Определение оптимального значения концентрации легирующей примеси
Концентрация легирующая примесь полупроводниковый датчик
Программа предназначена для определения значения концентрации легирующей примеси (бора) при изготовлении чувствительного элемента полупроводникового датчика давления в виде кремниевой мембраны с расположенными на ней тензорезисторами p-типа. При эксплуатации датчика в условиях повышенной температуры у тензорезисторов изменяется значение тензочувствительности и сопротивления. Данные величины являются функциями концентрации легирующей примеси и температуры. В программе вводятся минимальное и максимальное значения концентрации и температуры, на основании которых рассчитывается коэффициент влияния, после чего определяется выходной сигнал мостовой схемы, в которую объединены тензорезисторы и сравнивается с выходным сигналом при нормальной температуре. В качестве оптимального берется такое значение концентрации примеси, при котором температурная погрешность является минимальной.
Полупроводниковый чувствительный элемент тензорезистивного типа для датчика давления
Вадим
Волков
Сергеевич
доцент каф. «Приборостроение»
Кандидат технических наук
Доцент
отсутствует
отсутствует
РОССИЯ
Александр
Гуляков
Дмитриевич
ректор
РОССИЯ
59.14.15
Проектирование и конструирование механических измерительных приборов
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Елизавета
Рыблова
Анатольевна
РОССИЯ
Вадим
Волков
Сергеевич
РОССИЯ
ФГБОУ ВО "ПГУ", ПЕНЗЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ, ФГБОУ ВО "ПЕНЗЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ПЕНЗЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1025801440620
АЛЕКСАНДР
ГУЛЯКОВ
ДМИТРИЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ФГБОУ ВО "ПГУ", ПЕНЗЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ, ФГБОУ ВО "ПЕНЗЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ПЕНЗЕНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1025801440620
АЛЕКСАНДР
ГУЛЯКОВ
ДМИТРИЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения