Способ получения электродных покрытий для оптоэлектронных устройств на основе галогенидных перовскитов
магнетронное распыление полупрозрачный pin солнечный элемент перовскитный солнечный элемент прозрачно-проводящее электродное покрытие
Изобретение относится к технологии получения прозрачных - проводящих электродных покрытий (ППЭП) для создания приборных структур фотоприемников (солнечных элементов, фотодиодов, детекторов), а также прочих оптоэлектронных устройств на основе гибридных галогенидных перовскитов с применением ионно-лучевого метода нанесения. Техническим результатом, достигаемым в представленной изобретении, является высокоскоростной метод нанесения ППЭП на фронтальной поверхности кристаллов или тонких пленок, применяемых для приборных структур фотоприемников на основе галогенидных перовскитов, не требующих наличия буферных слоев и обеспечивающим высо-коэффективный транспорт носителей зарядов после проведения технологической операции. Конечным результатом использования ионно-лучевого напыления для приборных структур фотоприёмников на основе галогенидных перовскитов является получения фронтальных ППЭП при высокой скорости напыления (10 нм/мин) и не требующих применения буферных слоев для защиты от воздействия плазмы.
Изобретение относится к технологии получения прозрачных - проводящих электродных покрытий (ППЭП) для создания приборных структур фотоприемников (солнеч-ных элементов, фотодиодов, детекторов), а также прочих оптоэлектронных устройств на основе гибридных галогенидных перовскитов с применением ионно-лучевого метода нанесения.
Альдо
Ди Карло
нет
Заведующий лабораторией
Кандидат физико-математических наук
Профессор
J-2417-2016
35228968500
9802-4162
https://misis.ru/science/community/scientists/4159/
0000-0001-6828-2380
ИТАЛИЯ
Елена
Босова
Владимировна
Главный специалист ОПКиАНД по доверенности №29-312 от 03.02.2021
РОССИЯ
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Данила
Саранин
Сергеевич
Идея и концептуализация изобретения, анализ полученных экспериментальных данных, прототипирование опытных образцов, подготовка заявки на изобретение
РОССИЯ
Нигина
Талбанова
Прототипирование опытных образцов, подготовка заявки на изобретение
КАЗАХСТАН
Лев
Лучников
Олегович
Прототипирование опытных образцов, подготовка заявки на изобретение
РОССИЯ
Артур
Иштеев
Рустэмович
Прототипирование опытных образцов, подготовка заявки на изобретение
РОССИЯ
Сергей
Диденко
Иванович
Анализ полученных экспериментальных данных, прототипирование опытных образцов, подготовка заявки на изобретение
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
МИСиС, НИТУ "МИСиС"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский технологический университет "МИСиС"
1027739439749
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения