Подложкодержатель для плазмохимических и электростатических процессов
Электростатическая сварка Анодный бондинг
Полезная модель представляется собой подложкодержатель для плазмохимических и электростатических процессов. Может применяться в любой вакуумной установке, где необходим высокотемпературный нагрев образцов. Созданный подложкодержатель оснащен нагревательным 
элементом, температура которого может достигать 1023 К. В качестве нагревательного элемента используется ИК керамический нагревательный элемент, мощность которого составляет 1000Вт. Нагреватель монтируется внутрь подложкодержателя, как и медная масса, которая служит для равномерного распределения температуры по поверхности стола и плавного нагрева образцов. Данные элементы находится там при атмосферном давлении. В качестве изоляционных материалов используются одеяло AVANTEX Blanket 1260 и кварцевое стекло. 
Основание подложкодержателя оснащено электо- и теплоизолирующим вакуумным уплотнением, которое способно выдерживать потенциал до 2000В и обеспечивать герметичное соединение с установкой вплоть до 1*10-5Па. Данный подложкодержатель позволяет повысить качество склейки пластин стекла и кремния при процессе анодного вакуумного бондинга.
Микроэлектроника
Приборостроение
Виктор
Иванов
Игоревич
Инженер
Отсутствует
Отсутствует
-
-
РОССИЯ
Виктор
Иванов
Игоревич
Инженер
РОССИЯ
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Виктор
Иванов
Игоревич
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Виктор
Иванов
Игоревич
Физическое лицо
РОССИЯ