Способ получения пористой структуры на поверхности монокристаллического германия
Микроструктура Монокристалл Германий Термическое травление Температурный градиент
Изобретение относится к области материаловедения, связанного с технологиями, направленными на создание пористых микро- и наноструктур на поверхности полупроводниковых материалов, а именно изготовления пористой микроструктуры на поверхности монокристаллов германия, которая может быть использована при разработке электродов для аккумуляторных литиевых батарей, полупроводниковых слоев в приборах и интегральных схемах, в фотопреобразователях 
	В основу изобретения поставлена задача получения пористой микроструктуры путем термического травления при температурном градиенте. 
Способ получения пористой структуры на поверхности монокристаллического германия включает подготовку пластины (резку, шлифовку, полировку), термическое травление в условиях низкого вакуума (10-5 Па) в течение 20 часов при температурном градиенте 20С/cм, что способствует удалению GeO с поверхности образца. 
	Применение данного способа позволяет получать пористые поверхности на кристаллах германия, перспективные в области фотоники и фотопреобразователях.
	Исследования выполнены при поддержке Минобрнауки РФ в рамках выполнения государственного задания в сфере научной деятельности (проект № 0817-2023-0006).
Создание полупроводниковых слоев в приборах и интегральных схемах
Фотопреобразователи
Фотоника
Самсонов В.М.
профессор кафедры общей физики
Доктор физико-математических наук
Сергей
Смирнов
Николаевич
Врио ректора
РОССИЯ
29.19.04
Структура твердых тел
29.31.21
Оптика твердых тел
29.19.31
Полупроводники
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
02.05.QF
MATERIALS SCIENCE, CHARACTERIZATION & TESTING
Сергей
Третьяков
Андреевич
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
РОССИЯ
Александра
Иванова
Ивановна
"Кандидат физико-математических наук"
"Доцент"
"X-1725-2018"
"36720663600"
"130154"
"-"
РОССИЯ
Иван
Каплунов
Александрович
"Доктор технических наук"
"Профессор"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ТвГУ
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Тверской государственный университет"
1026900577109
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения