Инструмент симуляции двумерных неровностей краёв структур, сформированных посредством фотолитографии LERSim
Фотоника Шероховатость Микроэлектроника Потери
Программа предназначена для симуляции двумерных неровностей краёв структур, сформированных посредством фотолитографии. Неровность краёв микроэлектронных структур играет ключевую роль в целом ряде областей, таких, как фотоника и микроэлектроника. Так в устройствах фотоники неровность краёв является определяющим фактором для величин оптических потерь и тепловыделения. В устройствах микроэлектроники неровность краёв наноразмерных структур снижает предсказуемость параметров интегральных схем. Описываемое программное средство имеет функционал по высокоэффективной симуляции неровности краёв микро- и наноструктур на основе данных, используемых для отработки технологии их изготовления. С помощью описываемого программного средства можно получать двумерные (топологические) изображения микро- и наноструктур, которые далее можно использовать для моделирования характеристик работы фотонных и микроэлектронных устройств.
Оптимизация технологического процесса формирования пассивных элементов фотонных интегральных схем
Илья
Скуратов
Дмитриевич
Руководитель
Отсутствует
Отсутствует
-
-
РОССИЯ
Илья
Скуратов
Дмитриевич
Руководитель
РОССИЯ
47.33.31
Интегральные микросхемы
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Илья
Скуратов
Дмитриевич
РОССИЯ
Евгений
Шамин
Сергеевич
РОССИЯ
Андрей
Шарапов
Анатольевич
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Илья
Скуратов
Дмитриевич
Физическое лицо
РОССИЯ
Евгений
Шамин
Сергеевич
Физическое лицо
РОССИЯ
Андрей
Шарапов
Анатольевич
Физическое лицо
РОССИЯ