Способ осаждения тонкой пленки твердого электролита LiPON
ТОНКИЕ ПЛЁНКИ ТВЁРДЫЙ ЭЛЕКТРОЛИТ РЕАКТИВНОЕ АНОДНОЕ ИСПАРЕНИЕ САМОНАКАЛИВАЕМЫЙ КАТОД ИОННАЯ ПРОВОДИМОСТЬ
Изобретение относится к способу получения тонкой пленки из фосфор-оксинитрида лития (LiPON). Способ включает нагрев, испарение ортофосфата лития (Li3PO4) и осаждение паров на поверхность подложек в азотной плазме разряда. Для нагрева тигля используют два разряда, отличающихся степенью взаимодействия с парами ортофосфата лития: основной разряд в смеси азота и паров ортофосфата лития между размещенным в вакуумной камере полым самонакаливаемым катодом, через который подается азот, и тиглем, и вспомогательный разряд между размещенным в вакуумной камере прямонакальным термоэмиссионным катодом и тиглем, плазма которого отделена от потока паров ортофосфата лития экраном. Задают величину суммарного тока основного и вспомогательного разрядов в цепи анода-тигля, которая определяет температуру тигля, величину потока паров ортофосфата лития и скорость осаждения пленки LiPON, и устанавливают соотношение токов основного и вспомогательного разрядов, которое определяет степень диссоциации паров ортофосфата лития, концентрацию свободного лития в плазме и величину ионной проводимости пленки LiPON. Aморфную пленку фосфор-оксинитрида лития осаждают на поверхность подложки с постоянной скоростью при давлении азота 1 Па и температуре подложки не более 300 оС.
Разработка элементов микроэлектроники и источников энергии на основе твердотельных литий-ионных проводников.
29.27.43
Газовый разряд
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
29.19.17
Диффузия и ионный перенос в твердых телах
Владимир
Денисов
Викторович
"Кандидат технических наук"
"Отсутствует"
"E-7276-2014"
"55598586100"
"745667"
"0000-0002-5446-2337"
РОССИЯ
Петр
Третников
Васильевич
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"нет"
"7801598523"
"146316"
"нет"
РОССИЯ
Николай
Гаврилов
Васильевич
"Доктор технических наук"
"Член-корреспондент РАН"
"B-2937-2015"
"7102833615"
"38063"
"0000-0003-1542-0107"
РОССИЯ
Александр
Каменецких
Сергеевич
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"T-8725-2017"
"6508054213"
"0000-0001-6176-1493"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИСЭ СО РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук
1027000871666
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения