МИПРОМ
пористые силикатные стекла функциональные керамические материалы сегнетоэлектрики магнетронное распыление
Область применения: Технология осаждения металлических пленок.
Программа поддерживает следующие основные функции:
•	Расчет скорости осаждения металлической пленки при магнетронном распылении
•	Расчет равномерности получаемой пленки
•	Вывод через графический интерфейс распределения толщины и равномерности получаемой пленки
•	Возможность через графический интерфейс варьировать физико-технологическими параметрами при магнетронном распылении
Программа предназначена для расчета толщины и равномерности металлической пленки при магнетронном распылении
Андрей
Тумаркин
Вилевич
Профессор
Доктор технических наук
Доцент
D-7444-2014
7003917635
128654
0000-0001-9858-3846
РОССИЯ
Александр
Семенов
Анатольевич
Проректор по научной и инновационной деятельности
РОССИЯ
29.19.35
Сегнетоэлектрики и антисегнетоэлектрики
47.33.37
Приборы функциональной микроэлектроники
47.09.41
Стекла, ситаллы, керамика
31.15.19
Химия твердого тела
47.09.33
Сегнетоэлектрики и пьезоэлектрики
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Артем
Карамов
Рамикович
РОССИЯ
Евгений
Сапего
Николаевич
РОССИЯ
Марк
Шауро
Александрович
РОССИЯ
Андрей
Тумаркин
Вилевич
РОССИЯ
Алексей
Богдан
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
СПбГЭТУ "ЛЭТИ"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет “ЛЭТИ” им. В.И. Ульянова (Ленина)"
1027806875381
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения