Программа анализа шероховатости поверхностей и боковых стенок линий на микроскопических снимках полупроводниковых элементов
шероховатость боковых стенок шероховатость растровая электронная микроскопия атомно-силовая микроскопия
Программа для ЭВМ позволяет проанализировать изображения поверхности топологических элементов интегральных микросхем, полученных с помощью интерференционной микроскопии, растровой электронной микроскопии и атомно-силовой микроскопии. Программа обрабатывает цветные и черно-белые изображения. Цветные изображения должны содержать палитру, на которой расшифровано значения цвета пикселя. Программа имеет интерактивный графический интерфейс и позволяет проводить анализ любой части изображения и прямых линий любого наклона. При Анализ включает в себя оценку неровностей края и толщин линий краев топологических элементов, а также шероховатости линий на поверхности и корреляционной функции. Встроен алгоритм корректировки наклона плоскости стенок, при анализе изображений канавок. Программа написана на языке Python и JavaScript, вывод результатов анализа может быть загружен в формате .png и .csv.
Анализ шероховатости боковых стенок элементов интегральных схем при разработке оптимальных технологий их формирования
Александр
Рогожин
Евгеньевич
старший научный сотрудник
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
N-8835-2016
14042347400
165805
0000-0002-9554-673X
РОССИЯ
Владимир
Лукичев
Федорович
директор
РОССИЯ
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
47.13.33
Электронно-ионно-плазменные технологии электронного производства
Ольга
Пермякова
Олеговна
РОССИЯ
Александр
Рогожин
Евгеньевич
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФТИАН им. К.А.Валиева РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А.Валиева Российской академии наук
1037739352155
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения