Способ обработки электродов изолирующих промежутков высоковольтных электровакуумных приборов
НИЗКАЯ ЭМИССИОННАЯ АКТИВНОСТЬ ВЫСОКОЕ УДЕЛЬНОЕ СОПРОТИВЛЕНИЕ УГЛЕВОДОРОДНЫЕ ПОКРЫТИЯ КОНЦЕНТРИРОВАННЫЕ ПОТОКИ ПЛАЗМЫ МОДИФИКАЦИЯ ПОВЕРХНОСТИ
Изобретение относится к технике высоких напряжений, в частности к технике электрической изоляции в вакууме, и может использоваться в высоковольтных энергоустановках и электровакуумных приборах для повышения эксплуатационных характеристик. Способ обработки электродов заключается в том, что рабочие поверхности электродов изолирующих промежутков оплавляют концентрированными потоками плазмы с последующим осаждением на поверхность электродов кремний-углеродной пленки с низкой шероховатостью поверхности и низкой эмиссионной активностью толщиной 2,5-3 мкм в плазме несамостоятельного дугового разряда с накаленным катодом с использованием кремнийорганического прекурсора - ПФМС. Технический результат - повышение электрической прочности вакуумной изоляции электродных промежутков, достигаемое осаждением диэлектрической кремний-углеродной пленки.
Высоковольтная техника, электровакуумное оборудование
55.22.23
Неметаллические покрытия
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
Андрей
Соловьев
Александрович
"Кандидат технических наук"
"Отсутствует"
"A-3508-2014"
"56962709300"
"162798"
РОССИЯ
Сергей
Онищенко
Александрович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"E-9752-2017"
"8248801200"
РОССИЯ
Константин
Оскомов
Владимирович
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"A-3377-2014"
"6602288430"
"40836"
"-"
РОССИЯ
Александр
Гренадёров
Сергеевич
"Доктор технических наук"
"Отсутствует"
"R-2556-2016"
"55542951900"
"955235"
РОССИЯ
ИСЭ СО РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
1027000871666
ИЛЬЯ
РОМАНЧЕНКО
ВИКТОРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ИСЭ СО РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ СИЛЬНОТОЧНОЙ ЭЛЕКТРОНИКИ СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
1027000871666
ИЛЬЯ
РОМАНЧЕНКО
ВИКТОРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения