Топология кристалла сенсора давления на основе наноструктурированных мембран c микросхемой для обработки данных
сенсор давления микросхема для обработки данных наноструктурированные мембраны
Область применения кристалла сенсора давления - медицинская техника и газовое оборудование. Функцией интегральной микросхемы с регистрируемой топологией является высокоточное измерение давления. Топология ИМС разработана по КМОП технологии с проектными нормами 5 мкм. Площадь единичного кристалла составляет 1650×600 мкм2. Кристалл сенсора давления состоит из кремниевой подложки, мембраны, терморезистивного элемента и микросхемы для обработки данных. Материал мембраны – нанометровые слои SiO2/ Si3N4, диаметр мембраны 250 мкм. Микросхема для обработки данных включает в себя массив диодов в виде меандра для прямого и обратного напряжения включения.
медицинская техника и газовое оборудование
Федор
Пудонин
Алексеевич
Научный руководитель
Доктор физико-математических наук
Профессор
E-6068-2014
55857423200
20352
РОССИЯ
Олег
Баранов
Владимирович
Генеральный директор
РОССИЯ
29.19.31
Полупроводники
02.03.IU
ENGINEERING, MECHANICAL
Евгений
Гусев
Эдуардович
Разработка и контроль правил проектирования топологии с учетом особенностей технологического маршрута, оптимизация размеров элементов
РОССИЯ
Дмитрий
Товарнов
Андреевич
Разработка топологического чертежа кристалла
РОССИЯ
Михаил
Фомичёв
Юрьевич
Разработка конструктивного исполнения топологии сенсора давления и микросхемы
РОССИЯ
Павел
Иванин
Сергеевич
Разработка состава топологических слоев с учетом технологического маршрута
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "Венера"
Общество с ограниченной ответственностью "Венера"
1194027000507
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью