Интегральный микроэлектромеханический переключатель
интегральный микромеханический переключатель,  ускорение, коммутация сигналов
Изобретение относится к  микросистемной техники, и может быть использовано в интегральной электронике для коммутации сигналов.Технический результат заключается в возможности коммутации сигналов сантиметрового волнового диапазона с низкими вносимыми потерями, низкой индуктивностью, низким напряжением смещения, малым временем переключения из одного состояния в другое, исключение чувствительности к вибрациям, внешним ускорениям в положительном и отрицательном направлении осей X, Y, Z, наличие механизмов возвращения подвижного электрода электростатического привода в исходное состояние в случае его прилипания в нижнем или верхнем положении, исключение произвольных срабатываний переключателя при коммутации сигналов высокой мощности, повышение жесткости конструкции неподвижного верхнего электростатического привода.
В интегральной электронике для коммутации сигналов.
Коноплев Б.Г.
Профессор
Доктор технических наук
Метелица А.В..
И.о. проектора по научной  и исследовательской деятельности
47.33.33
Оптоэлектронные приборы
47.03.05
Теоретические основы полупроводниковых приборов, микроэлектроники
47.33.31
Интегральные микросхемы
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Алексей
Ткаченко
Вячеславович
Разработка функциональной (технологической)схемы интегрального микроэлектромеханического переключателя
Алина
Исаева
Сергеевна
Разработка действующей технологии интегрального микроэлектромеханического переключателя
Борис
Коноплев
Георгиевич
Разработка конструкции интегрального микроэлектромеханического переключателя
Игорь
Лысенко
Евгеньевич
Разработка интегрального микроэлектромеханического переключателя
Южный федеральный университет,  ФГАОУ ВО "ЮФУ"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
1026103165241
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью
Южный федеральный университет,  ФГАОУ ВО "ЮФУ"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
1026103165241
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью