Инструмент для оценки количественных характеристик шероховатости наноструктур по пространственному распределению засветки резиста (LER Simulator)
резист неровность края шероховатость наноэлектроника микроэлектроника
Программа предназначена для моделирования эффекта шероховатости наноразмерных структур, формируемых с помощью технологий микроэлектроники, а также оценки амплитуды неровности краёв
Автоматизация измерений образцов наноструктур
Андрей
Шарапов
Анатольевич
аспирант
Отсутствует
Отсутствует
ABC-7256-2021
-
0000-0001-9945-3875
РОССИЯ
Андрей
Шарапов
Анатольевич
аспирант
РОССИЯ
47.33.31
Интегральные микросхемы
01.03.UH
PHYSICS, ATOMIC, MOLECULAR & CHEMICAL
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Андрей
Шарапов
Анатольевич
идея и реализация
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Андрей
Шарапов
Анатольевич
Физическое лицо
РОССИЯ