ГАЗОАНАЛИТИЧЕСКИЙ МУЛЬТИСЕНСОРНЫЙ ЧИП НА ОСНОВЕ ZNO И СПОСОБ ЕГО ИЗГОТОВЛЕНИЯ НА ОСНОВЕ ЗОЛЬ-ГЕЛЬ ТЕХНОЛОГИИ
газоаналитический мультисенсорный чип оксид цинка золь-гель технология фотоотжиг сенсорный отклик
Изобретение относится к области сенсорной техники и нанотехнологий, в частности к разработке мультисенсорных линеек хеморезистивного типа, используемых для селективного детектирования газов. Способ изготовления газоаналитического мультисенсорного чипа на основе оксида цинка с иерархической структурой включает формирование на фронтальной стороне диэлектрической подложки набора компланарных полосковых электродов из благородного металла, наноструктурированного слоя оксида цинка, тонкопленочных терморезисторов и нагревателей. Способ отличается тем, чтослой оксида цинка с иерархической структурой формируют в рамках золь-гель технологии в три этапа: на первом этапе (1) готовят пленкообразующий золь оксида цинка, который созревает в течение 24 ч, на втором этапе (2) пленкообразующий золь в виде микрокапли наносят на фронтальную сторону подложки и осуществляют ее сушку при температуре 90°С в течение 60 мин, на третьем этапе (3) проводят операцию термического отжига при температуре 550°С в течение 30 мин или операцию комбинированного низкотемпературного отжига при температуре 160°С и УФ-фотоотжига в течение 90 мин. Изобретение позволяет изготовить с низкой себестоимостью газоаналитический мультисенсорный чип, функционирующий эффективно при температуре 300°С, способный селективно детектировать органические пары. 9 ил., 1 пр.
Настоящее изобретение относится к области сенсорной техники и нанотехнологий, в частности, к способам изготовления газоаналитических мультисенсорных линеек хеморезистивного типа.
Игорь
Пронин
Александрович
заведующий кафедрой НиМЭ
Доктор технических наук
Доцент
AAN-6616-2020
55899064900
РОССИЯ
Александр
Гуляков
Дмитриевич
Ректор
РОССИЯ
47.09.48
Наноматериалы для электроники
02.04.II
ENGINEERING, CHEMICAL
Игорь
Пронин
Александрович
РОССИЯ
ФГБОУ ВО "ПГУ", ПЕНЗЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ, ФГБОУ ВО "ПЕНЗЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ПЕНЗЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1025801440620
АЛЕКСАНДР
ГУЛЯКОВ
ДМИТРИЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ФГБОУ ВО "ПГУ", ПЕНЗЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ, ФГБОУ ВО "ПЕНЗЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ПЕНЗЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1025801440620
АЛЕКСАНДР
ГУЛЯКОВ
ДМИТРИЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения