Способ получения высокоэнтропийной тонкой пленки на диэлектрической подложке
резистивная пленка с низким ТКС резистивная тонкая пленка с выскокой корозионной стойкостью Высокоэнтропийная тонкая пленка
Изобретение относится к технологии получения тонких пленок из высокоэнтропийных сплавов, используемых в процессах микро и наноэлектроники. Задачей предложенного изобретения является повышение качества пленки, наносимой на диэлектрическую подложку, за счет использования порошковой мишени, полученной горячим изостатическим прессованием, а также оптимизацией режимов распыления в магнетроне. Способ получения высокоэнтропийной тонкой пленки на диэлектрической подложке, включающий формирование мишени на основе смеси порошков металлов Co, Cr, Fe, Ni, размещение мишени внутри камеры магнетрона, нанесение тонкой пленки магнетронным распылением.
аэрокосмическая промышленность, медецинская промышленность, мультимедийная промышленность, испытательное и исследовательское оборудование, автомобильная промышленность
47.09.37
Металлы, металлические сплавы и керметы для радиоэлектроники
47.09.48
Наноматериалы для электроники
47.09.99
Прочие материалы для радиоэлектроники
Максим
Поляков
Викторович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"GXV-5555-2022"
"57906930500"
"1146167"
"0000-0001-9304-1490"
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Максим
Поляков
Викторович
Физическое лицо
РОССИЯ