Программа полуавтоматической разбраковки кристаллов чувствительного элемента датчика потока газов
МЭМС-сенсор расходомер датчик потока газов
Программа предназначена для осуществления полуавтоматического процесса разбраковки изготовленных на кремниевой пластине кристаллов чувствительного элемента датчика потока газов, работающего на анемометрическом или калориметрическом методе с использованием чувствительных терморезисторов. Структура программы включает в себя два сегмента: подпрограмма вызова и функционирования графического интерфейса, которая была разработана с использованием фреймворка Qt 5 и низкоуровневая подпрограмма проведения измерений с использованием микроконтроллера STM32L152. Процесс полуавтоматической разбраковки кристаллов чувствительного элемента датчика потока газов заключается в последовательном измерении номиналов сопротивления термочувствительных резисторов каждого кристалла на пластине c применением зондовой станции (например, Cascade Microtech PM5 для полупроводниковых пластин диаметром до 150 мм) с ручным вводом номера измеряемого кристалла в графическом интерфейсе программы. Программа позволяет строить карту разбраковки пластин с цветоградиентной индикацией величины смещения номиналов сопротивлений термочувствительных резисторов исследуемых кристаллов. При незначительной доработке программа может быть использована с любым микроконтроллером из семейства STM32.
Программа предназначена для осуществления полуавтоматического процесса разбраковки изготовленных на кремниевой пластине кристаллов чувствительного элемента датчика потока газов, работающего на анемометрическом или калориметрическом методе с использованием чувствительных терморезисторов.
47.33.37
Приборы функциональной микроэлектроники
Илья
Евсиков
Дмитриевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
РОССИЯ
Геннадий
Орешкин
Иванович
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"нет"
"нет"
"нет"
РОССИЯ
Валерий
Денисов
Евгеньевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО «Фотис»
Общество с ограниченной ответственностью «Фотис»
1174027005261
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью