Способ разделения герметизированной с помощью эпоксидного компаунда мультиплицированной подложки
ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНИКА, КОРПУСИРОВАНИЕ, ГИБРИДНАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
Способ разделения на отдельные микросхемы герметизированной с помощью эпоксидного компаунда мультиплицированной подложки, содержащей множество кристаллов, включает фиксацию мультиплицированной подложки в вакуумном держателе и ее разделение на отдельные микросхемы пилой с алмазным дисковым рабочим органом. Перед разделением мультиплицированной подложки осуществляют ее ламинирование со стороны слоя компаунда пленочным материалом с несущим и клеевым слоями. Несущий слой подбирают толщиной не менее 120 мкм, а клеевой слой – толщиной в диапазоне от 10 до 40 мкм и прочностью отслаивания не менее 20 000 мН/25мм. Разделение мультиплицированной подложки выполняют таким образом, чтобы пленочный материал сохранил свою целостность. Скорость резания устанавливают в диапазоне от 44 до 82 м/с, а скорость движения подачи в интервале от 20 до 40 мм/сек.
Техническое решение может быть использовано в технологическом процессе производства многокристальных микросхем высокой степени интеграции с одновременным применением процессов корпусирования Flip-Chip и Wire Bond.
Ершова Н. Ю.
заведующая кафедрой информационно-измерительных систем и физической электроники
Кандидат физико-математических наук
Воронин А. В.
ректор
47.13.13
Технология и оборудование для производства радиодеталей и компонентов
47.33.31
Интегральные микросхемы
02.02.00
Electrical eng, electronic eng
02.05.00
Materials engineering
Павел
Будник
Владимирович
Определение направлений поиска совершенствования процесса разделения мультиплицированной подложки.
Кирилл
Балашков
Евгеньевич
Разработка технического решения. Апробация технического решения.
Павел
Луньков
Владимирович
Обсуждение изобретения, составлениеформулы и описания заявки
Наталья
Ершова
Юрьевна
Разработка технического решения
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ПетрГУ
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего  образования "Петрозаводский государственный университет"
1021000519935
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения