Способ создания антиотражающих покрытий из частиц германия в виде упорядоченных субмикронных дисков на поверхности КНИ подложек
ГЕРМАНИЙ АНТИОТРАЖАЮЩИЕ ПОКРЫТИЯ ЧАСТИЦЫ ЭЛЕКТРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ ЭФФУЗИОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ
Разработан способ получения на КНИ (кремний на изоляторе) подложках упорядоченных частиц Ge (германия) субмикронного размера дискообразной формы, не требующий проведения травления. Исследования показали, что данным способом возможно получение покрытия из упорядоченных частиц Ge в форме дисков на КНИ-подложках с минимальным расстоянием между дисками 40 нм и высотой до 220 нм при толщине резиста около 180 нм, которое можно воспроизводимо изготавливать по разрабатываемой технологии. Показано, что изготовленные покрытия, состоящие из решёток дисков германия на подложке КНИ, обладают широкополосными антиотражающими свойствами, которые усиливаются у решёток с меньшей величиной зазора между дисками. Данным способом возможно создание таких покрытий, на подложках не совместимых с полупроводниковыми технологиями травления, например, из органических полупроводниковых материалов, которые могут быть использованы в различных оптоэлектронных преобразователях. Разработка выполнена при использовании оборудования ЦКП «ВТАН» НГУ, поддержанном грантом МНВО РФ №075-15-2021-697.
Возможность получения широкополосных антиотражающих покрытий, обусловленных действием магнитных и электрических резонансов, возбуждаемых в диэлектрических частицах на КНИ подложка в форме дисков, без привлечения процесса травления.
Дмитрий
Уткин
Евгеньевич
Младший научный сотрудник
Отсутствует
Отсутствует
K-73642017
52164615300
735075
https://research.nsu.ru/ru/persons/dutkin
0000-0001-9510-5427
РОССИЯ
Дмитрий
Чуркин
Владимирович
проректор по научно-исследовательской деятельности
РОССИЯ
29.19.31
Полупроводники
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
29.31.27
Взаимодействие оптического излучения с веществом
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Дмитрий
Уткин
Евгеньевич
РОССИЯ
Александр
Шкляев
Андреевич
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НОВОСИБИРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ, НГУ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НОВОСИБИРСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1025403658565
МИХАИЛ
ФЕДОРУК
ПЕТРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения