Интегральный микромеханический гироскоп-акселерометр
Интегральный микромеханический гироскоп-акселерометр
Изобретение относится к области измерительной техники и микросистемной техники, а более конкретно к интегральным измерительным элементам величин угловой скорости и ускорения. Техническим результатом является возможность измерения величин угловых скоростей и линейного ускорения вдоль оси Z,  направленной перпендикулярно плоскости подложки и X, Y расположенных в плоскости подложки устройства. Сущность изобретения: технический результат достигается за счет введения четырех дополнительных неподвижных электродов емкостных преобразователей перемещений, выполненных в виде пластин с гребенчатыми структурами с одной стороны из полупроводникового материала и расположенных непосредственно  на полупроводниковой подложке, четыре дополнительных неподвижных электродов электростатических приводов, выполненных в виде пластин с гребенчатыми структурами с одной стороны из полупроводникового материала и расположенных непосредственно на подложке.
Возможность измерять величины угловой скорости и линейного ускорения по трем осям одним интегральным элементом.
Коноплев Б. Г.
профессор
Метелица А. В.
и. о. проректора по научной и исследовательской деятельности
47.33.33
Оптоэлектронные приборы
47.03.05
Теоретические основы полупроводниковых приборов, микроэлектроники
47.33.31
Интегральные микросхемы
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Дмитрий
Севостьянов
Юрьевич
Разработка функциональной схемы гироскопа-акселерометра
Игорь
Лысенко
Евгеньевич
Разработка конструкции гироскопа-акселерометра и анализ принципа его функционирования
Борис
Коноплев
Георгиевич
Разработка конструкции гироскопа-акселерометра
Ольга
Ежова
Александровна
Разработка конструкции гироскопа-акселерометра
Южный федеральный университет,  ФГАОУ ВО "ЮФУ"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
1026103165241
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью
Южный федеральный университет,  ФГАОУ ВО "ЮФУ"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
1026103165241
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью