Фотошаблон для изготовления пассивных элементов структуры фотонных интегральных схем на платформе SiON
Технологии изготовления интегральных схем Оксинитрид кремния Пассивные компоненты ФИС Фотонные интегральные схемы Интегральная фотоника
Фотошаблон для изготовления пассивных элементов структуры фотонных интегральных схем на платформе SiON был разработан с учетом технологических требований фабрики в результате численного моделирования пассивных компонентов и их оптимизации. Фотошаблон представлен в виде GDS масок с указаниями слоев, толщин и их геометрических параметров. Компоненты фотонных интегральных схем основаны на канальной волноводной структуры на кремниевой подложке, состоящей из нижнего кладдинга (нижнего буферного слоя), волноводного слоя и верхнего кладдинга (верхней оболочки). Фотошаблон включает в себя следующий перечень элементов: калибровочные волноводы, прямые волноводы, изгибы волноводов, линии задержки, модовые конвертеры, решетки ввода-вывода, устройство ввода-вывода через торец, делители на основе многомодовой интерференции, Y-разветвители, направленные ответвители, микрокольцевые резонаторы, модулятор Маха-Цендера.
Телекоммуникации
Аркадий
Шипулин
Владимирович
Генеральный директор
Доктор технических наук
Профессор
L-7404-2017
нет
РОССИЯ
Аркадий
Шипулин
Владимирович
Генеральный директор
РОССИЯ
49.13.13
Проектирование и конструирование устройств связи
02.03.IU
ENGINEERING, MECHANICAL
Кирилл
Малахов
Максимович
РОССИЯ
Елена
Волкова
Евгеньевна
РОССИЯ
Сергей
Васильев
Алексеевич
РОССИЯ
Иван
Казаков
Александрович
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО «ФИСТЕХ»
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ФИСТЕХ"
1207700416109
АРКАДИЙ
ШИПУЛИН
ВЛАДИМИРОВИЧ
Организация
Хозяйственные общества и товарищества с участием иностранных юридических и (или) физических лиц, а также лиц без гражданства
Общества с ограниченной ответственностью