Кремниевая структура с диэлектрической изоляцией для высоковольтных микросхем в малогабаритных корпусах
малогабаритный корпус высоковольтная микросхема диэлектрическая изоляция кремниевая структура
Предлагаемая полезная модель относится к конструкции кремниевых структур с диэлектрической изоляцией для высоковольтных микросхем, а именно – для микросхем в малогабаритных корпусах с напряжением питания более 200В.
Техническим результатом предлагаемой полезной модели является повышение пробивного напряжения без увеличения прямого падения напряжения и толщины кристалла.
Указанный технический результат достигается тем, что кремниевая структура с диэлектрической изоляцией для высоковольтных микросхем, состоящая из  подложки на основе кремния, изолированных диэлектриком от подложки кремниевых монокристаллических карманов с двумя скрытыми слоями, первым легированным мышьяком, и выходящим на рабочую поверхность структуры по боковым стенкам карманов, вторым на дне кармана легированный фосфором дозой в интервале (2,5-3,5) 10^13 ионов/см2 и глубиной больше глубины залегания мышьяка на 4-6 мкм и высоковольтным планарным переходом на рабочей стороне кремниевой структуры с  диэлектрической изоляцией, состоящим из плоской части по периферии которой расположены элементы повышающие напряжение пробоя планарного перехода, при этом второй скрытый слой сформирован только под плоской частью планарного перехода.
Микроэлектроника.
Андрей
Демидов
Александрович
гнс
Доктор физико-математических наук
Доцент
B-8234-2012
7004500139
140403
0000-0002-8639-3575
РОССИЯ
Олег
Федонин
Николаевич
Ректор
РОССИЯ
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Евгений
Жарковский
Михайлович
0,25
РОССИЯ
Иван
Куфтов
Владимирович
0,25
РОССИЯ
Николай
Брюхно
Александрович
0,25
РОССИЯ
Игорь
Бутарев
Юрьевич
0,25
РОССИЯ
ЗАО "Группа Кремний Эл"
Закрытое акционерное общество "Группа Кремний Эл"
1023202741781
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Непубличные акционерные общества
ФГБОУ ВО "БГТУ"
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Брянский государственный технический университет"
1023201058627
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения