Способ защиты поверхности полупроводниковой пластины при резке на кристаллы
Полупроводниковая пластина фоторезист МИС нитрид галлия
Способ защиты лицевой части пластины путем нанесения слоя аэрозольного фоторезиста непосредственно перед резкой пластины на отдельные кристаллы
разработка и производство микроэлектронных устройств
29.03.39
Лабораторная электроника
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
Дмитрий
Мамичев
Александрович
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
РОССИЯ
Юлия
Грищенко
Викторовна
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"K-2741-2014"
РОССИЯ
Игорь
Черных
Анатольевич
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"H-4458-2014"
"35781658000"
"-"
"-"
РОССИЯ
Максим
Занавескин
Леонидович
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"D-6170-2014"
"-"
"-"
"-"
РОССИЯ
Правительство России
Правительство Российской Федерации
Организация
-
-
НИЦ "КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ"
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ"
1027739576006
МАРАТ
КАМБОЛОВ
АРКАДЬЕВИЧ
Организация
Правительство Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения