АДАПТЕР ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПЛАСТИНЫ
Проекционная литография, расширение типоразмера полупроводниковых пластин
Адаптер полупроводниковой пластины предназначен для расширения номенклатуры используемых полупроводниковых пластин (по типоразмеру), которые могут одновременно экспонироваться на установке проекционной литографии с сохранением полного функционала (автоматические загрузка/выгрузка, угловая ориентация и обеспечение плоскостности поверхности пластин) и без необходимости предварительного переоборудования данной установки. Адаптер представляет собой основание в виде диска с цилиндрическим углублением диаметром несколько больше используемых полупроводниковых пластин, прижимное кольцо с внешним диаметром, соответствующим диаметру углубления в диске и прижимных пластины. Полезная модель создана при финансовой поддержке Министерства образования и науки Российской Федерации в рамках соглашения о предоставлении субсидии №14.577.21.0281 от 23.10.2017, уникальный идентификатор проекта RFMEFI57717X0281.
Расширение номенклатуры полупроводниковых пластин (по типоразмеру), которые могут быть одновременно экспонироваться на установке проекционной литографии, без необходимости предварительного переоборудования данной установки.
Троян П. Е.
Ведущий научный сотрудник
Рулевский В.М.
ректор
20.53.23
Средства передачи информации
29.31.21
Оптика твердых тел
29.19.31
Полупроводники
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
01.02.ET
COMPUTER SCIENCE, INFORMATION SYSTEMS
01.03.SY
OPTICS
Павел
Троян
Ефимович
Корректировка общей конструкции адаптера полупроводниковых пластин. Разработка системы вакуумного прижима адаптера.
Сергей
Ишуткин
Владимирович
Расчёт и разработка конструкции адаптера полупроводниковых пластин. Создание опытного образца адаптера полупроводниковых пластин.
Юрий
Жидик
Сергеевич
Разработка конструкции адаптера полупроводниковых пластин
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ТУСУР
Федеральное государственное  бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники"
1027000867068
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения