Чувствительный элемент микромеханического датчика
линейное ускорение микромеханический датчик чувствительный элемент
Полезная модель относится к области электротехники, в частности к измерительной технике, и может быть использована при создании микромеханических датчиков линейного ускорения для систем управления подвижных объектов различного назначения. Технический результат заключается в повышении точности измерения. Достигается тем, что разработан чувствительный элемент микромеханического датчика, содержащий основание, инерционную массу, упругие элементы, закрепленные на основании и инерционной массе, емкостную систему съема сигнала, сформированную из подвижных элементов на инерционной массе и неподвижных элементов на основании, при этом упругие элементы имеют П-образную форму и есть перфорация инерционной массы.
Задачей, на решение которой направлена полезная модель, является повышение точности измерения - полоса пропускания влияет на точность измерения динамично меняющегося ускорения.
Для достижения поставленной задачи разработан чувствительный элемент микромеханического датчика, содержащий основание, инерционную массу, упругие элементы, закрепленные на основании и инерционной массе, емкостную систему съема сигнала, сформированную из подвижных элементов на инерционной массе и неподвижных элементов на основании, отличающий тем, что упругие элементы имеют П-образную форму и есть перфорация инерционной массы.
Для преодоления технологических барьеров в области разработки цифровых сенсорных платформ
Сергей
Тимошенков
Петрович
Директор Института НМСТ
Доктор технических наук
Профессор
U-7471-2017
6701370245
1947-0541
0000-0001-5411-1804
РОССИЯ
Сергей
Гаврилов
Александрович
Проректор
РОССИЯ
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Сергей
Тимошенков
Петрович
разработка конструкции чувствительного элемента микромеханического датчика
РОССИЯ
Степан
Анчутин
Александрович
моделирование конструкции чувствительного элемента микромеханического датчика
РОССИЯ
Вячеслав
Плеханов
Евгеньевич
разработка конструкции чувствительного элемента микромеханического датчика
РОССИЯ
Елена
Кочурина
Сергеевна
моделирование конструкции чувствительного элемента микромеханического датчика
РОССИЯ
Андрей
Михеев
Владимирович
моделирование конструкции чувствительного элемента микромеханического датчика
РОССИЯ
Максим
Головинский
Сергеевич
анализ разработанной конструкции чувствительного элемента микромеханического датчика
РОССИЯ
Алексей
Тимошенков
Сергеевич
разработка конструкции чувствительного элемента микромеханического датчика
РОССИЯ
Александр
Мусаткин
Сергеевич
анализ разработанной конструкции чувствительного элемента микромеханического датчика
РОССИЯ
ФОНД НТИ
ФОНД ПОДДЕРЖКИ ПРОЕКТОВ НАЦИОНАЛЬНОЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ ИНИЦИАТИВЫ
1167700062529
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Фонды
МИЭТ;  Национальный исследовательский университет "МИЭТ"; НИУ МИЭТ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
1027739615584
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения