Способ измерения скорости поверхностных акустических волн в пьезоподложке
пьезоподложка скорость распространения ПАВ
Изобретение относится к области измерительной техники и может быть использовано для измерения скорости распространения поверхностных акустических волн (ПАВ) в пьезоподложке. Способ измерения скорости ПАВ заключается в том, что в контролируемой пьезоподложке возбуждают ПАВ и осуществляют прием отраженного сигнала. При этом на пьезоподложке формируют топологию, соответствующую ее заданной рабочей частоте, в которой возбуждение ПАВ и прием отраженного сигнала осуществляются одним встречно-штыревым преобразователем (ВШП), расположенным между группами отражающих структур, где отражающие структуры с одной стороны от ВШП смещены относительно него на определенное значение. Параметры ВШП и отражающих структур выбираются обеспечивающими условие акустического синхронизма. Затем принятый отраженный сигнал подают в векторный анализатор, обеспечивающий его представление в виде зависимости сопротивления от частоты, определяют область с наибольшим количеством амплитудных всплесков, выявляют участок кривой, имеющий максимальный размах, по минимальному значению этого участка путем проекции определяют значение фактической рабочей частоты пьезоподложки и вычисляют фактическую скорость распространения ПАВ в пьезоподложке по заданному соотношению. Технический результат - повышение точности измерения скорости распространения ПАВ в пьезоподложке.
1. Акустоэлектроника.
2. Измерение распространения скорости ПАВ в пьезоподложке
Геннадий
Сапожников
Анатольевич
Заместитель Генерального директора - генерального конструктора по инновациям
Доктор технических наук
Отсутствует
-
-
РОССИЯ
Сергей
Нефедов
Михайлович
Заместитель Генерального директора по экономике и финансам
РОССИЯ
59.14.21
Проектирование и конструирование электронных измерительных приборов
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Геннадий
Сапожников
Анатольевич
Работы по отладке
РОССИЯ
Константин
Терехин
Владимирович
Работы по разработке топологии и изготовлению, проведение измерений и расчетов
РОССИЯ
Александр
Жежерин
Ростиславович
Работы по разработке топологии и изготовлению, проведение измерений и расчетов
РОССИЯ
Иван
Анцев
Георгиевич
Работы по разработке
РОССИЯ
Сергей
Богословский
Владимирович
Работы по испытаниям
РОССИЯ
МИНПРОМТОРГ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1047796323123
Организация
Министерство промышленности и торговли Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
АО "НПП"Радар ммс"
Акционерное общество  "Научно-производственное предприятие "Радар ммс"
1027807560186
Организация
Приватизированные предприятия
Непубличные акционерные общества