Способ получения толстых плёнок на основе оксида индия-олова методом микроэкструзионной печати
Аддитивные технологии Микроэлектроника Толстые пленки ITO
Изобретение относится к способу получения плёнок на основе оксида индия-олова методом микроэкструзионной печати на поверхности подложек различной природы при термическом разложении пасты на основе оксидных частиц в органическом растворителе. Может быть использовано в электронике, приборостроении, радиотехнической промышленности, газовой сенсорике, оптике, энергетике и других областях науки и техники при формировании структур на основе оксида индия-олова, в том числе сложной геометрии.
Предложен способ получения токопроводящих покрытий на основе оксида индия-олова, заключающийся в смешении растворов нитрата индия и хлорида олова в дистиллированной воде с общей концентрацией катионов металлов 0,0001-0,1 моль/л, при этом мольное содержание олова по отношению к индию составляет 5-15 %, далее в систему добавляется водный раствор гидрата аммиака до достижения системой pH = 7, после чего с помощью центрифугирования отделяется и промывается осадок, который высушивается в течение 5 и более часов при температуре 25-70°С, а также прокаливается при 400°С в течение 5 часов, после чего порошок перетирается в ступке с добавлением раствора этиленцеллюлозы в α-терпинеоле, при этом массовая доля твердой фазы в получаемой пасте 20-35%, нанесение пасты осуществляют методом микроэкструзионной печати с использованием в качестве дозатора иглы с внутренним диаметром 100-300 мкм, скоростью его перемещения 50-500 мм/мин, шагом 200-600 мкм и длительность импульса при дозировании пасты 0.1-1 с, сушку полученного покрытия проводят при 25-50°С в течение 5-12 часов на воздухе, после чего проводят термическую обработку пленки при 300-600°С в течение 0.5-24 часов.
Изобретение обеспечивает упрощение способа получения покрытий на основе оксида индия-олова и, как следствие, повышение его экономичности; позволяет воспроизводимо и адресно формировать структуры различной геометрии, что расширяет области применения плёнок на основе оксида индия-олова; в значительной степени автоматизирует и повышает скорость процесса формирования плёнок на основе оксида индия-олова.
Может быть использовано в электронике, приборостроении, радиотехнической промышленности, газовой сенсорике, оптике, энергетике и других областях науки и техники при формировании структур на основе оксида индия-олова, в том числе сложной геометрии.
55.22.23
Неметаллические покрытия
Никита
Фисенко
Александрович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"-"
"57218442889"
"0000-0001-7060-043X"
РОССИЯ
Татьяна
Симоненко
Леонидовна
"Кандидат химических наук"
"Отсутствует"
"B-1012-2014"
"56426854300"
"0000-0002-8130-8503"
РОССИЯ
Николай
Кузнецов
Тимофеевич
"Доктор химических наук"
"Академик"
"S-1129-2016"
"7201470658"
РОССИЯ
Артем
Мокрушин
Сергеевич
"Кандидат химических наук"
"Отсутствует"
"C-7010-2017"
"57194688352"
"0000-0003-4865-3054"
РОССИЯ
Филипп
Горобцов
Юрьевич
"Кандидат химических наук"
"Отсутствует"
"T-8272-2017"
"57195804498"
РОССИЯ
Николай
Симоненко
Петрович
"Кандидат химических наук"
"Отсутствует"
"L-2080-2015"
"41462078600"
"0000-0002-4209-6034"
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Фисенко Никита Александрович
Фисенко Никита Александрович
Никита
Фисенко
Александрович
Физическое лицо
РОССИЯ