Устройство для получения силицена
Вакуумная техника тонкие пленки нанесение покрытий силицен
Полезная модель относится к области получения эпитаксиальных тонкопленочных материалов в вакууме и может быть использована для производства кремний-содержащих логических компонентов приборов наноэлектроники, композитных материалов для реального сектора экономики. Устройство для получения силицена представляет собой вакуумную камеру, к корпусу которой посредством фланцевых соединений присоединены система откачки и контроля давления, источник кремния, кварцевые микровесы.  Вольфрамовая подложка с нанесенным на ее поверхность слоем монокристаллического серебра закреплена на нагревательном элементе. Устройство работает следующим образом. При достижении давления в камере 1 уровня вакуума от 10-8 до 10-10 мбар производят нагрев  монокристаллической вольфрамовой подложкой с предварительно нанесенным монокристаллическим слоем серебра до  определенной температуры в диапазоне от 200 до 300 °С. Затем производят термическое нанесение одного монослоя кремния. Силицен формируется за счет миграции атомов кремния на поверхности нагретой монокристаллической вольфрамовой подложки с предварительно нанесенным монокристаллическим слоем серебра, а кристаллическая ориентация силицена задается структурными параметрами слоя серебра.
Устройство может быть использовано в области получения эпитаксиальных тонкопленочных материалов в вакууме и может быть использована для производства кремний-содержащих логических компонентов приборов наноэлектроники, композитных материалов для реального сектора экономики.
Алексей
Курочкин
Викторович
директор РЦ Оптические и лазерные методы исследования вещества
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
R-9560-2016
7005534636
41831
0000-0003-1076-2968
РОССИЯ
Елена
Лебедева
Витальевна
Начальник Управления научных исследований
РОССИЯ
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Алексей
Комолов
Сергеевич
РОССИЯ
Евгений
Жижин
Владимирович
РОССИЯ
Дмитрий
Пудиков
Александрович
РОССИЯ
Правительство России
Правительство Российской Федерации
Организация
-
-
Санкт-Петербургский государственный университет, Санкт-Петербургский университет, СПбГУ
федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Санкт-Петербургский государственный университет"
1037800006089
Организация
Правительство Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения