Устройство СВЧ плазменного реактора с регулированием температуры косвенного нагрева подложки
УСТРОЙСТВА ДЛЯ ГЕНЕРИРОВАНИЯ СВЧ ПЛАЗМЫ, КОНТРОЛЬ, СТАБИЛИЗАЦИЯ, РЕГУЛИРОВАНИЕ ТЕМПЕРАТУРЫ, СВЧ ПЛАЗМА ВЫСОКОЙ ПЛОТНОСТИ МОЩНОСТИ
Изобретение относится к исполнительным механизмам в устройствах для генерирования СВЧ плазмы высокой плотности мощности и может быть использовано для обеспечения контроля, стабилизации, регулирования температуры процесса по заданному алгоритму за счет позицинирования и фиксации держателя в горизонтальной плоскости аксиально оси реактора при осаждении алмазных пленок и покрытий на изделия машиностроения и электроники. Изобретение обеспечивает регулирование и поддержание температуры косвенного нагрева подложки длительное время с высокой точностью и не требует корректировки каких-либо  режимных параметров плазмохимического осаждения,  что упрощает конструкцию установки,  обеспечивает ее автономную работу, и снижает потребляемую мощность.
осаждение алмазных пленок и покрытий на изделия машиностроения и электроники
Конов В.И.
Руководитель ЦЕНИ
Гарнов С. В.
Директор
59.14.19
Проектирование и конструирование электрических, электромагнитных и электромеханических измерительных приборов
01.00.00
Natural Sciences
Виталий
Конов
Иванович
предложил подвижный конец сильфонного узла с размещенным на нем штоком размещать  с вакуумной стороны  камеры
Андрей
Большаков
Петрович
предложил подвижную и неподвижную направляющие, соединенные через их верхние и нижние плечи с помощью пластин, упругость которых регулируется  гайками
Александр
Шубников
Валерьевич
предложил второй конец вала шагового двигателя, снабдить кулачком взаимодействующим с датчиком угла поворота, причем эксцентриситет (е) кулачкового механизма равен ходу держателя от среднего положения h0 до крайнего ± h.
Евгений
Ашкинази
Евсеевич
предложил подвижную часть сильфонного узла жестко соединить  с направляющей, связанной с кулачковой муфтой, закрепленной на ведущем валу шагового двигателя привода
Станислав
Рыжков
Геннадиевич
предложил регулирование температуры процесса по заданному алгоритму за счет позицинирования и фиксации держателя в горизонтальной плоскости аксиально оси реактора
Виктор Григорьевич
Ральченко
Григорьевич
предложил  подвижную и неподвижную направляющие соединить  через их верхние и нижние плечи с помощью упругих пластин
ИОФ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "ИНСТИТУТ ОБЩЕЙ ФИЗИКИ ИМ. А.М. ПРОХОРОВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
1027700378595
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения