Прецизионная система подачи рабочих газов высокой чистоты
ВЫСОКИЙ ВАКУУМ ОСОБОЧИСТЫЕ ГАЗЫ СИСТЕМА ПОДАЧИ ГАЗОВ МАГНТЕРОННОЕ НАПЫЛЕНИЕ ОТСЕКАЩИЕ ВЕНТИЛИ
Во время осаждения тонких пленок методом магнетронного распыления становится актуальной проблема получения пленок сложного состава (оксидов, нитридов). При использовании традиционных систем подачи рабочих газов не обеспечивается должная чистота рабочей смеси, отсутствует необходимая точность потока и состава рабочей смеси в камеру, процесс не может быть автоматизирован, а также сама рабочая смесь формируется непосредственно в камере.  Все эти недостатки не позволяют формировать пленки требуемого состава с достаточной точностью и повторяемостью. Для улучшения процесса подачи рабочих газов предлагается улучшить систему подачи следующим образом: стандартный газовый редуктор заменить на специализированный редуктор для микроэлектронной промышленности, гибкие трубки из фторопласта или ПВХ заменить на трубки из коррозионно-стойкой нержавеющей стали, места соединений  с уплотнением на основе резины заменить на трубные торцевые обжимные фитинги из нержавеющей стали, а натекатель механического типа заменить на высокоточный массовый регулятор расхода газа. Также предлагается обеспечить смешивание рабочих газов до попадания в камеру для формирования однородной газовой смеси и производить открытие газовых вентилей в определенном порядке, с учётом введения в систему дополнительных вентилей, описанных в полном описании разработки. Разработка выполнена при использовании оборудования ЦКП «ВТАН» НГУ, поддержанном грантом МНВО РФ №075-15-2021-697.
Получение высококачественных тонких пленок нитридов и оксидов.
Александр
Кузнецов
Николаевич
Младший научный сотрудник
Отсутствует
Отсутствует
—
—
1075165
0000-0001-5345-9542
РОССИЯ
Дмитрий
Чуркин
Владимирович
проректор по научно-исследовательской деятельности
РОССИЯ
47.09.49
Газы и газовые смеси
29.03.29
Вакуумная техника в физическом эксперименте
01.03.UB
PHYSICS, APPLIED
Александр
Кузнецов
Николаевич
РОССИЯ
Алена
Богословцева
Леонидовна
РОССИЯ
Никита
Чириков
Александрович
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НОВОСИБИРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ, НГУ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НОВОСИБИРСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1025403658565
МИХАИЛ
ФЕДОРУК
ПЕТРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения