Топология интегральной схемы тестового кристалла для быстродействующих кремниевых полупроводниковых приборов и микросхем
кремниевая структура быстродействующая микросхема быстродействующий прибор тестовый кристалл
Тестовый кристалл предназначен для отработки технологических решений и аттестации конструкций кристаллов полупроводниковых приборов и микросхем на основе эпитаксиальных кремниевых структур с введенной примесью для повышения быстродействия (золото, платина, электроны, протоны и т.п.). 
Тестовый кристалл состоит из 6 групп тестовых ячеек. Группы имеют сквозную нумерацию от 1 до 6 и идентифицированы на всех слоях. Данный кристалл позволяет определить с помощью групп 1 и 2 поверхностные сопротивления слоев, сопротивление резисторов, с помощью групп 3 и 5  коэффициент усиления (h21Э)  латерального p-n-p транзистора который связан с концентрацией примеси повышающий быстродействие на поверхности кристалла, а помощью групп 4 и 6 коэффициент усиления (h21Э)  двух эмиттерного вертикального n-p-p транзистора который связан с концентрацией примеси  повышающий быстродействие в объеме кристалла токи утечки по ГОСТ 20398. Результаты замеров тестового кристалла позволяют анализировать технологический процесс и проводить оценку степени легирования примесью для повышения быстродействия. Группы 5 и 6 тестовых ячеек окружены замкнутыми областями подлегирования по которым оценивается их влияние на примеси для повышения быстродействия.
Кристалл изготовлен по биполярной технологии с проектными нормами 2 мкм.
Микроэлектроника.
Андрей
Демидов
Александрович
гнс
Доктор физико-математических наук
Доцент
B-8234-2012
7004500139
140403
0000-0002-8639-3575
РОССИЯ
Олег
Федонин
Николаевич
Ректор
РОССИЯ
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Николай
Брюхно
Александрович
0,2
РОССИЯ
Андрей
Гаврилин
Николаевич
0,2
РОССИЯ
Маргарита
Котова
Юрьевна
0,2
РОССИЯ
Алексей
Малаханов
Алексеевич
0,2
РОССИЯ
Александр
Чайкин
Александрович
0,2
РОССИЯ
ЗАО "Группа Кремний Эл"
Закрытое акционерное общество "Группа Кремний Эл"
1023202741781
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Непубличные акционерные общества
ФГБОУ ВО "БГТУ"
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Брянский государственный технический университет"
1023201058627
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения