Способ нанесения антиэмиссионного покрытия из пиролитического углерода на сеточные электроды мощных электровакуумных приборов
Патент на изобретение №2759822, С23С 14/06, Бюл. № 32 от 18.11.2021, Заявка № 2020142407 от 21.12.2020.
Пироуглерод плазма вакуум технология
Изобретение относится к области нанесения способом плазмохимического осаждения из газовой фазы антиэмиссионного покрытия из пиролитического углерода на металлические сеточные электроды электронных ламп большой мощности, таких как мощные генераторные лампы, лампы бегущей волны (ЛБВ), клистроны импульсного и непрерывного действия, магнетроны,  и т.п. Способ включает создание плазмы вакуумно-дугового разряда с графитового катода в вакуумной камере. Плазма одновременно используется как для нагрева сеточных электродов, так и для разложения газообразных углеводородов или паров жидких углеводорода на активные радикалы. При этом отпадает необходимость в использовании плазмообразующих газов и снижается температура пиролиза углеводородов. Изобретение способствует упрощению технологического процесса нанесения пироуглерода, снижению энергозатрат и как следствие повышению экономической эффективности процесса, повышению адгезии покрытий и скорости их осаждения.
Мощные электровакуумные приборы ВЧ и СВЧ диапазонов
Александр
Фрейдин
Борисович
главный научный сотрудник
Доктор физико-математических наук
Старший научный сотрудник
N-2089-2015
7003934167
8031
https://ipme.ru/employers/37
0000-0003-2916-3375
РОССИЯ
Владимир
Полянский
Анатольевич
Директор
РОССИЯ
47.29.35
Электронные лампы
47.13.33
Электронно-ионно-плазменные технологии электронного производства
47.13.15
Технология и оборудование для монтажа и сборки радиоэлектронной аппаратуры
47.13.10
Технология и оборудование для производства изделий электронной техники СВЧ-диапазона
47.13.09
Технология и оборудование для производства электровакуумных и газоразрядных приборов
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Вячеслав
Кузнецов
Геннадьевич
Руководитель
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИПМАШ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ МАШИНОВЕДЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
1037800003560
ВЛАДИМИР
ПОЛЯНСКИЙ
АНАТОЛЬЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения