Технология формирования пористого кремния
Мембранные технологии Пористый кремний Кремниевая технология Анодное травление Полупроницаемые мембраны
Настоящее изобретение относится к мембранной технологии, а именно к способам травления монокристаллического кремния для получения пористых мембран различных свойств. Предложен способ формирования полупроницаемой пористой кремниевой мембраны, включающий в себя глубокое анодное травление монокристаллических пластин кремния в растворе плавиковой кислоты и изопропилового спирта в соотношении 6:1 при добавлении смачивателя СТАК (цетилтриметиламмония хлорид) при комнатной температуре 25 градусов. Травление осуществляется в режиме плотности тока от 5 мА/см2 до 20 мА/см2 от 60 минут до 800 минут в зависимости от необходимой пористости структуры. Техническим результатом полезной модели является формирование мембран с вариативно-градиентной морфологией пор, что обеспечивает увеличение механической прочности и устойчивости к водным растворам со значениями pH от 6 до 8.
Биомедицина, водородная энергетика
Екатерина
Гостева
Александровна
Доцент
Кандидат физико-математических наук
Доцент
-
-
РОССИЯ
Карина
Рубцова
Игоревна
Руководитель проекта
РОССИЯ
61.31.47
Кремний и его соединения
61.13.19
Диффузионные процессы. Мембранные процессы
02.04.II
ENGINEERING, CHEMICAL
02.05.PM
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
Карина
Рубцова
Игоревна
Формирование опытных образцов, исследование пористых структур, проведение экспериментов
РОССИЯ
Мария
Силина
Дмитриевна
Испытание образцов, исследование пористой структуры, проведение экспериментов по механической стойкости
РОССИЯ
Виталий
Старков
Васильевич
Научная консультация, электрохимическое травление, формирование мембран, организация экспериментальной деятельности
РОССИЯ
Екатерина
Гостева
Александровна
Организация научной деятельности, научные консультации, электрохимическое травление, формирование мембран
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Карина
Рубцова
Игоревна
Физическое лицо
РОССИЯ
Мария
Силина
Дмитриевна
Физическое лицо
РОССИЯ