Топология герметичного кристалла c микросхемой управления стойкой к синхротронному излучению
синхротронное излучение полупроводники кремниевая технология герметизация
Функцией интегральной микросхемы с регистрируемой топологией является формирование и поддержание герметичной микросборки. Топология ИМС разработана по КМОП технологии с проектными нормами 10 мкм. Площадь единичного кристалла составляет 7440×7440 мкм2. Кристалл герметичной микросборки состоит из основы в виде кремниевой подложки, геттерных слоёв для поддержания уровня вакуума, областей перфорации для разделения пластины на кристаллы и медной микросхемы управления. Рамка герметизации представляет собой выступ в виде замкнутого контура квадратной формы. Форма выемки совпадает с формой выступа. Микросхема управления цилиндрической формы активирует в необходимый момент времени геттеры для удаления газов.
Область применения кристалла герметичной микросборки – различные преобразователи физических величин: датчик давления, датчик температуры, акселерометр, гироскоп.
Владимир
Беспалов
Александрович
Ректор
Доктор технических наук
Профессор
P-6799-2015
57196985488
44925
-
РОССИЯ
Сергей
Гаврилов
Александрович
Проректор
РОССИЯ
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Николай
Дюжев
Алексеевич
РОССИЯ
Евгений
Гусев
Эдуардович
РОССИЯ
Михаил
Фомичёв
Юрьевич
РОССИЯ
Павел
Иванин
Сергеевич
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИЭТ"; НИУ МИЭТ;МИЭТ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
1027739615584
ВЛАДИМИР
БЕСПАЛОВ
АЛЕКСАНДРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения