Тестовый элемент для контроля качества изготовления высоковольтных карбидокремниевых диодов Шоттки
карбидокремниевая технология, металлополимерный корпус, биполярный транзистор, полевой транзистор, диод Шоттки
Целью предполагаемой полезной модели является повышение оперативности контроля и его качества при изготовлении карбидокремниевых диодов Шоттки.Указанная цель достигается тем, что тестовый элемент для контроля качества высоковольтных карбидокремниевых диодов Шоттки состоит из сформированных на эпитаксиальной структуре одного типа проводимости планарного рабочего перехода и делительных колец другого типа проводимости, при этом тестовый элемент выполнен в виде структуры латерального транзистора с зазором между планарным рабочим переходом (коллектором) и делительным кольцом (эмиттером), равным расстоянию между делительными кольцами рабочего диода.
Микроэлектроника, а именно может быть использовано для контроля качества при производстве полупроводниковых приборов на основе карбида кремния.
Демидов А.А.
гнс
Доктор физико-математических наук
Федонин О. Н.
Ректор
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Николай
Брюхно
Александрович
0.4
Андрей
Демидов
Александрович
0,3
Иван
Куфтов
Владимирович
0,3
ЗАО "Группа Кремний Эл"
Закрытое акционерное общество "Группа Кремний Эл"
1023202741781
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Непубличные акционерные общества
ФГБОУ ВО "БГТУ"
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Брянский государственный технический университет"
1023201058627
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения