Способ выращивания слоев алмаза на подложке монокристаллического кремния
АЛМАЗ, ПОДЛОЖКИ ИЗ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ
Изобретение относится к области выращивания кристаллов и может быть использовано для получения слоев алмаза большой площади на подложках из монокристаллического кремния. При нагреве мелкодисперсного алмазного порошка в вакуумной среде и в присутствии внешнего электрического поля на полированной поверхности подложки из монокристаллического кремния наблюдается появление твердого слоя, который диагностируется как алмазный.
Изобретение относится к области выращивания кристаллов и может быть использовано для получения слоев алмаза большой площади на подложках из монокристаллического кремния.
Бредихин С. И.
зав. лаб.
Доктор физико-математических наук
Левченко А. А.
Директор
29.17.25
Анизотропные жидкости. Жидкие кристаллы
29.19.11
Дефекты кристаллической структуры
31.15.33
Электрохимия
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Виктор
Ефимов
Борисович
исполнитель
Сергей
Брантов
Константинович
исполнитель
ФАНО России
Федеральное агентство научных организаций
5137746009462
Организация
Правительство Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ИФТТ РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт физики твердого тела Российской академии наук
1025003915243
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения