Топология тестового кристалла для биполярной эпитаксиальной технологии с напряжением изоляции элементов 40 В
биполярная эпитаксиальная технология тестовый кристалл топология
Тестовый кристалл предназначен для отработки технологических решений и процессов, биполярной технологии на эпитаксиальных структурах с проектными нормами от 1,5 мкм. Тестовый кристалл состоит из более 100 тестовых ячеек и включает фигуры Ван дер Пау для контроля удельного сопротивления, тесты на сопротивление одиночных контактов, тесты для контроля качества травления цепочки омических контактов, тесты на закоротки и обрывы металлизации и поликремния, структуры для косого шлифа, тестовые конденсаторы, тесты изоляции между карманами, тесты на зазоры, биполярные транзисторы позволяющие определять коэффициент усиления (h 21Э ) и токи утечки по ГОСТ 18604. Результаты замеров тестового кристалла позволят оптимизировать конструкцию элементов операционных усилителей и дифференциальных компараторов напряжения, а также анализировать технологический процесс и проводить оценку надёжности.
Результаты замеров тестового кристалла позволят оптимизировать конструкцию элементов операционных усилителей и дифференциальных компараторов напряжения, а также анализировать технологический процесс и проводить оценку надёжности
Андрей
Демидов
Александрович
Главный научный сотрудник
Доктор физико-математических наук
Доцент
B-8234-2012
7004500139
140403
0000-0002-8639-3575
РОССИЯ
Олег
Федонин
Николаевич
Ректор
РОССИЯ
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
47.33.31
Интегральные микросхемы
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Иван
Куфтов
Владимирович
РОССИЯ
Николай
Брюхно
Александрович
РОССИЯ
Павел
Мазепин
Михайлович
РОССИЯ
Константин
Герасимов
Александрович
РОССИЯ
Евгений
Кульченков
Александрович
РОССИЯ
АКЦИОНЕРНОЕ ОБЩЕСТВО "ГРУППА КРЕМНИЙ ЭЛ"
1023202741781
ОЛЕГ
ДАНЦЕВ
НИКОЛАЕВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Непубличные акционерные общества
ФГБОУ ВО "БГТУ", БГТУ, БГТУ (БИТМ), ФГБОУ ВО "БРЯНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ", БРЯНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "БРЯНСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1023201058627
ОЛЕГ
ФЕДОНИН
НИКОЛАЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения