Технологический процесс получения пленок прозрачного проводящего покрытия на основе диоксида титана
MOCVD Прозрачное проводящее покрытие Диоксид титана
Прозрачное проводящее покрытие представляет собой тонкую пленку диоксида титана, допированную оксидом ниобия в размере до 10% мольных. Процесс получения состоит из двух этапов:
1)	На первом этапе производится осаждение пленок смешанного состава на установке химического газофазного осаждения (ноу-хау №2), содержащего титан и ниобий в соотношении, которое задается исходной смесью прекурсоров – источников титана и ниобия – Ti(O-iPr)2(thd)2 и Nb(O-iPr)4(thd) соответственно.
2)	На втором этапе производится термическая обработка при тепературах до 1200оС в присутствии геттерной смеси Fe/FeO. 

Допирование пленок диоксида титана оксидом ниобия (V) проводится путем смешения порошков исходных прекурсоров с последующим напылением пленки из таблетки, содержащей в себе прекурсоры обоих металлов. Из-за повышенной гигроскопичности Nb(O-iPr)4(thd) прилипает к металлическим поверхностям дозирующего устройства, для решения этой проблемы в таблетку примешивают графит от 10 до 20% по массе.

Процесс осаждения состоит из следующих этапов:
- размещение прекурсора в питателе
- закрепление подложки на подложкодержателе
- герметизация установки 
- проверка уровня вакуума с помощью вакуумметра (не выше 3,5 мбар)
- включение нагрева зоны реактора (до 400оС)
- установление прибора контроля потока аргона на уровень (3,6 л/ч) 
- включение нагрева зоны сублимации прекурсора (180оС)
- включение нагрева системы подачи воды (115оС)
- контроль выхода на режим (нагрев до требуемых температур)
- контроль всех параметров системы, выход установки на режим
- окончание осаждения, охлаждение реактора
- выключение систем подачи прекурсора и воды
- охлаждение установки, окончание процесса, разгерметизация, извлечение готового материала

Термическая обработка проводится следующим образом:
- пленочный образец помещается в ампулу с таблеткой геттерной смеси Fe/FeO
- из ампулы откачивается воздух, промывается аргоном и герметизируется
- ампула помещается в кварцевую трубу, через которую продувается поток аргона
- ампула с кварцевой трубой помещаются в высокотемпературную печь
- осуществляется нагрев печи, выдержка при температуре необходимое количество времени. 
- охлаждение печи до комнатной температуры
- разгерметизация ампулы

Полученные прозрачные проводящие покрытия аттестуются комплексом физико-химических методов. 
Такая схема позволяет получать пленки с удельным сопротивление до 3,7*10-2 Ом*см (для толщины 100 нм).
Такие пленки могут использоваться в качестве буферных слоев, когда необходима прозрачность в видимом диапазоне и электронная проводимость. Например, в оптоэлектронных устройствах, солнечных элементах.
Дмитрий
Шароваров
Игоревич
Генеральный директор
Отсутствует
Младший научный сотрудник
P-1139-2019
56811599600
0000-0003-2616-1569
РОССИЯ
Дмитрий
Шароваров
Игоревич
Генеральный директор
РОССИЯ
61.31.51
Остальные элементы, оксиды, минеральные кислоты, основания, соли
61.13.01
Общие вопросы
47.09.48
Наноматериалы для электроники
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Денис
Судариков
Андреевич
Проведение термической обработки материалов. Подбор оптимальных условий. Интерпретация полученных результатов.
РОССИЯ
Дмитрий
Шароваров
Игоревич
Руководитель работ. Планирование экспериментов. Интерпретация полученных результатов.
РОССИЯ
Фария
Акбар
Ясмин
Синтез исходных веществ. Проведение экспериментов. Интерпретация полученных результатов.
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "ОКСИФИЛМ"
Общество с ограниченной ответственностью "ОКСИФИЛМ"
5157746213752
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью