способ формирования клиновидного профиля для создания кремниевого дискового резонатора, работающего в режиме шепчущей галереи
кремниевый дисковый резонатор, интегрально-оптическая технология
Оптические резонаторы с высокой добротностью являются ключевыми элементами фотоники и радиофотоники. В силу большого коэффициента преломления (n=3,46) кремний обладает высокой оптической нелинейностью, что делает резонаторы, изготовленные из кремния перспективными для приложений нелинейной оптики. Одним из наиболее значимых параметров таких резонаторов является добротность. Для обеспечения  максимальной добротности необходимо изготовить структур с оптимальной величиной угла клиновидного профиля, обеспечивающей максимальное удержание светового потока. Также важно обеспечить формирование структуры дискового резонатора с минимальной шероховатостью границы раздела кремний-окружающая среда. Это необходимо для минимизации рассеяния, которое возникает на указанной границе раздела. Разработанный способ изготовления позволяет сформировать кремниевый дисковый резонатор с клиновидным профилем на основе КНИ-структуры с последующим формированием "ножки" и"подреза" в скрытом слое оксида кремния.
Информационно-телекоммуникационные системы
Генералов С.С.
начальник лаборатории
Сницар В.Г.
Зам. директора по инновационной деятельности
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.00
Electrical eng, electronic eng
Владимир
Амеличев
Викторович
способ формирования клиновидного профиля для создания кремниевого дискового резонатора, работающего в режиме шепчущей галереи
Сергей
Генералов
Сергеевич
способ формирования клиновидного профиля для создания кремниевого дискового резонатора, работающего в режиме шепчущей галереи
Анастасия
Якухина
Владимировна
способ формирования клиновидного профиля для создания кремниевого дискового резонатора, работающего в режиме шепчущей галереи
Дмитрий
Горелов
Викторович
способ формирования клиновидного профиля для создания кремниевого дискового резонатора, работающего в режиме шепчущей галереи
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НПК "Технологический центр"
Федеральное государственное бюджетное научное учреждение «Научно-производственный комплекс «Технологический центр"
1027700428480
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения