Способ создания капиллярных структур на поверхности кремниевых подложек с использованием метода лазерной записи
аналитическая химия хроматография длины волны турбулентность лаинарность шероховатость кремний лазерная запись
Изобретение относится к способам, специально предназначенным для создания микроструктур на поверхности кремниевых подложек. Предложенный способ может быть использован для изготовления структур капиллярного типа, которые находят применение в устройствах и приборах аналитической химии, микрохроматографии, медицины, химической промышленности, экологического мониторинга и т.д.

Задачей данного изобретения является разработка способа создания капиллярных структур на поверхности кремниевых подложек с использованием метода лазерной записи в квазинепрерывном режиме, минимизирующего шероховатость внутренней поверхности каналов капиллярных структур и не требующего использования дорогостоящих пико-и фемтосекундных лазеров.

При решении поставленной задачи за счет комбинации двух этапов квазинепрерывной низкочастотной лазерной обработки поверхности кремниевых подложек, обеспечивающих повышенное относительно известных методов непрерывной лазерной обработки качество поверхности стенок канала, создается технический результат, который заключается в: повышении эксплуатационных характеристик таких, как расход газовой пробы, площадь сечения микроканала, скорость течения газовой пробы, ламинарность потока, обусловленном увеличением глубины канала и снижением шероховатости его стенок; увеличении скорости обработки поверхности кремниевой подложки относительно существующих методов лазерной записи, обусловленном применением квазинепрерывного лазерного излучения.
Изобретение относится к способам, специально предназначенным для создания микроструктур на поверхности кремниевых подложек. Предложенный способ может быть использован для изготовления структур капиллярного типа, которые находят применение в устройствах и приборах аналитической химии, микрохроматографии, медицины, химической промышленности, экологического мониторинга и т.д.
Ксения
Миланина
Игоревна
Инженер
Отсутствует
Отсутствует
-
57004905700
1096205
0000-0002-9412-1174
РОССИЯ
Владимир
Богатырев
Дмитриевич
Ректор
РОССИЯ
59.35.29
Приборы для измерения состава и физико-химических свойств газов
01.04.EA
CHEMISTRY, ANALYTICAL
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Андрей
Агафонов
Николаевич
РОССИЯ
Константин
Тукмаков
Николаевич
РОССИЯ
Ксения
Миланина
Игоревна
РОССИЯ
Владимир
Платонов
Игоревич
РОССИЯ
Тарас
Андреев
Андреевич
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
САМАРСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "САМАРСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИ АКАДЕМИКА С.П.КОРОЛЕВА"
1026301168310
ВЛАДИМИР
БОГАТЫРЕВ
ДМИТРИЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения