Интегральный микромеханический гироскоп-акселерометр
Интегральный микромеханический гироскоп-акселерометр
Изобретение относится к интегральным измерительным элементам величин угловой скорости и линейного ускорения. Технический результат - измерение величин углового ускорения вдоль осей X и Y, расположенных взаимно перпендикулярно в плоскости подложки, и оси Z, направленной перпендикулярно плоскости подложки, и угловой скорости вдоль оси X, расположенной в плоскости положки, и оси Z, направленной перпендикулярно плоскости подложки.
Изобретение относится к области измерительной техники и микросистемной техники, точнее к интегральным измерительным элементам величин угловой скорости и ускорения
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
Светлана
Шафростова
Игоревна
"Отсутствует"
"Отсутствует"
РОССИЯ
Николай
Кидяев
Филиппович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"-"
"-"
"-"
РОССИЯ
Игорь
Лысенко
Евгеньевич
"Доктор технических наук"
"Доцент"
РОССИЯ
Борис
Коноплев
Георгиевич
"Доктор технических наук"
"Профессор"
РОССИЯ
Южный федеральный университет,  ФГАОУ ВО "ЮФУ"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
1026103165241
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью
Южный федеральный университет,  ФГАОУ ВО "ЮФУ"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
1026103165241
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью