Способ получения наноразмерной пленки гамма-Al2O3(111)
наноструктура пленка вакуум гамма-Al2O3(111) нанотехнология метод осаждения тонких пленок
Изобретение относится к нанотехнологиям. Порошок оксида алюминия в условиях сверхвысокого вакуума нагревают до температуры 2700-2800°С с образованием при испарении потока частиц AlO и (AlO)2, которые осаждают на поверхность чистых кристаллографически ориентированных кристаллических металлических подложек Mo(111), W(111) или Ta(111). Затем осуществляют экспозицию каждого очередного нанесённого монослоя в молекулярном кислороде при давлении 10-6 мм рт. ст. в течение 5 мин при температуре подложки 800-900°С. Полученная наноразмерная плёнка гамма-Al2O3 (111) является высокостабильной, при этом сохраняется межфазовая граница оксид-металл на атомном уровне, а также сплошность плёнки и её атомная структура при толщине до 100 нм. 3 пр. Изобретение относится к методам осаждения тонких пленок на металлическую подложку, а именно к нанотехнологиям и наноструктурам.
Получение ориентированной, высокостабильной, наноразмерной пленки гамма-Al2O3 (111) на чистой поверхности металла-подложки с сохранением резкости межфазовой границы оксид-металл на атомном уровне и сохранением сплошности пленки и ее атомной структуры при толщине до 100 нанометров.
29.19.01
Общие вопросы
Тамерлан
Магкоев
Таймуразович
"Доктор физико-математических наук"
"Профессор"
"I-1201-2014"
"6603665501"
"373091"
"0000-0001-7830-4715"
РОССИЯ
Владислав
Заалишвили
Борисович
"Доктор физико-математических наук"
"Профессор"
"I-3111-2016"
"6508237062"
"103859"
"https://elibrary.ru/author_profile.asp?authorid=103859"
"0000-0002-0596-1148"
РОССИЯ
Иван
Силаев
Вадимович
"Кандидат технических наук"
"Доцент"
"T-8108-2019"
"57189031683"
"773013"
"https://www.elibrary.ru/author_profile.asp?authorid=773013"
"-"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ВНЦ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ НАУЧНЫЙ ЦЕНТР "ВЛАДИКАВКАЗСКИЙ НАУЧНЫЙ ЦЕНТР РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
1021500511878
АЛЕКСЕЙ
ЧИБИРОВ
ЛЮДВИГОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения