Топология кристалла клапана на основе тонкопленочной мембраны с микросхемой управления положения клапана
Топология Микросхема Мембрана Клапан МЭМС Сквозные канавки в кремнии
Функция топологии кристалла клапана на основе тонкопленочной мембраны с микросхемой управления положения клапана заключается в возможности выполнять контроль герметичности микросборки.
Традиционная герметизация кристаллов осуществляется в сборочном производстве индивидуально, то есть за одну технологическую операцию образуется микросборка из двух-трех кристаллов. В передовых технологиях для сборки микросхем используется групповая технология WLCSP (соединения двух и более пластин с одинаковым (или близким) размером кристаллов), что позволяет за одну операцию получить микросборку из нескольких сотен кристаллов.
Внедрение и развитие данной технологии позволяет решить следующие проблемы:
1 – Высокая стоимость затрат на пресс-формы, штампы, контактирующие устройства;
2 – Большие габариты конечного изделия в корпусе;
3 – Недостаточная надежность изделия за счёт большого количества внешних вводов.
Интеграция данной топологии с технологией TSV позволит увеличить надежность изделий при производстве МЭМС устройств.
Константин
Зольников
Владимирович
Генеральный директор
Кандидат технических наук
Отсутствует
-
-
623875
РОССИЯ
Константин
Зольников
Владимирович
Генеральный директор
РОССИЯ
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
47.13.17
Технология производства печатных плат. Печатный монтаж
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Константин
Зольников
Владимирович
РОССИЯ
Евгений
Гусев
Эдуардович
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНЫЕ МИКРОСИСТЕМЫ"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНЫЕ МИКРОСИСТЕМЫ"
1213600020479
КОНСТАНТИН
ЗОЛЬНИКОВ
ВЛАДИМИРОВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью