Способ измерения внутренних напряжений многослойных наноструктурированных покрытий, основанный на  использовании синхротронного излучения
РЕНТГЕНОГРАММА МНОГОСЛОЙНОЕ ПОКРЫТИЕ ВНУТРЕННИЕ НАПРЯЖЕНИЯ РЕНТГЕНОСТРУКТУРНЫЙ АНАЛИЗ
Изобретение относится к измерительной технике с использованием методов рентгеноструктурного анализа, а именно к методам определения внутренних (остаточных) напряжений в многослойных покрытиях, созданных напылением. Заявляемый способ измерения внутренних напряжений многослойных наноструктурированных покрытий, основанный на использовании синхротронного излучения, включает серию съёмок рентгенограмм, проводимых в 2 этапа, первый с использованием симметричной схемы съемки и второй несимметричной схемы съемки, в котором определение остаточного напряжения многослойного наноструктурированного покрытия осуществляют с применением метода sin2Ψ, причем количественное его вычисление осуществляют с учетом неоднородности коэффициента Пуассона, что дополнительно повышает точность вычисления, наряду с использованием предложенной серии съёмок и диапазонами выбранных углов ψ для ассиметричной схемы съёмки.
Разработанный способ позволяет определять внутренние напряжения в тонких слоях наноструктурированных покрытиях, что способствует расширению области использования источников синхротронного излучения в качестве исследовательского оборудования для изучения свойств функциональных материалов, в том числе наноматериалов.
Николай
Ратахин
Александрович
главный научный сотрудник
Доктор физико-математических наук
Академик
М-5241-2015
6602191236
-
0000-0002-3820-8777
РОССИЯ
Илья
Романченко
Викторович
директор
РОССИЯ
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Андрей
Воронцов
Владимирович
Подготовка заявки на патент. Патентный поиск. Подготовка формулы изобретения и описание технического решения.
РОССИЯ
Николай
Шамарин
Николаевич
Подготовка заявки на патент. Подготовка иллюстраций
РОССИЯ
Евгений
Москвичев
Николаевич
Подготовка заявки на патент. Подготовка иллюстраций.
РОССИЯ
Евгений
Княжев
Олегович
Подготовка заявки на патент. Подготовка иллюстраций.
РОССИЯ
Юлия
Денисова
Александровна
Подготовка заявки на патент
РОССИЯ
Андрей
Филиппов
Владимирович
Подготовка заявки на патент. Патентный поиск. Подготовка формулы изобретения и описание технического решения.
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИСЭ СО РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук
1027000871666
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения