспериментального определения коэффициента разделения жидкость – пар в системе тетрахлорид кремния – хлорбензол установлено, что значение коэффициента разделения равно 10,7 и это обеспечит высокую эффективность очистки тетрахлорида кремния дистилляционными методами.

1.	Титов, А.А. Равновесие жидкость-пар разбавленных растворов серу- и углеродсодержащих примесей в тетрахлориде кремния и титана / А.А. Титов, Л.А. Нисельсон, Н.Р. Федоренко, Ю.М. Павлов // Журн. прикл. химии. – 1977. – Т. 50. – № 2. – С. 452-453.
2.	Патент 2017137284 (RU), от 25.10.2017 Чапыгин, А. М. Способ получения тетрахлорида кремния высокой чистоты / Гасанов, А. А., Апанасенко, В. В., Белозеров, А. В. Опубликовано: 14.11.2018 Бюл. № 32
Для получения высокочистого тетрахлорида кремния в опто- и микроэлектронике при получении высокочистого оптического кварца и полупроводникового кремния
Георгий
Мочалов
Михайлович
профессор
Доктор химических наук
Доцент
G-8446-2014
6603236670
175647
РОССИЯ
Андрей
Куркин
Александрович
Проректор по научной работе
РОССИЯ
31.15.25
Химическая термодинамика. Термохимия. Равновесия. Физико-химический анализ, фазовые переходы
02.04.II
ENGINEERING, CHEMICAL
Георгий
Мочалов
Михайлович
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГБОУ ВО "НИЖЕГОРОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. Р.Е. АЛЕКСЕЕВА",НГТУ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НИЖЕГОРОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. Р.Е. АЛЕКСЕЕВА"
1025203034537
СЕРГЕЙ
ДМИТРИЕВ
МИХАЙЛОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения