Газочувствительный сенсор на основе углеродных наноструктур
УГЛЕРОДНЫЕ НАНОСТРУКТУРЫ, ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ, НАНОЭЛЕКТРОНИКА, НАНОТРУБКИ, ИОНИЗАЦИОННЫЕ ГАЗОВЫЕ СЕНСОРЫ
Газочувствительный сенсор на основе углеродных наноструктур состоит из полупроводниковой подложки, со сформированным на ней контактным слоем, выполненным из проводящего материала, обеспечивающего контакт к аноду, выполеннного из полупроводникового материала. Газочувствительный сенсор содержит опоры, выполненные из диэлектрического материала, обеспечивающие зазор между анодом и катодом и создающие каналы для циркуляции газа, на верхней крышке формируется катод, выполненный из проводящего материала, а часть верхнего контактного слоя преобразована в виде столбчатой стуктуры. Технический результат состоит в создании высокоэффективного датчика, за счет увеличения показателей чувствительности по отношению к газам и парам жидкостей.
При производстве сенсоров на основе полупроводниковых технологий микро- и наноэлектроники, предназначенных для определения и измерения параметров паров жидкостей и газов в воздушной среде.
Климин В.С.
доцент
Кандидат технических наук
Метелица А.В.
и.о. проректора по научной и исследовательской деятельности
29.27.51
Применение плазмы
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
02.02.00
Electrical eng, electronic eng
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Виктор
Климин
Сергеевич
Постановка задачи, разработка технологической схемы изобретения.
Алексей
Резван
Анатольевич
Составление описания заявки на изобретение.
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
Южный федеральный университет,  ФГАОУ ВО "ЮФУ"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
1026103165241
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью