Установка для автоматизированного нанесения тонких покрытий методом последовательного ионного наслаивания (SILAR)
нанотехнологии тонкие пленки фотовольтаика фотокатализ
Полезная модель относится к устройствам и способам автоматизированного изготовления тонких пленок, в частности с использованием техники SILAR, пригодным для широкого спектра промышленных и исследовательских применений. 
Целью данного изобретения является создание машины, которая значительно расширяет возможности изготовления тонких пленок с высокой точностью, эффективностью и адаптивностью. Данное изобретение направлено на рационализацию процесса SILAR, позволяя автоматически контролировать последовательные этапы осаждения и реакции, необходимые для получения тонких пленок. Цель состоит в том, чтобы облегчить изготовление пленок с индивидуальными свойствами, позволяющими использовать разнообразные материалы и области применения, без необходимости постоянного ручного контроля или настройки параметров процесса.
Технический результат достигнут благодаря интеграции системы электромеханического привода, системы оптического контроля in situ и программного обеспечения, позволяющего вносить корректировки в процесс нанесения тонких пленок во время осуществления процесса
Оборуование может быть использовано для изготовления широкого спектра изделий на основе тонкопленочных технологий, таких фотовольтаические элементы, фотокатализаторы
61.31.01
Общие вопросы
61.13.01
Общие вопросы
Алексей
Макогон
Иванович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"1078721"
"0000-0002-9039-2241"
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
Алексей
Макогон
Иванович
Физическое лицо
РОССИЯ