Газоструйный способ осаждения алмазных пленок с активацией в плазме СВЧ разряда
СВЧ-активация газофазное осаждение алмазные покрытия
Устройство позволяет достигнуть скорости осаждения до 100мкм/час и получать высококачественные алмазные покрытия с нано и микро размерами кристаллов, управляя  параметрами процесса осаждения. Качество полученных алмазных покрытий позволяет их использовать в качестве теплопроводной электроизолирующей основы для размещения микроэлектронных устройств с целью интенсификации их охлаждения.
Алмаз хорошо совместим с биологическими объектами, поскольку химически инертен. Поэтому применение получаемых покрытий возможно в медицине.
Использование данной полезной модели позволяет ускорить процесс осаждения и получать высококачественные алмазные покрытия.
Использование данного изобретения позволяет ускорить процесс осаждения алмаза до 100мкм/час и более и получать высококачественные алмазные покрытия
Сергей
Новопашин
Андреевич
Ведущий научный сотрудник
Доктор физико-математических наук
Старший научный сотрудник
A-4741-2014
6603849573
8416
0000-0003-0220-7366
РОССИЯ
Дмитрий
Маркович
Маркович
Директор
РОССИЯ
81.09.30
Наноматериалы
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Алексей
Ребров
Кузьмич
РОССИЯ
Михаил
Плотников
Юрьевич
РОССИЯ
Николай
Тимошенко
Иванович
РОССИЯ
Иван
Юдин
Борисович
РОССИЯ
Алексей
Емельянов
Алексеевич
РОССИЯ
Михаил
Исупов
Витальевич
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИТ СО РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ТЕПЛОФИЗИКИ ИМ. С.С. КУТАТЕЛАДЗЕ СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
1025403648786
ДМИТРИЙ
МАРКОВИЧ
МАРКОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения