Плазмохимический реактор низкого давления, обеспечивающий плазму высокой плотностидля осуществления процесса в виде травления и осаждения
плазма высокой плотности для процессов в виде травления и осаждения плазмохимический реактор низкого давления
Сущность изобретения заключается в том, что в плазмохимическом реакторе низкого давления, обеспечивающим плазму высокой плотности для осуществления процесса в виде травления или осаждения, содержащим рабочую камеру и сопряженный с ней модуль формирования плазмы, при этом в рабочей камере напротив модуля формирования плазмы расположен подложкодержатель с обрабатываемой пластиной, соединенный с ВЧ генератором и сопряженный со стабилизатором температуры, внутри рабочей камеры пространственно отдаленно на расстояние 3-10 мм от ее боковой стенки на клиньях установлено диэлектрическое кольцо, на внешней стороне которого сформирован проводящий металлический элемент, соединенный с источником постоянного напряжения, при этом проводящий металлический элемент диэлектрического кольца и подводящие к нему постоянное напряжение провода, электрически изолированы от плазмы и заземленных поверхностей рабочей камеры.
Изобретение относится к области технологий микроэлектроники и нанотехнологий, а именно: к конструкции плазмохимического реактора, в котором производятся плазмохимические процессы травления и осаждения функциональных слоев различных материалов, и может быть использовано в производстве интегральных микросхем и других микроэлектронных приборов. Изобретение относится к плазмохимическому реактору низкого давления, обеспечивающему плазму высокой плотности, для осуществления процесса в виде травления или осаждения
Вадим
Одиноков
Васильевич
Заместитель генерального директора по науке
Доктор технических наук
Профессор
-
-
РОССИЯ
Михаил
Бирюков
Георгиевич
Генеральный директор
РОССИЯ
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Валерий
Киреев
Юрьевич
РОССИЯ
Артем
Осипов
Арменакович
РОССИЯ
Денис
Костюков
Андреевич
РОССИЯ
Вадим
Одиноков
Васильевич
РОССИЯ
Александр
Шубников
Валерьевич
РОССИЯ
Светлана
Щуренкова
Александровна
РОССИЯ
Сергей
Александров
Евгеньевич
РОССИЯ
МИНПРОМТОРГ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1047796323123
ДЕНИС
МАНТУРОВ
ВАЛЕНТИНОВИЧ
Организация
Министерство промышленности и торговли Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
АО НИИТМ
Акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения"
1027700037749
Организация
Приватизированные предприятия
Непубличные акционерные общества