Способ комплексного модифицирования поверхности
Наноструктурированные покрытия детали энергомашиностроения модифицированные поверхностные слои ионно-плазменное азотирование ионная имплантация эксплуатационные свойства физико-механическими характеристики
Изобретение относится к области машиностроения, в частности к методу образования защитного многослойного покрытия на поверхности деталей энергомашиностроения и может быть использован для получения поверхностных слоев с повышенными эксплуатационными и физико-механическими свойствами.
Способ комплексного модифицирования поверхности, включающий откачку воздуха из вакуумной камеры, очистку поверхности изделия и вакуумной камеры в среде инертного газа, ионное травление и формирование покрытия методом физического осаждения из паровой фазы, отличающийся тем, что перед осаждением покрытия проводят модифицирование поверхностного слоя в виде ионной цементации поверхности изделия, а синтез наноструктурированного покрытия системы Ti-С-Si осуществляется с использованием графитокремниего катода, при одновременном проведении процесса плазменного ассистирования несамостоятельным сильноточным диффузионным разрядом, создаваемым плазменным источником и генерации разряда с эффектом полого катода, реализованного системой сформированной оптически прозрачной сеткой и подложкой, установленной на расстоянии 7 мм от нее.
Изобретение может быть использована для создания модифицированных слоев и наноструктурированных покрытий на поверхности деталей энергомашиностроения.
Машиностроение, энергомашиностроение.
Сергей
Григорьев
Николаевич
Заведующий кафедрой
Доктор технических наук
Профессор
AAF-8027-2019
57216628370
39006
0000-0002-8239-5354
РОССИЯ
Владимир
Серебренный
Валерьевич
Ректор
РОССИЯ
55.13.17
Технология производства деталей и узлов машин
02.03.IU
ENGINEERING, MECHANICAL
Сергей
Григорьев
Николаевич
РОССИЯ
Марина
Волосова
Александровна
РОССИЯ
Семен
Шехтман
Романович
РОССИЯ
Надежда
Сухова
Александровна
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГБОУ ВО «МГТУ «СТАНКИН»
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
1037700246451
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения