Технологическая инструкция для напыления термоэлектрических пленок из теллурида висмута N-типа и P-типа проводимости на кремниевые пластины
Термоэлектрические пленки Теллурид висмута Ионный источник Ионный источник
Технологическая карта регламентирует технологический процесс нанесения термоэлектрических пленок из теллурида висмута N-типа и P-типа проводимости на кремниевые пластины для последующих фотолитографических операций для изготовления датчика тепловых потоков. 
Настоящая карта регламентирует последовательность подготовительных и основных технологических операций, позволяющих получить термоэлектрические пленки с заданными свойствами. Основные параметры технологических процессов получены в результате опытной отработки, также определена последовательность подготовительных процедур. Оптимизировано сочетание времени и интенсивности ионной очистки подложки с проводящими шинами с  режимами последующих процессов нанесения.  При несоблюдении требований технологической карты свойства полученных пленок теллурида висмута p- и n-типа могут существенно отличаться от требований проекта.
Напыление тонкопленочных покрытий при разработке и изготовлении микроприборов на основе технологий микроэлектроники.
Алексей
Малинов
Юрьевич
Генеральный директор
Отсутствует
Отсутствует
нет
нет
https://torion-ppu.ru/
РОССИЯ
Алексей
Малинов
Юрьевич
Генеральный директор
РОССИЯ
59.37.35
Приборы для измерения расхода и параметров потока
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Алла
Корчагина
Алексеевна
РОССИЯ
Алексей
Малинов
Юрьевич
РОССИЯ
Марк
Криворучко
Муратович
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "ТОРИОН-ППУ"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ТОРИОН-ППУ"
1217700288860
АЛЕКСЕЙ
МАЛИНОВ
ЮРЬЕВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью