Система управления и регистрации режимов импульсного отжига
температура отжига кремниевых полупроводниковых пластин температура отжига германиевых полупроводниковых пластин импульсный световой отжиг
Программный комплекс предназначен для управления и регистрации температуры отжига кремниевых и германиевых полупроводниковых пластин, а также для регистрации сигналов не только от термопары и фотодиода, но и из других датчиков.
Комплекс позволяет проводить импульсный световой отжиг как имплантированных, так и не имплантированных полупроводниковых пластин в широком временном диапазоне длительностей t=0,5-20 секунд и проводить измерения температуры, вплоть до температуры плавления кремния Т=1412°С.
Андрей
Карасик
Анатольевич
руководитель ИОФХ обособленного подразделения ФИЦ КазНЦ РАН
Доктор химических наук
Профессор
C-4188-2014
7006817182
43458
https://www.webofscience.com/wos/author/record/84983
0000-0002-0924-2634
РОССИЯ
Алексей
Калачев
Алексеевич
Директор
РОССИЯ
31.15.33
Электрохимия
01.03.UI
PHYSICS, MULTIDISCIPLINARY
01.04.DY
CHEMISTRY, MULTIDISCIPLINARY
02.05.QH
MATERIALS SCIENCE, COMPOSITES
01.04.HQ
ELECTROCHEMISTRY
Рамиль
Хабипов
Шарипзянович
Проектирование, написание кода, разработка алгоритмов, разработка интерфейса, 25%
РОССИЯ
Яхъя
Фаттахов
Валиевич
Проектирование, разработка алгоритмов, 25%
РОССИЯ
Александр
Аникин
Николаевич
Проектирование, разработка алгоритмов, написание кода, разработка интерфейса, 25%
РОССИЯ
Булат
Фаррахов
Фасимович
Проектирование, разработка алгоритмов,25%
РОССИЯ
ФАНО России
Федеральное агентство научных организаций
5137746009462
Организация
Правительство Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ФИЦ КАЗНЦ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ "ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "КАЗАНСКИЙ НАУЧНЫЙ ЦЕНТР РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
1021602842359
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения