Программа для моделирования процесса ионно-плазменного нанесения оксинитридных тонких пленок при одновременном распыление мишеней двух химических элементов
скорости осаждения магнетронное распыление
Программа предназначена для нахождения параметров получаемого покрытия при одновременном магнетронном распылении мишеней из кремния и молибдена при подаче в камеру азота и наличии естественной остаточной атмосферы. Программа выполняет функции расчёта характеристической функции, теоретических расчетов парциального давления азота в зависимости от массового расхода азота для процесса реактивного напыления, расчёта скорости осаждения и концентрации материалов мишеней и прореагировавших компонентов газовой смеси на образце.
Методы контроля поперечных сечений многослойных структур полупроводниковых чипов интегральных схем
Владимир
Козлов
Алексеевич
руководитель сектора
Отсутствует
Отсутствует
-
-
-
-
РОССИЯ
Сергей
Гаврилов
Александрович
Проректор
РОССИЯ
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Сергей
Гаврилов
Александрович
РОССИЯ
Mаксим
Силибин
Викторович
РОССИЯ
Сергей
Дубков
Владимирович
РОССИЯ
Данил
Бутманов
Денисович
РОССИЯ
Владислав
Громов
Дмитриевич
РОССИЯ
Дмитрий
Громов
Геннадьевич
РОССИЯ
Егор
Лебедев
Александрович
РОССИЯ
Дарья
Дронова
Алексеевна
РОССИЯ
Максим
Ширяев
Евгеньевич
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИЭТ"; НИУ МИЭТ;МИЭТ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
1027739615584
ВЛАДИМИР
БЕСПАЛОВ
АЛЕКСАНДРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения