Рентгеновская маска.
Микросистемы микроструктурирование рентгеновская литография фотолитография рентгеновская маска
Изобретение относится к области техники и технологии изготовления микросистем.
Техническим результатом предлагаемого изобретения является возможность совмещения слоёв в оптическом и инфракрасном диапазонах спектра с использованием знаков совмещения и осуществлять гибридную литографию, а также расширение возможности использования заявленной рентгеновской маски в диапазонах жесткого и мягкого рентгеновского излучения, минимизация искажений топологии, уменьшение механических искажений мембраны. Кроме того, маска может применяться при изготовлении микроизделий как на плоских подложках (планарная технология), так и на изогнутых поверхностях. 
Рентгеновская маска состоит из подложки, утонённой мембраны, топологического рисунка, нанесенного на утоненную мембрану, и знаков совмещения. Подложка, утонённая мембрана и знаки совмещения выполнены из одного материала лейкосапфира и представляют собой монолитную конструкцию, на мембрану нанесен тонкий металлический проводящий слой, на тыльную поверхность мембраны нанесен слой, преобразующий поглощенное тепло рентгеновского излучения в инфракрасное излучение.
Расширение возможности использования заявленной рентгеновской маски в диапазонах жесткого и мягкого рентгеновского излучения.
Использование при изготовлении микроизделий как на плоских подложках (планарная технология), так и на изогнутых поверхностях.
Николай
Винокуров
Александрович
гнс
Доктор физико-математических наук
Член-корреспондент РАН
J-1478-2017
7004608136
284
0000000312904018
РОССИЯ
Алексей
Резниченко
Викторович
Ученый секретарь
РОССИЯ
29.31.21
Оптика твердых тел
29.19.25
Взаимодействие проникающего излучения с твердыми телами
29.19.21
Влияние облучения на свойства твердых тел
01.03.UB
PHYSICS, APPLIED
01.03.SY
OPTICS
Владимир
Назьмов
Петрович
100%
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИЯФ СО РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт ядерной физики им. Г.И. Будкера Сибирского отделения Российской академии наук
1025403658136
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения