Способ определения механических свойств тонкопленочных мембран, сформированных над круглыми отверстиями
межоперационный контроль тонкопленочные мембраны микроэлектронные технологии
Область применения изобретения – анализ сформированных над круглыми отверстиями мембран, изготовленных по микроэлектронным технологиям. Изобретение относится к исследованиям прочностных свойств пленок и мембран, анализу работы изделий на их основе. Изобретение может быть использовано для анализа зависимости прогиба от избыточного давления при проведении испытаний пленок и мембран и последующих расчетов параметров датчиков давления, изготовленных на их базе.
Для преодоления технологических барьеров в соответствии с дорожной картой сквозной цифровой технологии «компоненты робототехники и сенсорика»
Алексей
Переверзев
Леонидович
Руководитель ЛИЦ
Доктор технических наук
Доцент
C-9418-2017
57150587000
211223
0000-0002-5834-5138
РОССИЯ
Сергей
Гаврилов
Александрович
Проректор
РОССИЯ
59.35.71
Узлы, блоки, элементы, детали приборов для измерения состава и физико-химических свойств веществ и материалов
59.14.21
Проектирование и конструирование электронных измерительных приборов
55.30.33
Технологическая оснастка, периферийные устройства и вспомогательное оборудование роботов и манипуляторов
47.13.10
Технология и оборудование для производства изделий электронной техники СВЧ-диапазона
01.02.ET
COMPUTER SCIENCE, INFORMATION SYSTEMS
Анна
Дедкова
Александровна
проведение патентного поиска, написание текста заявки
РОССИЯ
Валерий
Киреев
Юрьевич
корректировка материалов заявки
РОССИЯ
Владимир
Беспалов
Александрович
постановка задачи
РОССИЯ
Алексей
Переверзев
Леонидович
разработка структуры заявки
РОССИЯ
ФОНД НТИ
ФОНД ПОДДЕРЖКИ ПРОЕКТОВ НАЦИОНАЛЬНОЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ ИНИЦИАТИВЫ
1167700062529
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Фонды
МИЭТ;  Национальный исследовательский университет "МИЭТ"; НИУ МИЭТ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
1027739615584
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения