Способ определения концентрации электрически активной донорной примеси в поверхностных слоях кремния неразрушающим методом ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии
УЛЬТРАМЯГКАЯ РЕНТГЕНОВСКАЯ ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ, УМРЭС, СИЛЬНОЛИГИРОВАННЫЙ КРЕМНИЙ, ДОНОРНАЯ ПРИМЕСЬ, ОПРЕДЕЛЕНИЕ КОНЦЕНТРАЦИИ ПРИМЕСИ В КРЕМНИИ
Способ определения концентрации электрически активной донорной примеси в поверхностных слоях кремния, включающий процедуру регистрации характеристических рентгеновских эмиссионных Si L2.3 спектров сильнолегированного кремния при концентрации электрически активной донорной примеси ND ≥1018 см-3 в области валентной зоны кремния и в области примесной подзоны электрически активных доноров с помощью неразрушающего метода ультрамягкой рентгеновской эмиссионной спектроскопии, отличающийся тем, что регистрацию рентгеновских эмиссионных спектров проводят при напряжении U=3 кВ на аноде разборной рентгеновской трубки спектрометра монохроматора, при плотности анодного тока 2 мА/см2 с определением относительной интенсивности ID донорного максимума, находящегося в рентгеновском эмиссионном Si L2.3 спектре выше потолка валентной зоны кремния при энергии Е=100 эВ, соответствующей концентрации электрически активной донорной примеси в поверхностных слоях толщиной ≤120 нм сильнолегированного кремния.
Изобретение относится к области нанотехнологий, наноэлектроники и микроэлектроники и может быть применено для определения концентрации электрически активной донорной примеси в поверхностных слоях кремния толщиной ?120 нм без разрушения образца, сильнолегированного методами диффузии или ионной имплантации, которые широко применяются в полупроводниковой технологии
Домашевская Э.П.
Заведующий кафедрой
Доктор физико-математических наук
Ендовицкий Д.А.
Ректор
29.19.24
Электронная структура твердых тел
29.31.26
Спектроскопические методы и методики
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Владимир
Терехов
Андреевич
Разработка теоретической и экспериментальной базы способа
Константин
Барков
Александрович
Патентный поиск, выбор прототипа
Эвелина
Домашевская
Павловна
Определение направления разработки и оценка существующего уровня техники
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГБОУ ВО "ВГУ"
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Воронежский государственный университет"
1023601560510
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения