Отчет о научно-исследовательской и опытно-конструкторской работе Разработка инновационных методов синтеза монокристаллических алмазных полупроводниковых материалов и гетероструктур изолятор-полупроводник-проводник. Этап 2021 года
Тестирование структурного качества синтезированных кристаллов, испытание детекторов с использованием источников ионизирующих излучений, разработка и реализация системы газоснабжения для установки синтеза CVD материала, легированного бором (заключительный) Этап 2
СПЕКТРОСКОПИЯ КОМБИНАЦИОННОГО РАССЕЯНИЯ ИК СПЕКТРОСКОПИЯ СИНТЕТИЧЕСКИЙ АЛМАЗ РЕЖИМЫ ХИМИЧЕСКОЙ И ТЕРМИЧЕСКОЙ ОБРАБОТКИ АЛМАЗОВ РЕЖИМЫ СИНТЕЗА ЛАЗЕРНЫЙ РАСКРОЙ АЛМАЗА ГОМОЭПИТАКСИАЛЬНЫЙ РОСТ АЛМАЗА
Объектом исследования являются: CVD алмазные монокристаллы; алмазные детекторы ионизирующих излучений.
Цель работы – тестирование структурного качества синтезированных алмазных монокристаллов, испытание детекторов с использованием источников ионизирующих излучений, разработка и реализация системы газоснабжения для установки синтеза CVD материала, легированного бором.
В процессе работы были выполнены следующие работы:
- разработан эскизный проект участка сборки электронных модулей для детекторов ионизирующих излучений;
- проведено испытание детекторов на основе синтезированных алмазных монокристаллов с использованием источников ионизирующего излучения;
- проведено тестирование структурного качества синтезированных кристаллов;
- проведено исследование кристаллического структурного совершенства синтезированных кристаллов, анализ образования неалмазных форм в кристаллах;
- проведено тестирование комплекса фотолитографии для изготовления структур на алмазных кристаллах;
- разработана и реализована системы газоснабжения для установки синтеза CVD материала, легированного бором.
Отчет является заключительным, по второму этапу государственного контракта № Н.4х.241.09.21.1110 от 29.04.2021.
Результаты работы имеют практическую значимость для синтеза монокристаллических алмазных полупроводниковых материалов и гетероструктур изолятор-полупроводник-проводник.
Николай
Полушин
Иванович
Зав. НИЛ СТМ
Кандидат технических наук
Доцент
2497325
6603878820
611729
https://misis.ru/science/community/scientists/3764/
нет
РОССИЯ
Елена
Босова
Владимировна
Главный специалист ОПКиАНД по доверенности №29-312 от 03.02.2021
РОССИЯ
61.69.37
Монокристаллы и сцинтилляторы
61.13.21
Химические процессы
01.03.UF
PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
02.03.RY
NUCLEAR SCIENCE & TECHNOLOGY
02.04.II
ENGINEERING, CHEMICAL
Николай
Полушин
Иванович
введение, раздел 6, заключение
РОССИЯ
Сергей
Диденко
Иванович
введение, разделы 1-2, 5
РОССИЯ
Александр
Лаптев
Иванович
введение, раздел 3, заключение
РОССИЯ
Сергей
Тарелкин
Александрович
разделы 3-4
РОССИЯ
Николай
Корнилов
Владимирович
разделы 1-2
РОССИЯ
Сергей
Терентьев
Александрович
разделы 1-2
РОССИЯ
ГОСКОРПОРАЦИЯ "РОСАТОМ"
ГОСУДАРСТВЕННАЯ КОРПОРАЦИЯ ПО АТОМНОЙ ЭНЕРГИИ "РОСАТОМ"
1077799032926
Организация
Государственная корпорация по атомной энергии "Росатом"
Государственные корпорации
МИСиС, НИТУ "МИСиС"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
1027739439749
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения