Электронно-оптическая система
электронная оптика электронно-оптическая система отклоняющая система растровый электронный микроскоп
Полезная модель относится к области электронно- и ионно-оптического приборостроения и может быть использована в электронных и ионных микроскопах, электронно- и ионно-лучевых литографах.
Электронно-оптическая система содержит электронную пушку с катодом, формирующую электронный пучок, двухъярусный дефлектор для отклонения электронного пучка и обеспечения его сканирования в плоскости фокусировки, формирующую линзу, фокусирующую электронный пучок. При этом, с целью уменьшения хроматической аберрации отклонения, между ярусами дефлектора расположены дополнительные электроды с различными электрическими потенциалами, которые, при прохождении через них, изменяют энергию электронного пучка. 
Технический результат заключается в уменьшении хроматической аберрации отклонения, что позволяет увеличить поле сканирования электронного пучка.
Может быть использован при разработке электронных микроскопов.
Илья
Курганов
Геннадьевич
Директор
Отсутствует
Отсутствует
-
-
646656
РОССИЯ
Илья
Курганов
Геннадьевич
Директор
РОССИЯ
29.35.43
Электронная и ионная микроскопия
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Илья
Курганов
Геннадьевич
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "АИН ЭЛЕКТРА"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "АИН ЭЛЕКТРА"
1225000033169
ИЛЬЯ
КУРГАНОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью