Способ формирования интенсивного пучка газовых частиц для модификации поверхности материалов, основанный на технологии газовых кластерных ионов
ГАЗОВЫЙ КЛАСТЕРНЫЙ ИОН ФРАГМЕНТАЦИЯ КЛАСТЕРОВ РАСПЫЛЕНИЕ ПОВЕРХНОСТИ ИНТЕНСИВНОСТЬ ИОННОГО ПУЧКА
Изобретение относится к способам обработки поверхности различных материалов с помощью бомбардировки интенсивным потоком газовых частиц (молекул и малых кластеров) с малой удельной кинетической энергией. Сущность изобретения заключается в том, что такой поток формируется путем фрагментации ускоренных газовых кластерных ионов на фоновых частицах газа в малом объёме непосредственно перед мишенью. При этом фон создается в результате рассеяния самого кластерного пучка на мишени.
Обработка поверхности различных материалов в электронике, оптике, фотонике и других областях с целью улучшения их функциональных характеристики.
Николай
Коробейщиков
Геннадьевич
Ведущий научный сотрудник
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
A-7820-2014
6603260292
17880
https://pure.nsu.ru/portal/ru/persons/--(3ffa0b6c-7fe7-41bf-beda-197b257f02ca).html
0000-0003-1047-4894
РОССИЯ
Дмитрий
Чуркин
Владимирович
проректор по научно-исследовательской деятельности
РОССИЯ
29.29.49
Атомные кластеры. Молекулярные кластеры
29.29.41
Взаимодействие атомов и молекул со средой
29.19.21
Влияние облучения на свойства твердых тел
01.03.UF
PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
01.03.UH
PHYSICS, ATOMIC, MOLECULAR & CHEMICAL
02.05.PM
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
Иван
Николаев
Владимирович
РОССИЯ
Николай
Коробейщиков
Геннадьевич
РОССИЯ
РНФ
Российский научный фонд
1137799022261
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Фонды
Новосибирский государственный университет; НГУ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Новосибирский национальный исследовательский государственный университет"
1025403658565
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения