Способ формирования гексагональной фазы кремния путем имплантации ионов криптона в пленку оксида кремния на пластине монокристаллического кремния
КРЕМНИЙ, ГЕКСАГОНАЛЬНАЯ ФАЗА, ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ, ФОТОЛЮМИНЕСЦЕНЦИЯ
Изобретение относится к полупроводниковой технологии и может быть использовано при изготовлении светоизлучающих приборов на основе гексагональной фазы кремния, обеспечивающей эффективное возбуждение фотолюминесценции. Технический результат от использования предлагаемого способа формирования гексагональной фазы кремния - повышение эффективности формирования указанной фазы за счет повышения технологичности указанного формирования в результате его упрощения.
Изготовление светоизлучающих приборов
Тетельбаум Д.И.
Ведущий научный сотрудник
Доктор физико-математических наук
Загайнова Е.В.
врио ректора
47.09.48
Наноматериалы для электроники
29.19.21
Влияние облучения на свойства твердых тел
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Николай
Кривулин
Олегович
Исследование кристаллической структуры образцов содержащих гексагональную фазу кремния
Валерий
Васильев
Константинович
Ионная имплантация азота и галлия в кремний
Дмитрий
Королев
Сергеевич
Исследование оптических свойств образцов содержащих гексагональную фазу кремния
Дмитрий
Павлов
Алексеевич
Исследование образцов содержащих гексагональную фазу кремния методами просвечивающей электронной микроскопии
Алексей
Михайлов
Николаевич
Анализ закономерностей формирования гексагональной фазы кремния
Давид
Тетельбаум
Исаакович
Общее руководство проектом
Алена
Никольская
Андреевна
Обзор литературы по методам гексанализации кремния
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ННГУ им. Н.И. Лобачевского
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования «Национальный исследовательский Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского».
1025203733510
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения