Способ формирования субмикронного Т-образного затвора
Т-ОБРАЗНЫЙ ЗАТВОР, СВЧ ТРАНЗИСТОР, КОСОЕ НАПЫЛЕНИЕ, ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ЛИТОГРАФИЯ, ТОНКИЕ ПЛЁНКИ
Изобретение относится к технологии микроэлектроники, а именно к технологии получения СВЧ монолитных интегральных схем на основе полупроводниковых соединений типа AIIIBV, в частности, к созданию гетероструктурных СВЧ транзисторов с высокой подвижностью электронов. Блок формирования затвора является одним из ключевых этапов технологического процесса производства полупроводниковых приборов, в том числе СВЧ транзисторов с высокой подвижностью электронов. Для приборов, работающих в СВЧ диапазоне, изготавливают затворы Т-образной формы с субмикронной длиной основания, обладающие меньшим сопротивлением и емкостью. Для создания Т-образных затворов используются многослойные системы резистов, топологический рисунок в которых формируется известными литографическими методами.
Создание сверхвысокочастотных транзисторов и микросхем на их основе, уменьшение длины затворов транзисторов косвенным методом, без использования более продвинутого литографического оборудования.
Ерофеев Е.В.
младший научный сотрудник
Кандидат технических наук
Рулевский В.М.
ректор
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
47.13.10
Технология и оборудование для производства изделий электронной техники СВЧ-диапазона
47.33.31
Интегральные микросхемы
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
02.02.YE
TELECOMMUNICATIONS
Евгений
Ерофеев
Викторович
разработка идеи, формирование топологических чертежей, составление технологического маршрута создания транзисторов
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ТУСУР
Федеральное государственное  бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники"
1027000867068
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения