Программа анализа растровой электронной микроскопии для оценки параметра шероховатости боковых стенок линий
шероховатость боковых стенок литография растровая электронная микроскопия
Программа анализа растровой электронной микроскопии для оценки параметра шероховатости боковых стенок линий позволяет провести анализ изображения линий, полученного методом растровой электронной микроскопии, и получить основные параметры шероховатости боковых стенок.
Программа может применяться в микроэлектронике при отработке технологий литографии высокого разрешения и плазмохимического травления для формирования затворов МОП транзисторов.
Александр
Рогожин
Евгеньевич
старший научный сотрудник
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
N-8835-2016
14042347400
165805
0000-0002-9554-673X
РОССИЯ
Владимир
Лукичев
Федорович
директор
РОССИЯ
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
02.11.RA
MICROSCOPY
Ольга
Пермякова
Олеговна
РОССИЯ
Александр
Рогожин
Евгеньевич
РОССИЯ
Владимир
Лукичев
Федорович
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФТИАН им. К.А.Валиева РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технологический институт имени К.А.Валиева Российской академии наук
1037739352155
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения