Программа для автоматизированного измерения осаждённых наноразмерных структур на основе изображений с растрового электронного микроскопа.
РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП АВТОМАТИЗАЦИЯ НАПЫЛЕНИЕ ТОНКИХ ПЛЁНОК
Работы по изучению технологии получения чувствительных слоёв на основе дисульфида молибдена методом химического осаждения из газовой фазы сопровождались обработкой большого количества экспериментальных данных, в том числе, изображений с растрового электронного микроскопа. При этом оценка параметра равномерности покрытия по реакционной зоне, а также конформность покрытия, важные для оценки технологичности используемых методов получения не было автоматизировано, и при необходимости измерения статистики показаний на каждый параметр не позволяло за адекватное время определить технологические зависимости и откорректировать программу экспериментов. Кроме того, на размерах структур менее 80 нм определение нахождения подложки на сколе образца было в значительной степени затруднено.
Для решения вышеописанных проблем была создана программа, позволяющая произвести обмер структур за счёт автоматизированного нахождения минимальной контрастности (с возможностью редактирования при необходимости исключать какие-либо обьекты на структуре) и определения масштаба, вносящих большую долю ошибок в результаты при оценке размерностей структур в ручном режиме. Кроме того, программа имеет возможность работать сразу с большим количеством изображений, позволяя обрабатывать сотни изображений.
Программа для автоматизированного измерения осаждённых наноразмерных структур на основе изображений с растрового электронного микроскопа представляет собой графический интерфейс на базе библиотеки Qt 6. На вход в программу подаются изображения, полученные с помощью растрового электронного микроскопа, на выходе формируется объем данных, отражающих размерные параметры структуры и их разброс.
Обработка РЭМ-изображений наноразмерных структур, автоматизация технологических процессов микро- и нано-электроники.
Полина
Беспалова
Георгиевна
Исполнитель
Отсутствует
Отсутствует
-
57196222569
2935-7234
РОССИЯ
Полина
Беспалова
Георгиевна
Исполнитель
РОССИЯ
83.77.31
Программное обеспечение обработки статистической информации
61.01.81
Измерения, испытания, контроль и управление качеством
61.01.85
Автоматизация и автоматизированные системы
81.09.30
Наноматериалы
02.05.PM
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
Полина
Беспалова
Георгиевна
РОССИЯ
Максим
Уймин
Сергеевич
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Полина
Беспалова
Георгиевна
Физическое лицо
РОССИЯ