СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ РАДИОЭЛЕКТРОННЫХ КОМПОНЕНТОВ
РАДИОЭЛЕКТРОНИКА РАДИОЭЛЕКТРОННЫЕ КОМПОНЕНТЫ ЛИТОГРАФИЯ МНОГОСЛОЙНАЯ СТРУКТУРА СВЧ
Изобретение относится к области изготовления радиоэлектронных компонентов. 
Способ изготовления многослойных радиоэлектронных компонентов, включает формирование адгезионного, проводящего и защитного слоёв. Состоит из напыления сплошной металлической пленки, формирования  рисунка проводников и контактных площадок методом фотолитографии, травления защитного слоя, осаждения проводящего слоя. В качестве адгезионного и защитного слоёв применяются тантал и хром соответственно. При литографии используется толстопленочный фоторезист, также, в качестве слоя может формироваться диэлектрик. Слои металл-металл или металл-диэлектрик могут чередоваться. Сушка фоторезиста производится минимум в два этапа. После этапа сушки толстоплёночного фоторезиста производится выравнивание его поверхности.
Технический результат - упрощение и удешевление технологии производства СВЧ модулей за счет возможности формирования в едином цикле с резисторами конденсаторы, индуктивности, СВЧ переходы, микрокоаксиальные линии с воздушным диэлектриком и воздушные мосты. 
Достигается тем, что в способе изготовления радиоэлектронных компонентов, включающем поочередное вакуумное нанесение на подложку адгезионного и проводящего/диэлектрического слоев с последующим созданием рисунка схемы методом фотолитографии, планаризацию, и гальваническое наращивание меди, производится аддитивное формирование проводящих и диэлектрических слоев толщиной до 25 мкм.
СВЧ модули, СВЧ переходы, микрокоаксиальные линии с воздушным диэлектриком, воздушные мосты
Олег
Калиновский
Николаевич
Руководитель
Отсутствует
Отсутствует
-
-
РОССИЯ
Олег
Калиновский
Николаевич
Руководитель
РОССИЯ
47.13.10
Технология и оборудование для производства изделий электронной техники СВЧ-диапазона
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Олег
Калиновский
Николаевич
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Олег
Калиновский
Николаевич
Физическое лицо
РОССИЯ