Газовый сенсор
СЕЛЕКТИВНОСТЬ, СТАБИЛЬНОСТЬ, ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ, ЛАЗЕРНАЯ МИКРОФРЕЗЕРОВКА, ПЛАТИНОВАЯ ПАСТА
Сущность полезной модели заключается в том, что диэлектрическая подложка, содержит рабочую область, на одной  стороне последней расположен тонкопленочный газочувствительный элемент, связанный платиновыми пленочными дорожками с информационными контактными площадками, а на другой стороне рабочей области - тонкопленочный нагревательный элемент, связанный токопроводящими дорожками с контактными площадками нагревателя, имеет существенно меньшую толщину чем остальные части диэлектрической подложки, что достигается с помощью прецизионной лазерной обработки. В результате этой конструктивной особенности для нагрева чувствительного элемента до рабочей температуры и поддержания ее в процессе эксплуатации на этом уровне затрачивается значительно меньшая энергия, чем в случае использования диэлектрической подложки постоянной толщины. При этом предложенное решение не приводит к снижению механической прочности газового сенсора.
Полезная модель относится к области микроэлектронных и микромеханических устройств, а более конкретно к газовым сенсорам, и может найти широкое применение в измерительной технике, предназначенной для определения типов различных газов и их количественного содержания в воздухе. Технический результат полезной модели – снижение потребления мощности в процессе эксплуатации.
Першенков В.С.
Профессор
Доктор технических наук
Каргин Н. И.
И.о. проректора
59.14.19
Проектирование и конструирование электрических, электромагнитных и электромеханических измерительных приборов
02.03.00
Mechanical engineering
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Евгений
Онищенко
Михайлович
Разработка формулы, описания, иллюстраций, реферата.
Константин
Облов
Юрьевич
Разработка формулы, описания, иллюстраций, реферата.
Майя
Этрекова
Оразгельдыевна
Разработка формулы, описания, иллюстраций, реферата.
Дмитрий
Филипчук
Валерьевич
Разработка формулы, описания, иллюстраций, реферата.
Николай
Самотаев
Николаевич
Разработка формулы, описания, иллюстраций, реферата.
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НИЯУ МИФИ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"
1037739366477
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения