Технология изготовления кристалла оптического мультиплексора К1684ИП1
Интегральная фотоника, Мультиплексор, волноводы, верхний и нижний кладдинг, функциональный слой, кремний, проекционная фотолитография, плазмохимическое травление, термодиффузионное окисление, плазмохимическое осаждение, термический отжиг
Разработана технология изготовления оптического волноводного мультиплексора/демультиплексора, в основе которой лежат основные технологические процессы кристального производства на основе КМОП-технологии. Изготовление кристалла оптического мультиплексора/демультиплексора состоит из четырёх этапов:
1.	Формирование нижнего кладдинга методом термодиффузионного окисления кремниевой подложки в парах H2O;
2.	Формирование волноводного слоя, включающего в себя плазмохимическое осаждение из газовой фазы плёнки оксинитрида кремния, формирование фоторезистивной маски методом проекционной литографии, плазмохимическое травление оксинитрида кремния и высокотемпературный отжиг сформированных волноводных структур;
3.	Формирование верхнего кладдинга, идентичного по своим оптическим свойствам нижнему кладдингу, включающее в себя плазмохимическое осаждение из газовой фазы плёнки БФСС с последующим высокотемпературным отжигом;
4.	Резка кремниевых пластин со сформированной топологией на стрипы с последующей лазерной резкой на кристаллы по скрайберным дорожкам.
Телекоммуникации
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
47.13.13
Технология и оборудование для производства радиодеталей и компонентов
Виктор
Абросимов
Юрьевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
РОССИЯ
Алексей
Терентьев
Васильевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
РОССИЯ
Ярослав
Митрофанов
Юрьевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
РОССИЯ
МИНПРОМТОРГ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1047796323123
ДЕНИС
МАНТУРОВ
ВАЛЕНТИНОВИЧ
Организация
Министерство промышленности и торговли Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
АО "ЗНТЦ"
Акционерное общество "Зеленоградский нанотехнологический центр"
1107746582052
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Непубличные акционерные общества