Способ получения порошков пористого кремния
НАНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ, АНОДНОЕ ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ, ПЛАВИКОВАЯ КИСЛОТА
Сущность способа заключается в том, что получение наноразмерного порошка кремния обеспечивают травлением монокристаллического кремния в ячейке электрохимического травления с контрэлектродом U – образной формы  из нержавеющей стали, с последующим  механическим отделением пористого слоя от подложки, его измельчением в изопропиловом спирте в ультразвуковой ванне и сушкой в естественных условиях, при этом  в качестве электролита используют раствор плавиковой кислоты  в изопропиловом спирте с добавкой 20% по объему перекиси водорода (30 %). Технический результат - увеличение скорости травления монокристаллического кремния.
Изобретение относится к области нанотехнологий и наноматериалов
Середин П.В.
Профессор
Доктор физико-математических наук
Ендовицкий Д.А.
Ректор
29.19.31
Полупроводники
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Александр
Леньшин
Сергеевич
Проведение экспериментальных исследований. Подготовка патента
Владимир
Кашкаров
Михайлович
Проведение экспериментальных исследований. Подготовка патента
Павел
Середин
Владимирович
Проведение экспериментальных исследований. Подготовка патента
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГБОУ ВО "ВГУ"
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Воронежский государственный университет"
1023601560510
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения