Способ изготовления апертурных зондов для ближнепольной оптической микроскопии
Зонд Кантилевер Сканирующая ближнепольная оптическая микроскопия Апертура Сканирующая зондовая микроскопия
Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии. Изобретение обеспечивает детектирование ближнепольного оптического сигнала с максимальной точностью, интенсивностью и разрешающей способностью, и минимальными потерями, в сочетании с возможностью получения изображений рельефа поверхности в режиме атомно-силовой микроскопии. Способ изготовления апертурных зондов для ближнепольной оптической микроскопии включает формирование сквозного отверстия с входной апертурой для оптического излучения диаметром от 1 до 35 мкм, формирование полого конического острия зонда в балке кантилевера методом локального ионно-лучевого травления фокусированным ионным пучком, формирование полого конического острия зонда высотой от 500 нм до 30 мкм, углом конусности от 10 до 110 градусов, методом ионно-стимулированного осаждения материала, причем диаметр основания конуса больше диаметра входной апертуры.
Изобретение относится к области сканирующей зондовой микроскопии, а точнее к сканирующей ближнепольной оптической микроскопии высокого разрешения и может быть использован для изготовления зондов кантилеверного типа, предназначенных для исследования рельефа и локальных свойств материалов.
Елена
Коломийцева
Михайловна
Генеральный директор
Отсутствует
Отсутствует
-
-
-
-
РОССИЯ
Елена
Коломийцева
Михайловна
Генеральный директор
РОССИЯ
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Алексей
Коломийцев
Сергеевич
Разработка и апробация технологии, разработка конструктивно-технологических решений
РОССИЯ
Елена
Коломийцева
Михайловна
Разработка концепции технологии, проведение анализа научно-технического уровня разработки. Моделирование конструкции
РОССИЯ
Олег
Ильин
Игоревич
Разработка и тестирование экспериментальных образцов, изготовленных в соответствии с предложенным способом
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "НАНОПРОБ"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "НАНОПРОБ"
1216100030904
ЕЛЕНА
КОЛОМИЙЦЕВА
МИХАЙЛОВНА
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью