Ионизационный сенсор газа на основе вертикально-ориентированных углеродных наноструктур
Газ Углеродные наноструктуры Автоэмиссия Нанотехнологии Сенсор
Полезная модель может быть использована при производстве устройств на основе полупроводниковых технологий микро- и наноэлектроники, предназначенных для детектирования и измерения параметров воздушной среды, а также макроскопических информационных систем. При этом ионизационный сенсор газа на основе вертикально-ориентированных углеродных наноструктур состоит из полупроводниковой подложки, диэлектрического слоя с нанесенным на нее контактным слоем в виде столбчатой структуры из проводящего материала, обеспечивающего контакт к аноду из пленки углеродной наноструктуры, верхней крышки, выполненной из полупроводникового материала, опор, выполненных из диэлектрического материала, обеспечивающих зазор для циркуляции газа, на верхней крышке формируется катод из проводящего материала, отличающийся тем, что между полупроводниковой подложкой и контактным слоем из проводящего металла сформирован дополнительный слой из диэлектрического материала, который является частью общего диэлектрического каркаса сенсора с опорами для циркуляции газовых веществ.
Технологический результат достигается за счет создания дополнительного электрического сопротивления, которое препятствует прониканию электронов из внешней среды в виде электрических наводок в микросхеме, что в свою очередь повысит селективность работы газового сенсора. 3 ил.
Полезная модель может быть использована при производстве устройств на основе полупроводниковых технологий микро- и наноэлектроники, предназначенных для детектирования и измерения параметров воздушной среды, а также макроскопических информационных систем.
Алексей
Резван
Анатольевич
-
Отсутствует
Отсутствует
U-1708-2019
57205649367
2099-2730
0000-0001-8446-2816
РОССИЯ
Алексей
Резван
Анатольевич
-
РОССИЯ
50.09.37
Датчики и преобразователи
02.02.AC
AUTOMATION & CONTROL SYSTEMS
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Алексей
Резван
Анатольевич
Автор
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Алексей
Резван
Анатольевич
Физическое лицо
РОССИЯ