Способ реализации устройства для проведения в режиме реального времени синхротронных исследований процессов синтеза покрытий вакуумно-дуговым плазменно-ассистированным напылением
ТОНКИЕ ПЛЁНКИ ВАКУУМНО-ДУГОВОЕ НАПЫЛЕНИЕ СИНХРОТРОННОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ РФА АНАЛИЗ ПЛАЗМЕННОЕ АССИСТИРОВАНИ ВАКУУМНАЯ КАМЕРА
Изобретение относится к области использования синхротронного излучения для анализа в режиме реального времени фазового состава, параметров микроструктуры, внутренних напряжений в покрытиях на поверхности металлов, напыляемых вакуумными электронно-плазменными методами, и может быть использовано для синтеза этими методами повышенной толщины (~мкм) жаростойких, коррозионностойких многослойных покрытий, состоящих из чередующихся твердых, сверхтвердых нитридных и оксидных слоев для авиакосмической, атомной и машиностроительной промышленности, и других отраслей. Способ реализации устройства для проведения в режиме реального времени синхротронных исследований процессов синтеза покрытий вакуумно-дуговым плазменно-ассистированным напылением достигается тем, что в известном способе синтеза многослойных оксидно-нитридных покрытий на материалах и изделиях с использованием синхротронного излучения, в вакуумной камере в зоне напыления размещают контрольный образец для получения дифрактограммы покрытия, осуществляют последовательное напыление вакуумным ионно-плазменным методом чередующихся
оксидных и нитридных слоев покрытия, выполняют периодическую съёмку рентгенограмм покрытия на контрольном образце в процессе синтеза покрытия посредством синхротронного излучения. Согласно изобретению, одновременно с контрольным образцом в зоне напыления размещают обрабатываемые изделия для нанесения тождественного покрытия, а съёмку рентгенограмм осуществляют на контрольном образце синхротронным излучением с энергией фотонов (1÷ 40) кэВ и интенсивностью более 0,5∙108 фот/(сек·мрад2), по полученным рентгенограммам периодически в процессе синтеза каждого слоя покрытия
контролируют путем определения в нем величины и знака макронапряжения до момента достижения значения макронапряжения равного по модулю не более 5∙103 МПа, после чего производят переход к синтезу последующего слоя с макронапряжением такой же величины, но противоположного по знаку, в результате обеспечивая минимальную суммарную величину макронапряжений многослойного покрытия и доводя толщину покрытия до заданного значения без его разрушения и отслаивания.
Синтез вакуумными электронно-ионно-плазменными методами жаростойких, коррозионностойких многослойных покрытий повышенной толщины (~мкм), состоящих из чередующихся твердых, сверхтвердых нитридных и оксидных слоев для авиакосмической, атомной и машиностроительной промышленности, и других отраслей.
29.19.15
Фазовые равновесия и фазовые переходы
29.19.19
Методы исследования кристаллической структуры и динамики решетки
29.27.43
Газовый разряд
59.45.39
Приборы для неразрушающего контроля изделий и материалов радиационным методом
Михаил
Савчук
Викторович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"ABF-7385-2020"
""
"1091923"
"0000-0001-9648-8861"
КАЗАХСТАН
Данил
Игнатов
Юрьевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"U-5316-2018"
"57200827060"
"973388"
"-"
РОССИЯ
Александр
Шмаков
Николаевич
"Доктор физико-математических наук"
"Отсутствует"
"A-7347-2014"
"57188755875"
"0000-0001-9079-1843"
РОССИЯ
Николай
Ратахин
Александрович
"Доктор физико-математических наук"
"Академик"
"M-5241-2015"
"6602191236"
"18770"
"https://hcei.tsc.ru/ru/institute/structura/direct.html"
РОССИЯ
Юлия
Денисова
Александровна
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"A-8990-2014"
"56891377300"
"162075"
"0000-0002-3069-1434"
РОССИЯ
Артем
Егоров
Олегович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"57222059902"
"1174863"
РОССИЯ
Антон
Тересов
Дмитриевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"K-8189-2017"
"26655130400"
"602674"
"0000-0002-5363-0108"
РОССИЯ
Максим
Сыртанов
Сергеевич
"Кандидат химических наук"
"Отсутствует"
"J-9788-2013"
"12244352000"
"116312"
"https://staff.tpu.ru/personal/employee?lid=167532"
"0000-0002-5432-2238"
РОССИЯ
Сергей
Ковальский
Сергеевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"F-3533-2017"
"55323189500"
"731529"
"0000-0002-0811-2299"
РОССИЯ
Владислав
Яковлев
Викторович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"57197688578"
"747065"
РОССИЯ
Николай
Коваль
Николаевич
"Доктор технических наук"
"Отсутствует"
"H-6877-2016"
"7003309319"
"102803"
"-"
РОССИЯ
Владимир
Денисов
Викторович
"Кандидат технических наук"
"Отсутствует"
"E-7276-2014"
"55598586100"
"745667"
"0000-0002-5446-2337"
РОССИЯ
Денис
Мищенко
Давыдович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"AAY-3465-2021"
"57293037200"
"-"
"0000-0001-8822-5148"
РОССИЯ
Александр
Селютин
Геннадьевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"А-8145-2014"
"55227598600"
"0000-0002-7862-8899"
РОССИЯ
Захар
Винокуров
Сергеевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"A-7741-2014"
"55657565200"
"0000-0002-2737-098X"
РОССИЯ
Андрей
Леонов
Андреевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"T-3010-2018"
"57200301634"
"923345"
"-"
РОССИЯ
Евгений
Островерхов
Владимирович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"U-758-2018"
"57199226909"
"992866"
"-"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИСЭ СО РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук
1027000871666
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения