Магнетронная распылительная система с саморегулирующимся магнитным полем
магнетронная распылительная система магнетрон катодное распыление коэффициент использования материала ферромагнетики
Магнетронная распылительная система на постоянных магнитах с саморегулирующимся магнитным полем над катодом. Полезная модель относится к плазменной технике, предназначена для нанесения покрытий посредством магнетронного распыления материала и может быть использована в машиностроении, оптике, электротехнической и других областях промышленности. Принцип работы основан на перераспределении магнитного потока между двумя контурами при изменении магнитного сопротивления катода. Магнитная система представляет собой два соосных магнитопровода (поз. 4 и 5), в зазоре между которыми установлены магниты (поз. 3) с радиальным направлением намагниченности. Катод (поз. 1) и шунт (поз. 2) установлены с противоположных торцов магнитной системы.
Устройство применяется для нанесения тонкопленочных покрытий в вакууме. Позволяет работать с катодами, обладающими различными магнитными свойствами, на одном устройстве без внесения изменений в его конструкцию.
Возможные области промышленности: микроэлектроника, оптика, биомедицина
Михаил
Конуркин
Михайлович
Генеральный директор
Отсутствует
Отсутствует
-
-
РОССИЯ
Михаил
Конуркин
Михайлович
Генеральный директор
РОССИЯ
47.29.33
Газоразрядные приборы и устройства
55.22.19
Металлические покрытия
02.11.OA
INSTRUMENTS & INSTRUMENTATION
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Михаил
Конуркин
Михайлович
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "ВАКУУМ СПАТТЕРИНГ СИСТЕМС"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ВАКУУМ СПАТТЕРИНГ СИСТЕМС"
1225000123270
МИХАИЛ
КОНУРКИН
МИХАЙЛОВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью