Способ изготовления распыляемой композитной мишени из сплава Гейслера Co2MnSi
СПЛАВА ГЕЙСЛЕРА, CO2MNSI, ЭЛЕКТРОИМПУЛЬСНОЕ ПЛАЗМЕННОЕ СПЕКАНИЕ
Изобретение относится к изготовлению распыляемых композитных мишеней сплава Гейслера Co2MnSi, которые могут найти применение при производстве микроэлектроники. Способ включает механическое смешиваниепорошков компонентов сплава с получением однородной порошковой смеси и ее спекание. Спекание порошковой смеси ведут методом электроимпульсного плазменного спекания в графитовой пресс-форме при температуре 600°С и минимальном давлении 2,5 кН путем пропускания последовательностей импульсов постоянного тока 5000 А с длительностью импульса 3,3 мс через засыпку порошковой смеси с получением композитной мишени.Осуществляют контроль пористости мишени на основе данных дилатометрической кривой усадки. Обеспечивается получение механически прочных, не окисленных, композитных мишеней сплава с пористостью в диапазоне 10-30%.
Изготовление микроэлектроники
Демидов Е.С.
Профессор
Доктор физико-математических наук
Загайнова Е. В.
Ректор
29.19.15
Фазовые равновесия и фазовые переходы
29.19.04
Структура твердых тел
01.01.UR
PHYSICS, MATHEMATICAL
Владимир
Трушин
Николаевич
исполнитель
Юрий
Чигиринский
Исаакович
исполнитель
Александр
Бобров
Андреевич
исполнитель
Максим
Болдин
Сергеевич
исполнитель
Олег
Белкин
Анатольевич
исполнитель
Владимир
Чувильдеев
Николаевич
исполнитель
Виктор
Сдобняков
Владимирович
исполнитель
Никита
Сахаров
Владимирович
исполнитель
Евгений
Демидов
Сергеевич
руководитель
Валерий
Лесников
Павлович
исполнитель
ННГУ им. Н.И. Лобачевского
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского».
1025203733510
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения