Программа для расчета режимов осаждения нанокристалличских пленок, напыляемых методом импульсного лазерного осаждения
импульсное лазерное осаждение равномерность тонкие пленки
Программа предназначена для проведения вычислительных экспериментов по определению режимов работы установки импульсного лазерного осаждения (ИЛО) при напылении нанокристаллических пленок.
Реализованная в программе модель позволяет учитывать такие параметры процесса напыления как:
- Режим работы лазера (частота, число импульсов, и т.д.); 
- Режим работы сканирующей системы (скорость и амплитуда отклонения луча лазера по оси x и/или y)
- Свойства подложки и мишени (радиус, материал и т.д.);
- Параметры рабочей камеры (дистанция-мишень подложка, радиус карусели мишеней и т.д.).
Программа призвана снизить затраты на натурные эксперименты и заменить их часть на вычислительные
Потенциальными покупателями являются научно-производственные центры и предприятия полупроводниковой промышленности, такие как ФГУП «РНИИРС» (г. Ростов-на-Дону), АО «Светлана-Рост» (г. Санкт-Петербург), НПП «Пульсар» (г. Москва) и др.
Бэ Хо
Пак
Профессор
Доктор физико-математических наук
Профессор
D-4840-2011
7402834739
https://publons.com/researcher/2794934/bae-ho-park/
https://orcid.org/0000-0003-0928-329X
КОРЕЯ,РЕСПУБЛИКА
Анатолий
Метелица
Викторович
Проректор по научной и исследовательской деятельности
РОССИЯ
27.35.38
Математические модели физики полупроводников
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
47.09.48
Наноматериалы для электроники
01.01.PN
MATHEMATICS, APPLIED
01.01.UR
PHYSICS, MATHEMATICAL
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
02.05.PM
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Даниил
Хахулин
Александрович
РОССИЯ
Захар
Вакулов
Евгеньевич
РОССИЯ
Владимир
Смирнов
Александрович
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1026103165241
ИННА
ШЕВЧЕНКО
КОНСТАНТИНОВНА
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения