Способ подготовки проб для измерения микропримесей элементов в Al, Sb, As, Ba, Be, Bi, B, Cd, Ca, Cr, Co, Cu, Ga, Ge, Fe, Pb, Li, Mg, Mo, Ni, Nb, K, Na, Sr, Sn, Ti, Zn, Pt, Mn, In, Au, Tl, Ta, Se, Ag, V в составе ультрачистой фтористоводородной кислоты для микроэлектроники в диапазоне 0,01-5 ppb методами АЭС-ИСП
МИКРОПРИМЕСИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА АТОМНО-ЭМИССИОННАЯ СПЕКТРОМЕТРИЯ С ИНДУКТИВНО-СВЯЗАННОЙ ПЛАЗМОЙ ФТОРИСТОВОДОРОДНАЯ КИСЛОТА
Предлагаемое решение относится к методам подготовки проб высокочистой фтористоводородной кислоты для микроэлектронники с целью последующего микропримесного элементного анализа
При отработке технологии производства ультрачистой фтористоводородной кислоты для микроэлектроники, реализации выходного контроля лабораторией изготовителем, входного контроля на производствах потребителях
31.19.15
Анализ неорганических веществ
Артем
Исмагулов
Маратович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"57222555385"
РОССИЯ
Мария
Малозовская
Сергеевна
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"0000-0001-5447-9297"
РОССИЯ
Расим
Сайфутяров
Рамилевич
"Кандидат химических наук"
"Отсутствует"
"V-2476-2018"
"56352570200"
"724789"
"0000-0002-5185-8838"
РОССИЯ
Павел
Волков
Александрович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"A-7127-2014"
"56375465800"
"0000-0001-5393-6847"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НИЦ "Курчатовский институт"
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "КУРЧАТОВСКИЙ ИНСТИТУТ"
1027739576006
МАРАТ
КАМБОЛОВ
АРКАДЬЕВИЧ
Организация
Правительство Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения