Программа для определения толщин ультратонких пленок по данным РФЭС
анализ поверхности тонкие плёнки фотоэлектронный спектр рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
Программа предназначена для специалистов, занимающихся анализом поверхности методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии (РФЭС). Предлагаемая программа позволяет проводить послойный химический и фазовый анализ по данным РФЭС. Послойный химический и фазовый анализ состоит из: вычитания фона многократно неупругорассеянных фотоэлектронов, учитывающего неоднородность неупругого рассеяния по глубине; разложения фотоэлектронной линии на составляющие пики, учитывающего физическую природу различных параметров разложения (спин-орбитальное расщепление фотоэлектронного уровня, уширение спектральных линий, сдвиг энергии связи за счет образования химически связанных состояний, сателлиты линии за счет не монохромности рентгеновского источника); решения задачи вычитания фона и разложения фотоэлектронной линии совместно; определения толщин слоёв многослойной мишени по простой формуле [Lubenchenko A. V. et al. XPS study of multilayer multicomponent films //Applied Surface Science. – 2018. – Т.427. – С.711-721.].
при определении состава наноразмерных многокомпонентных плёнок методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопией
Алексей
Дедов
Викторович
зав.кафедрой
Доктор технических наук
Доцент
S-7336-2016
36106878500
111363
РОССИЯ
Виктор
Драгунов
Карпович
проректор по научной работе
РОССИЯ
44.33.33
Термоядерная энергетика
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
29.19.25
Взаимодействие проникающего излучения с твердыми телами
30.17.35
Тепломассоперенос
01.03.UF
PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
Дмитрий
Иванов
Александрович
разработка исходного текста программы 20%
РОССИЯ
Александр
Лубенченко
Владимирович
разработка исходного текста программы 55%
РОССИЯ
Ольга
Лубенченко
Игоревна
разработка исходного кода программы 15%
РОССИЯ
Ирина
Иванова
Викторовна
разработка исходного текста программы 10%
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГБОУ ВО "НИУ "МЭИ"
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "МЭИ"
1027700251644
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения