Устройство для обработки диэлектрических изделий быстрыми атомами
тлеющий разряд плазма вакуум ускоренные ионы быстрые атомы распыление поверхности
Изобретение относится к области обработки диэлектрических изделий ускоренными ионами или быстрыми атомами и предназначено для травления канавок с высоким аспектным отношением и получения изделий с повышенными механическими и электрофизическими характеристиками поверхности за счет имплантации в нее легирующих элементов. 
Устройство для обработки изделий быстрыми атомами, содержащее вакуумную камеру, скрепленный с последней полый корпус и соединенный с ней отрицательным полюсом источник питания разряда, снабжено установленным в вакуумной камере анодом, соединенным с положительным полюсом источника питания разряда, установленным на полом корпусе высоковольтным вводом напряжения, набором плоскопараллельных металлических пластин, установленных внутри полого корпуса на границе с вакуумной камерой и соединенных электрически друг с другом и с высоковольтным вводом напряжения, генератором высоковольтных импульсов напряжения, соединенным положительным полюсом с вакуумной камерой, а отрицательным полюсом - с высоковольтным вводом напряжения, и установленным на полом корпусе съемным фланцем, являющемся держателем обрабатываемых изделий.
1 ил.
Возможным направлением использования данного изобретения является область проектирования и изготовления инновационных конструкций вакуумно-плазменного оборудования, а также совершенствование установок, используемых в промышленности и лабораториях.
Александр
Метель
Сергеевич
Профессор
Доктор физико-математических наук
Профессор
-
-
РОССИЯ
Александр
Зеленский
Александрович
И.о. проректора по НРиНТП
РОССИЯ
47.14.15
Проектирование и конструирование приборов молекулярной электроники
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Юрий
Мельник
Андреевич
разработка конструкции  набора плоскопараллельных металлических пластин
РОССИЯ
Сергей
Григорьев
Николаевич
разработка общей конструкции устройства для обработки изделий быстрыми атомами, обеспечивающего повышение однородности обработки  при низком уровне загрязнения изделий, пониженном давлении газа и повышенном сроке службы устройства
РОССИЯ
Александр
Метель
Сергеевич
разработка технического решения, связанного с созданием и размещением набора плоскопараллельных металлических пластин соединенных электрически друг с другом и с высоковольтным вводом напряжения
РОССИЯ
Марина
Волосова
Александровна
экспериментальная реализация технического решения и исследования модели заявленного устройства
РОССИЯ
Энвер
Мустафаев
Серверович
выполнение расчетов для  наилучшего расположения  набора плоскопараллельных металлических пластин в вакуумной камере с целью обеспечения максимальной эффективности устройства
РОССИЯ
РНФ
Российский научный фонд
1137799022261
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Фонды
ФГБОУ ВО «МГТУ «СТАНКИН»
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
1037700246451
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения