Технология изготовления мишеней из карбида кремния для магнетронного распыления методом искрового плазменного спекания
Технология изготовления мишеней из карбида кремния для магнетронного распыления методом искрового плазменного спекания Технология изготовления мишеней из карбида кремния магнетронное распыление методом искрового плазменного спекания
Технология изготовления мишеней из карбида кремния для магнетронного распыления методом искрового плазменного спекания
машиностроение
81.09.01
Общие вопросы материаловедения
Максим
Япрынцев
Николаевич
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"X-5841-2018"
"56113200300"
"725053"
"0000-0001-8791-8102"
РОССИЯ
Всеслав
Новиков
Юрьевич
"Кандидат технических наук"
"Отсутствует"
"A-3456-2014"
"56587397500"
"773638"
"0000-0002-3602-0746"
РОССИЯ
Игорь
Гончаров
Юрьевич
"Кандидат физико-математических наук"
"Доцент"
"A-3262-2014"
"36637306700"
"143765"
"0000-0002-7734-0535"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГАОУ ВО "Белгородский государственный национальный исследовательский университет", НИУ "БелГУ"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Белгородский государственный национальный исследовательский университет"
1023101664519
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения