Низкотемпературный способ нанесения металлических или металлооксидных слоев на органические подложки
термическое напыление электроннолучевое испарение тормозное излучение
Метод термического напыления является распространенным методом получения металлических пленок, однако получаемые пленки обладают высокой пористостью и низкой адгезией из-за низкой кинетической энергии осаждаемых частиц. Распыленные атомы имеют большую кинетическую энергию, что приводит к существенному увеличению качества тонкопленочного покрытия, но создает риск повреждения подложки. При электроннолучевом испарении отраженные электроны и тормозное излучение также могут повреждать подложку. Для получения покрытий с необходимым коэффициентом пропускания, отражения, электропроводности и хорошей адгезией к полимерной подложке необходим усовершенствованный метод. В основе предлагаемого метода лежит создание подслоя, минимизирующего воздействие тормозного излучения электронов перед использованием электроннолучевого испарения.
Создание токопроводящих слоев для микроэлектроники и микродисплейной техники.
Денис
Чаусов
Николаевич
Заведующий лабораторией
Доктор физико-математических наук
Доцент
F-1873-2017
23983935000
3866-5362
0000-0002-1287-6427
РОССИЯ
Сергей
Гарнов
Владимирович
директор
РОССИЯ
29.19.03
Теория конденсированного состояния
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Денис
Чаусов
Николаевич
РОССИЯ
Иван
Власов
Александрович
РОССИЯ
Сергей
Стахарный
Алексеевич
РОССИЯ
Александр
Нуреев
Вадимович
РОССИЯ
Александр
Курилов
Дмитриевич
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИОФ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "ИНСТИТУТ ОБЩЕЙ ФИЗИКИ ИМ. А.М. ПРОХОРОВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
1027700378595
СЕРГЕЙ
ГАРНОВ
ВЛАДИМИРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения