Способ получения гексафторида вольфрама
фтор вольфрам гексафторид вольфрама
Изобретение относится к получению чистого гексафторида вольфрама газофазным методом. Предложен способ получения гексафторида вольфрама, включающий бесконтактное испарение капли расплавленного вольфрама в высокочастотном электромагнитном поле противоточного индуктора, перенос паров вольфрама потоком газа-носителя в зону конденсации паров в наночастицы, взаимодействие вольфрама со фтором в газовой фазе с наночастицами вольфрама в зоне реакции ниже по потоку, перенос образовавшегося гексафторида в зону предварительного охлаждения, а затем конденсирование гексафторида вольфрама в балоны-конденсаторы. Непрерывность получения гексафторида вольфрама обеспечивается равномерной подачей подачей проволоки в испаряемую каплю. Технический результат – предложенный способ позволяет получить гексафторид вольфрама с чистотой не менее 99,99% в непрерывном режиме.
Гексафторид вольфрама (WF6) используется в качестве сырья для химического осаждения металлического вольфрама из паровой фазы (CVD) в электронной промышленности. Вольфрам, нанесенный методом CVD, обладает преимуществами низкого электрического сопротивления, высокой стойкостью к электромиграции и превосходной гладкостью при заполнении небольших сквозных отверстий. Композитное покрытие из вольфрама и рения, полученное методом CVD смешанных металлов, может быть использовано для рентгеноизлучающих электродов и для производства солнечных поглотителей. WF6 также используется в электронной промышленности в качестве сырья для изготовления полупроводниковых электродов и токопроводящих паст.
31.17.15
Неорганическая химия
Александр
Капинос
Александрович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"-"
"57219305949"
"0000-0003-1441-9622"
РОССИЯ
Артем
Емельянов
Владимирович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"58260232300"
"0009-0008-2963-7693"
РОССИЯ
Сергей
Суворов
Сергеевич
"Кандидат химических наук"
"Отсутствует"
"-"
"24172215700"
"-"
"0000-0003-1913-0764"
РОССИЯ
Александра
Барышева
Владимировна
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"-"
"57221161463"
"-"
"0000-0003-4890-5194"
РОССИЯ
Андрей
Воротынцев
Владимирович
"Кандидат химических наук"
"Доцент"
"R-1446-2019"
"55326855800"
"645393"
"0000-0001-5447-5296"
РОССИЯ
Артем
Марков
Николаевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"ABF-7827-2020"
"57203283136"
"1086338"
"0000-0002-5013-5830"
РОССИЯ
Егор
Докин
Сергеевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"HTL-4190-2023"
"58286131000"
"1206476"
"https://vk.com/darwl"
"0009-0008-3828-8050"
РОССИЯ
Антон
Петухов
Николаевич
"Кандидат химических наук"
"Доцент"
"B-7439-2014"
"55832430600"
РОССИЯ
Павел
Грачев
Петрович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"36662028400"
РОССИЯ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
ВАЛЕРИЙ
ФАЛЬКОВ
НИКОЛАЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ НИЖЕГОРОДСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМ. Н.И. ЛОБАЧЕВСКОГО"
1025203733510
ОЛЕГ
ТРОФИМОВ
ВЛАДИМИРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения