Программа для расчета параметров межуровневой разводки для адаптивного микрозеркала
АДАПТИВНОЕ МИКРОЗЕРКАЛО ПАРАМЕТРЫ МЕЖУРОВНЕВОЙ РАЗВОДКИ РАСЧЕТ ТОЛЩИНЫ ИЗОЛЯЦИОННОГО СЛОЯ РАСЧЕТ ПАРАМЕТРОВ
Программа позволяет рассчитать минимальное расстояние между проводниками в одной плоскости, минимальную толщину межуровневой изоляции, параметры проводника и его поперечное сечение. В программе заложен цикл работы для исследования расстояния между проводниками, во избежание диэлектрического пробоя, и экспериментальные данные в диапазоне от 0,1 мкм до 10 мкм с шагом 0,1 мкм. Также программа позволит рассчитать толщину изоляционного слоя, ширину и длину проводника на месте пересечения. Программа позволяет отобразить результат расчета в виде расчетных значений напряженности поля и минимального расстояния между проводниками, также минимальную толщину межуровневой изоляции, длину и ширину проводника на месте пересечения
Программа может быть использована для расчета минимального расстояния между проводниками в одной плоскости, минимальную толщину межуровневой изоляции, параметры проводника и его поперечное сечение.
Евгений
Шестериков
Викторович
Директор НОЦ "Нанотехнологии"
Кандидат технических наук
Отсутствует
AAE-3450-2019
23995925500
-
0000-0003-4844-8376
РОССИЯ
Ольга
Аркатова
Евгеньевна
Начальник ОМКиИС
РОССИЯ
47.33.33
Оптоэлектронные приборы
01.03.SY
OPTICS
Дарья
Шестерикова
Александровна
РОССИЯ
Евгений
Барбин
Сергеевич
РОССИЯ
Ангелина
Гуляева
Алексеевна
РОССИЯ
Дмитрий
Бабошко
Вадимович
РОССИЯ
Тхе
Фам
Хынг
РОССИЯ
ТУСУР, ФГБОУ ВО "ТУСУР", ФГБОУ ВО "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ", ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ"
1027000867068
ВИКТОР
РУЛЕВСКИЙ
МИХАЙЛОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ТУСУР, ФГБОУ ВО "ТУСУР", ФГБОУ ВО "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ", ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ"
1027000867068
ВИКТОР
РУЛЕВСКИЙ
МИХАЙЛОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения