Установка для вакуум-термического нанесения металлических слоев на низкотемпературные подложки
сублимация металлов вакуумная установка металлические слои тонкие пленки термическое напыление
Настоящая полезная модель относится к области тонкопленочной технологии и предназначена для нанесения металлических слоев на термически нестабильные материалы.
Полезная модель обеспечивает возможность напыления металлических слоев с исключением перегрева подложки, что имеет принципиальное значение для термически нестабильных подложек. Техническим  результатом полезной модели является возможность перемещения подложки  над  сублимирующим источником в течение достаточно короткого времени, тем самым предупреждая их перегрев. 
Технический результат достигается за счет того, что установка для вакуум-термического нанесения металлических слоев на низкотемпературные  подложки, содержащая вакуумную камеру, выполненную из кварцевой трубы снабженной  крышкой с резиновым кольцом и установленную на стальной опорной плите через уплотнительное резиновое кольцо, на опорной плите размещены четыре опорные стойки с закрепленным на них испарителем с сублимирующим источником внутри него и подложкой, причем D >> l, где: D – линейные размеры сублимирующего источника и подложки, а l – расстояние между ними, причем в крышке вакуумной камеры закреплен шток с помощью вакуумного уплотнения, с возможностью вращения и вертикального перемещения, на нижнем конце штока закреплен подложкодержатель, выполненный из графита в виде диска, по периферийной части которого по кругу размещены окна, выполненные с выступами для размещения в них подложек, испаритель содержит сублимирующий источник,  выполненный в виде зигзагообразной пластины из испаряемого металла  размещенный на молибденовой пластине через керамические прокладки, корпус испарителя выполнен из молибдена и снабжен юстировочными винтами.
Полупроводниковая промышленность
Сергей
Логанчук
Михайлович
-
Отсутствует
Отсутствует
AAC-6916-2021
57205662065
0000-0001-6430-882X
РОССИЯ
Сергей
Логанчук
Михайлович
-
РОССИЯ
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
29.19.31
Полупроводники
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Сергей
Логанчук
Михайлович
Проектирование и сборка установки для вакуум-термического напыления. Проведение экспериментов по нанесению металлов на стеклянные подложки
РОССИЯ
Виктор
Попов
Павлович
Научная консультация по вопросам сублимации материала на подложки
РОССИЯ
Борис
Середин
Михайлович
Проектирование установки для вакуум-термического напыления. Оптимизация процессов испарения металлов на подложки
РОССИЯ
Алексей
Яценко
Николаевич
Проектирование и конструирование установки для вакуум-термического напыления. Подбор металлов для сублимации. Анализ результатов эксперимента по сублимации металлов на стеклянные подложки.
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
"ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ \"ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ\""
"ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ"
Международная организация
РОССИЯ
Сергей
Логанчук
Михайлович
Физическое лицо
РОССИЯ