Устройство контроля, регулирования и стабилизации температуры подложки в процессе плазмохимического осаждения алмазных покрытий
плазмохимическое осаждение, алмазная пленка, температура, оптический пирометр, СВЧ плазма.
Разработан  принцип контролируемого плазмохимического синтеза алмазных кристаллов и пленок,  для применений в детекторах ионизирующего излучения, электронике, фотонике и получения сверхтвердых покрытий на твердосплавном инструменте.. Обеспечивается возможность удаленного управления процессом осаждения, практически с начала пуска и до завершения процесса роста. Контроль точности температуры подложки по обратной связи с оптическим пирометром не превышает +/-5 градусов.
Ядерные технологии-создание детекторов ионизирующего излучения, электроника-мощные диоды на теплоотводящих алмазных подложках, фотоника-терагерцовая оптика, , машиностроение-сверхтвердый инструмент для обработки сверхупругих композиционных материалов..
Конов В.И.
Руководитель ЦЕНИ ИОФ РАН
Доктор физико-математических наук
Гарнов С. В.
Директор
29.03.85
Автоматизация физического эксперимента с применением ЭВМ
01.04.EI
CHEMISTRY, PHYSICAL
Артем
Мартьянов
Константинович
Предложил стабилизировать температуру подложки при переходе от роста микрокристаллического алмазного слоя к нано кристаллическому в процессе получения мультислойного сверхтвердого покрытия
Виктор
Ральченко
Григорьевич
Предложил использовать одновременно с регулированием температуры подложки ступенчатое изменение состава газовой смеси при получении тонких пленок  на кремниевой подложке
Андрей
Большаков
Петрович
Предложил минимизировать перегрев подложки при групповой высокоскоростной гомо эпитаксии кристаллов алмаза и высоких давлениях газовой смеси  без изменения режимов роста
Виталий
Конов
Иванович
Предложил управление температурой подложки за счет  изменения ее расположения  из нижней области резонатора  в верхнюю запредельную область.
Станислав
Рыжков
Геннадиевич
Предложил точность  установки  контроля температуры подложки обеспечивать  с помощью программируемого пропорционального - интегрального - дифференциального регулирования по обратной связи с ИК пирометром
Евгений
Ашкинази
Евсеевич
Предложил  стабилизировать температуру подложки при изменении состава газовой смеси с помощью изменения положения подложки расположенной в запредельном пространстве резонатора
ЦЕНИ ИОФ РАН
Центр естественно-научных исследований Института общей физики им.А.М.Прохорова Российской академии наук (Статус государственного учреждения)
1027700378254
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Учреждения
ИОФ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "ИНСТИТУТ ОБЩЕЙ ФИЗИКИ ИМ. А.М. ПРОХОРОВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
1027700378595
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения