Способ формирования клиновидного профиля для создания кремниевого дискового резонатора, работающего в режиме шепчущей  галереи
кремниевый дисковый резонатор интегрально-оптическая технология
Оптические МШГ резонаторы представляют собой интерес для приложений нелинейной оптики, биосенсорики, создание фотонных лазеров и т.д. Реализация МШГ резонаторов на кристалле и их интеграция в фотонные интегральные схемы (ФИС) зачастую связана с использованием кремнийсодержащих материалов. Среди них особое место занимает SiO2. Ключевым параметром резонаторов является добротность. Для обеспечения максимальной добротности необходимо изготовить структуру с оптимальными геометрическими параметрами световодного слоя, обеспечивающего максимальное удержание светового потока. Помимо этого важно обеспечить минимальную шероховатость поверхности на границе раздела SiO2 – воздух.
Информационно-телекоммуникационные системы
Сергей
Генералов
Сергеевич
начальник лаборатории
Отсутствует
Отсутствует
V-4173-2019
57189905425
РОССИЯ
Валерий
Сницар
Григорьевич
Заместитель директора по инновационной деятельности
РОССИЯ
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.YE
TELECOMMUNICATIONS
Сергей
Генералов
Сергеевич
Способ формирования клиновидного профиля для создания кремниевого дискового резонатора, работающего в режиме шепчущей галереи
РОССИЯ
Анастасия
Якухина
Владимировна
Способ формирования клиновидного профиля для создания кремниевого дискового резонатора, работающего в режиме шепчущей галереи
РОССИЯ
Владимир
Амеличев
Викторович
Способ формирования клиновидного профиля для создания кремниевого дискового резонатора, работающего в режиме шепчущей галереи
РОССИЯ
Дмитрий
Горелов
Викторович
Способ формирования клиновидного профиля для создания кремниевого дискового резонатора, работающего в режиме шепчущей галереи
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НПК "Технологический центр"
Федеральное государственное бюджетное научное учреждение «Научно-производственный комплекс «Технологический центр"
1027700428480
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения