Способ получения тонких пленок карбида кремния на кремнии пиролизом полимерных пленок, полученных методом молекулярно-слоевого осаждения
гетероэпитаксия молекулярно-слоевое осаждение карбид кремния тонкие пленки
Изобретение относится к технологии получения пленок карбида кремния на кремниевой подложке. Изобретение заключается в двухэтапном процессе, где на первом этапе осуществляется процесс молекулярно-слоевого осаждения полимера из газовой фазы на кремниевой подложке. На втором этапе следует пиролиз полимера при температурах до 1300 оС в вакууме (или инертной атмосфере), в результате которого образуется слой SiC. Высокие температуры обеспечивают карбонизацию полимера с образованием равномерно распределенного слоя углеродного остатка, который при более высоких температурах взаимодействует с кремниевой подложкой с образованием SiC. Молекулярно-слоевое осаждение дает прецизионный контроль толщины (до 0.1нм) и конформности полимерной пленки, благодаря чему становится возможным контроль толщины пленки карбида кремния как продукта высокотемпературного пиролиза полимера на кремнии.
Изобретение относится к технологии получения тонких пленок карбида кремния и может быть использовано при создании полупроводниковых приборов и наноразмерных композиционных материалов. Изобретение обеспечивает преимущество контроля толщины и однородности гетероэпитаксиальных пленок карбида кремния на кремнии, которые могут быть использованы в качестве подложек при изготовлении некоторых элементов полупроводниковой электроники и композитов, устойчивым к высоким температурам и повышенным уровням радиации.
Рустам
Амашаев
Русланович
отсутсвует
Отсутствует
Отсутствует
L-6014-2016
57202426082
881943
https://www.scopus.com/authid/detail.uri?authorId=57202426082
https://orcid.org/0000-0002-8720-7332
РОССИЯ
Муртазали
Рабаданов
Хулатаевич
профессор
РОССИЯ
31.15.19
Химия твердого тела
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Рустам
Амашаев
Русланович
Получение образцов
РОССИЯ
Азиз
Абдулагатов
Ильмутдинович
Анализ данных
РОССИЯ
Ильмутдин
Абдулагатов
Магомедович
Анализ литературы, анализ данных
РОССИЯ
Муртазали
Рабаданов
Хулатаевич
Анализ данных
РОССИЯ
ДГУ
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего  образования "Дагестанский государственный университет"
1020502631621
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения