Устройство дозированной подачи реактивных паров
микроэлектроника реакторы периодического действия для осаждения или травления дозированная подача реактивного пара в плазмохимические реакторы процессы атомно-слоевого осаждения и травления материалов в технологиях производства ЭКБ
Сущность изобретения заключается в том, что в устройстве дозированной подачи реактивных паров, содержащем вакуумную камеру, соединенную с источником плазмы, модуль откачки, соединенный посредством первого вентиля с вакуумной камерой, при этом в вакуумной камере установлен подложкодержатель, соединенный с блоком нагрева, содержащий также, по меньшей мере, одну систему подачи паров прекурсора, включающую контейнер с прекурсором, сопряженный с нагревателем, резервуар с парами прекурсора, соединенный с датчиком давления, соединенный посредством второго вентиля с контейнером с прекурсором и соединенный посредством третьего вентиля с источником плазмы, содержащий также модуль подачи газов, соединенный посредством четвертого вентиля с модулем регулирования расхода газов, который соединен с источником плазмы, содержащий также контроллер, модуль подачи газов через пятый вентиль соединен с резервуаром с парами прекурсора. Технический результат изобретения заключается в контроле за импульсной дозировкой и уменьшении расхода прекурсора, что удешевляет и повышает качество технологических плазмохимических процессов.
Изобретение относится к области микроэлектроники, в частности к устройствам дозированной подачи реактивного пара в плазмохимические реакторы периодического действия для осаждения или травления тонких пленок, в частности, но не исключительно, в результате последовательных самонасыщенных поверхностных реакций.
Вадим
Одиноков
Васильевич
Заместитель генерального директора по науке
Доктор технических наук
Профессор
-
-
РОССИЯ
Михаил
Бирюков
Георгиевич
Генеральный директор
РОССИЯ
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Павел
Иракин
Александрович
РОССИЯ
Георгий
Павлов
Яковлевич
РОССИЯ
Владимир
Долгополов
Миронович
РОССИЯ
Виктор
Варакин
Михайлович
РОССИЯ
МИНПРОМТОРГ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1047796323123
ДЕНИС
МАНТУРОВ
ВАЛЕНТИНОВИЧ
Организация
Министерство промышленности и торговли Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
АО НИИТМ
Акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения"
1027700037749
Организация
Приватизированные предприятия
Непубличные акционерные общества