Способ переработки остатков от магнетронного распыления мишени
переработка магнетронное распыление мишени магнетронный
Изобретение относится к области переработки остатка от мишени, использованной для магнетронного распыления оксида индия-олова, с целью получения водного индийсодержащего раствора. Остаток мишени измельчают до порошкообразного состояния и растворяют порошок в растворе серной кислоты. Причем сначала проводят первую стадию, на которой остаток мишени размером более 5 см дробят на куски размером 1 см. Далее с помощью мельницы измельчают до фракции порошка менее 163 мкм, механически активируют истиранием в течение 10 мин. Полученный порошок порциями по 10 % от его исходной массы растворяют в серной кислоте концентрацией 165-200 г/л, нагретой до температуры 50-80°С, при интенсивном перемешивании механической мешалкой со скоростью 800 об/мин в течение 45-150 мин. Затем проводят вторую стадию, на которой индийсодержащий раствор фильтруют, нерастворенный осадок повторно растворяют в серной кислоте. Полученные растворы смешивают. Изобретение обеспечивает получение водного индийсодержащего раствора из остатка от магнетронного распыления мишени оксида индия-олова, из которого в последующем возможно извлечение индия. 1 ил., 2 пр.
Переработка остатка от мишени
Получение водного индийсодержащего раствора
Материаловедение
61.01.91
Отходы химических производств и их переработка. Вторичное сырье. Ресурсосбережение
Иван
Барышев
Сергеевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
РОССИЯ
Андрей
Шунайлов
Владимирович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
РОССИЯ
Анатолий
Сенин
Владимирович
"Кандидат химических наук"
"Доцент"
"-"
"6701600899"
"-"
РОССИЯ
Геннадий
Михайлов
Георгиевич
"Доктор технических наук"
"Профессор"
"J-9757-2012"
"57188708927"
"120089"
"https://www.susu.ru/ru/professors%20hall/gennadiy-georgievich-mihaylov"
""
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ЮЖНО-УРАЛЬСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ (НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)"
1027403857568
АЛЕКСАНДР
ВАГНЕР
РУДОЛЬФОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ЮЖНО-УРАЛЬСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ (НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ)"
1027403857568
АЛЕКСАНДР
ВАГНЕР
РУДОЛЬФОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения