Устройство для осаждения тонких пленок из газовой фазы
осаждение тонких пленок из газовой фазы
Изобретение относится к оборудованию для осаждения тонких пленок и покрытий из паров химических веществ на плоскую полупроводниковую подложку и может быть использовано в технологических процессах изготовления электронных и электромеханических приборов. Задача изобретения заключается в создании надежного и экономичного устройства для реализации процесса осаждения тонких пленок стимулированного плазмой, пригодного также для атомно-слоевого осаждения. Технический результат изобретения заключается в упрощении конструкции и в использовании меньшего количества исходных реагентов.
Изобретение относится к оборудованию для осаждения тонких пленок и покрытий из паров химических веществ на твердые плоские изделия, в частности полупроводниковые подложки, используемые в технологических процессах создания электронных и электромеханических приборов.
Одиноков В.В.
Заместитель генерального директора по науке
Доктор технических наук
Бирюков М. Г.
Генеральный директор
47.13.19
Прочие технологические процессы и оборудование в производстве радиоэлектронной аппаратуры
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.00
Electrical eng, electronic eng
02.11.00
Other engineering and technologies
Владимир
Немировский
Эдуардович
Разработка технологических решений
Георгий
Павлов
Яковлевич
Разработка технологических решений
Ирина
Федорова
Дмитриевна
Разработка технических решений
Михаил
Бирюков
Георгиевич
Разработка технических решений
Виталий
Панин
Вячеславович
Разработка конструкции элементов устройства
Вадим
Одиноков
Васильевич
Разработка технических решений
Евгения
Гусева
Григорьевна
Разработка технических решений
Елена
Карпенкова
Владимировна
Разработка технических решений
Маргарита
Клокова
Юрьевна
Разработка технологических решений
АО НИИТМ
Акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения"
1027700037749
Организация
Приватизированные предприятия
Непубличные акционерные общества
АО НИИТМ
Акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения"
1027700037749
Организация
Приватизированные предприятия
Непубличные акционерные общества