Программа моделирования электронно-стимулированной термической деполимеризации резиста
электронно-стимулированная деполимеризация термическая деполимеризация резист моделирование деполимеризации
Программа позволяет промоделировать локальное распределение молекулярной массы полимерного резиста в ходе его термической деполимеризации при экспонировании электронным лучом в условиях повышенной температуры. Входными данными программы являются средняя длина кинетической цепи деполимеризации, исходные значения среднечисловой и средневесовой молекулярной массы резиста и распределение разрывов молекул резиста. На основе распределения разрывов моделируется константа скорости инициирования кинетической цепи, которая в дальнейшем используется при решении системы кинетических уравнений, описывающих деполимеризацию резиста. Решение системы производится методом Рунге-Кутты 4 порядка при приближении распределения молекулярной массы резиста распределением Шульца-Цимма. Программа имеет клавиатурно-файловый интерфейс ввода данных, вывод результатов моделирования производится в файлы формата .npy.
Программа может быть использована для анализа процессов электронно-стимулированной деполимеризации полимеров и резистов при повышенной температуре при разработке технологий формирования элементов дифракционной оптики, оптоэлектроники и голографических элементов.
Александр
Рогожин
Евгеньевич
старший научный сотрудник
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
N-8835-2016
14042347400
165805
0000-0002-9554-673X
РОССИЯ
Владимир
Лукичев
Федорович
директор
РОССИЯ
47.13.06
Технология и оборудование для производства приборов и устройств квантовой электроники
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
Александр
Рогожин
Евгеньевич
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"N-8835-2016"
"14042347400"
"165805"
"0000-0002-9554-673X"
РОССИЯ
Федор
Сидоров
Алексеевич
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
""
""
""
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФТИАН им. К.А.Валиева РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А.Валиева Российской академии наук
1037739352155
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения