Способ создания конусообразных Si частиц на поверхности кремния без использования процессов травления
ЭФФУЗИОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ ЧАСТИЦЫ АНТИОТРАЖАЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ КРЕМНИЙ
Разработан способ получения покрытий из диэлектрических частиц Si конусообразной формы субволнового размера без привлечения методов травления, которые обычно используются для этой цели. Проведённые экспериментальные исследования показали, что возможно получение таких частиц высотой до 300 нм. при толщине маски до 200 нм. Предполагается, что такие частицы обладают сильными антиотражающими свойствами в ближней ИК-области в зависимости от их размера и положения. Полученный результат демонстрирует эффективность создания таких покрытий, на подложках не совместимых с полупроводниковыми технологиями травления, например, органических полупроводниковых материалов, которые могут быть использованы в различных оптоэлектронных преобразователях.
Возможность получения широкополосных антиотражающих покрытий на основе магнитных и электрических резонансов, возбуждаемых в диэлектрических частицах специальной (конусообразной) формы, без привлечения методов травления.
Дмитрий
Уткин
Евгеньевич
Младший научный сотрудник
Отсутствует
Отсутствует
K-73642017
52164615300
735075
0000-0001-9510-5427
РОССИЯ
Михаил
Федорук
Петрович
ректор
РОССИЯ
29.31.27
Взаимодействие оптического излучения с веществом
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
29.19.31
Полупроводники
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Александр
Шкляев
Андреевич
Получение экспериментальных данных и их анализ
РОССИЯ
Дмитрий
Уткин
Евгеньевич
Получение экспериментальных данных и их анализ
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
Новосибирский государственный университет; НГУ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Новосибирский национальный исследовательский государственный университет"
1025403658565
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения