Матрица тонкопленочных прострельных мишеней для рентгеновских источников
прострельная мишень рентгеновский источник синхротрон синхротронное излучение тонкие пленки анодный электрон компенсационный электрод электростатический прогиб
Настоящее изобретение относится к рентгеновским устройствам, применимым в качестве составной части источника рентгеновского излучения для задач рентгеновской нанолитографии. Изобретение предназначено для апробации концепции рентгеновской литографии на базе источника синхротронного излучения в диапазоне длин волн от 6.6 до 13.5 нм.
Задача настоящего изобретения заключается в повышение линейной направленности рентгеновского излучения, генерируемого матрицей прострельных мишеней, за счет уменьшения электростатического прогиба матрицы прострельных мишеней.
Составная часть источника рентгеновского излучения для задач рентгеновской нанолитографии.
Владимир
Беспалов
Александрович
Ректор
Доктор технических наук
Профессор
P-6799-2015
57196985488
44925
-
РОССИЯ
Сергей
Гаврилов
Александрович
Проректор
РОССИЯ
47.13.07
Технология и оборудование для производства приборов и устройств наноэлектроники
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
02.11.IF
ENGINEERING, MULTIDISCIPLINARY
Петр
Глаголев
Юрьевич
оформление заявки, составление формулы изобретения
РОССИЯ
Глеб
Демин
Дмитриевич
проведение патентного поиска
РОССИЯ
Анна
Дедкова
Александровна
корректировка текста изобретения
РОССИЯ
Николай
Дюжев
Алексеевич
разработка концепции изобретения
РОССИЯ
Евгений
Гусев
Эдуардович
проведение патентного поиска
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МИЭТ"; НИУ МИЭТ;МИЭТ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МОСКОВСКИЙ ИНСТИТУТ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ"
1027739615584
ВЛАДИМИР
БЕСПАЛОВ
АЛЕКСАНДРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения