Способ диагностики пучка заряженных частиц
плотность мощности апертура диагностика ионный пучок электронный пучок
Изобретение относится к области технологических установок для обработки с помощью пучка заряженных частиц (электронов, ионов), а именно к способам определения пространственно-энергетических характеристик пучка. Технической задачей изобретения является повышение точности определения пространственных характеристик пучка заряженных частиц, который формируется в технологических установках для обработки материалов. Технический результат изобретения заключается в повышении производительности и снижении количества брака при обработке материалов пучками заряженных частиц за счет оперативной оценки параметров электронного пучка и состояния эмиттера и своевременной коррекции параметров режима обработки.
Для диагностики электронных пучков технологических электронно-лучевых установок, диагностики эмиссионных характеристик термокатодов, юстировки электронно-оптических систем электронных пушек.
Алексей
Дедов
Викторович
Директор института
Доктор технических наук
Член-корреспондент РАН
S-7336-2016
36106878500
111363
-
РОССИЯ
Виктор
Драгунов
Карпович
Проректор по научной работе
РОССИЯ
44.31.01
Общие вопросы
29.19.21
Влияние облучения на свойства твердых тел
55.22.29
Комбинированные и другие покрытия, в т.ч. нанопокрытия
81.35.19
Лучевые способы сварки
02.05.PM
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
02.07.ID
ENERGY & FUELS
Алексей
Гончаров
Леонидович
РОССИЯ
Виктор
Драгунов
Карпович
РОССИЯ
Андрей
Слива
Петрович
РОССИЯ
Иван
Чулков
Сергеевич
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГБОУ ВО "НИУ "МЭИ"
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ "МЭИ"
1027700251644
НИКОЛАЙ
РОГАЛЕВ
ДМИТРИЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения