Способ изготовления объемных микроразмерных структур из наночастиц
аддитивные технолгии, 3D-печать, микроразмерные структуры, наночастицЫ
Изобретение относится к аддитивной 3D-технологии для производства преимущественно объемных микроразмерных структур из наночастиц. Способ изготовления объемных микроразмерных структур из наночастиц включает спекание наночастиц на подложке, получение потока аэрозоля с наночастицами в транспортном газе, его нагрев лазерно-оптическим устройством в блоке оптимизации и транспортировку к головке с соплом, подачу аэрозоля и защитного газа в сопло и осаждение наночастиц на подложку. Осаждение и спекание наночастиц на подложке ведут в атмосфере защитного газа, которую создают под соплом. Данное техническое решение позволит повысить гибкость и эффективность управления процессом, упростить устройство при осуществлении способа за счет применения одного лазера для нагрева аэрозоля с наночастицами в потоке транспортного газа для обеспечения получения наночастиц сферической формы требуемого размера и их спекания наночастиц на подложке.
Изготавление объемных микроструктур из металлов и полупроводников для применений в электронике, фотонике, медицинской, аэрокосмической технике.
Иванов В.В.
Директор ФЭФМ
Доктор физико-математических наук
Гаричев С.Н.
Проректор по исследованиям и разработкам
29.19.04
Структура твердых тел
29.33.51
Физические основы применения лазеров
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Алексей
Ефимов
Анатольевич
экспериментальная проверка способа изготовления объемных микроразмерных структур из наночастиц, 20%
Дмитрий
Сапрыкин
Леонидович
разработка способа изготовления объемных микроразмерных структур из наночастиц, 20%
Виктор
Иванов
Владимирович
разработка способа изготовления объемных микроразмерных структур из наночастиц, 20%
Дмитрий
Тужилин
Николаевич
разработка способа изготовления объемных микроразмерных структур из наночастиц, 20%
Кирилл
Хабаров
Михайлович
экспериментальная проверка способа изготовления объемных микроразмерных структур из наночастиц, 20%
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
МФТИ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Московский физико-технический институт (национальный исследовательский  университет)"
1027739386135
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения