ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ СИСТЕМА КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПЛЕНОК И ПЛОСКИХ ИЗДЕЛИЙ
ИНФОРМАЦИОННО-ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА, СЫПУЧИЙ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ МАТЕРИАЛ, ТОЧНОСТЬ ИЗМЕРЕНИЯ, ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ
Изобретение относится к информационно-измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины и массы плоских изделий из диэлектрических материалов полупроводниковых пластин в качестве заготовок для электронных приборов и лекарственных средств в форме таблеток и капсул при автоматизации технологических процессов их изготовления и контроля.Технический результат от использования изобретения заключается в повышении точности измерения, упрощения технической реализации и защите от влияния внешних электромагнитных полей.
Может быть использовано для измерения толщины и массы плоских изделий из диэлектрических материалов полупроводниковых пластин в качестве заготовок для электронных приборов и лекарственных средств в форме таблеток и капсул при автоматизации технологических процессов их изготовления и контроля.
Гуляев В.Г.
доцент
Кандидат технических наук
Лапшин А. А.
ректор
50.47.02
Общие проблемы
01.00.00
Natural Sciences
Валерий
Гуляев
Генрихович
Разработка теоретических основ информационно-измерительной системы контроля толщины диэлектрических пленок и плоских изделий.
Иван
Гуляев
Валерьевич
Разработка методики и проведение экспериментальных исследований измерительной системы на выбранных эталонных образцах.
ННГАСУ; ФГБОУ ВО "Нижегородский государственный архитектурно-строительный университет"
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Нижегородский государственный архитектурно-строительный университет"
1025203021007
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения