Способ изготовления контактов к тонким трёхмерным чешуйкам слоистых кристаллов
черный фосфор контакт металл-полупроводник слоистые кристаллы
Способ изготовления контактов к тонким трёхмерным  чешуйкам слоистых кристаллов предназначен для применения в электронике  для изготовления электронных компонентов с использованием чешуек слоистых монокристаллов. Данный способ реализован на основе использования матрицы предварительно сформированных на поверхности оксидированного кремния контактных дорожек, размещения на поверхности  контактов  чешуйки слоистого кристалла и фиксации путём однократного прижима. Данный способ подходит для чешуек толщиной от 100 нм до 1 мкм, когда невозможна фиксация кристалла на подложке ван-дер-ваальсовыми силами и нанесение контактов методом напыления на верхнюю поверхность кристалла, а использование металлического контакта с постоянным прижимом нежелательно.
Способ изготовления контактов к тонким трёхмерным  чешуйкам слоистых кристаллов предназначен для применения в электронике  для изготовления электронных компонентов с использованием чешуек слоистых монокристаллов.
Эдуард
Девятов
Валентинович
зам. директора
Доктор физико-математических наук
Доцент
J-3703-2013
66022449181
РОССИЯ
Александр
Левченко
Алексеевич
директор
РОССИЯ
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Варнава
Есин
Денисович
исполнитель
РОССИЯ
Эдуард
Девятов
Валентинович
руководитель
РОССИЯ
Надежда
Орлова
Николаевна
исполнитель
РОССИЯ
Олег
Швецов
Олегович
исполнитель
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИФТТ РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики твердого тела Российской академии наук
1025003915243
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения