Способ изготовления автоэмиссионного катода лезвийного типа
автоэмиссия МЭМС вакуумная наноэлектроника катод травление лезвийный катод
Изобретение относится к электронной технике, к катодам электронных приборов СВЧ-типа, например, лампам бегущей волны (ЛБВ). Технический результат - повышение стабильности эмиссионной способности катодов. Способ изготовления автоэмиссионного катода лезвийного типа включает операции последовательного нанесения рельефной пленки, пленки материала катода, выступающих в роли масок травления и формирование эмитирующей поверхности автоэмиссионного катода --ребра лезвийной формы. Ребро эмитирующей поверхности формируется жидкостным анизотропным травлением кремния до выхода фронта растрава на стоп-слой – рельефную пленку, состоящую из комбинации двух слоев: одного слоя Si02 и одного слоя SiзN4.
Изобретение относится к электронной технике, к изготовлению катодов электронных приборов СВЧ-типа, например, в лампах бегущей волны (ЛБВ).
Владимир
Беспалов
Александрович
Ректор
Доктор технических наук
Профессор
P-6799-2015
57196985488
44925
-
РОССИЯ
Сергей
Гаврилов
Александрович
Проректор
РОССИЯ
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Николай
Дюжев
Алексеевич
РОССИЯ
Максим
Махиборода
Александрович
РОССИЯ
Татьяна
Грязнева
Алексеевна
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИЭТ"; НИУ МИЭТ;МИЭТ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
1027739615584
ВЛАДИМИР
БЕСПАЛОВ
АЛЕКСАНДРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения