Программа определения и калибровки высоты точки фокусировки по вторично-эмиссионным сигналам растрового электронного микроскопа
Растровый электронный микроскоп Вторичная электронная эмиссия
Программа предназначена для установления связей между высотой точки фокусировки пучка и вторично-эмиссионным сигналами в растровом электронном
микроскопе. Программа позволяет определить точку фокусировки и установить её в заданное положение относительно подложки образца с рельефными структурами. Программа может быть использована для калибровки и автоматической регулировки растрового электронного микроскопа по высоте точки фокусировки пучка.
Программа может быть использована при проведении исследований в растровом электронном микроскопе
Вячеслав
Казьмирук
Васильевич
Заведующий лабораторией
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
L-2112-2018
36870303500
РОССИЯ
Дмитрий
Рощупкин
Валентинович
директор
РОССИЯ
29.35.43
Электронная и ионная микроскопия
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Вячеслав
Казьмирук
Васильевич
Разработка теоретической основы кода программы
РОССИЯ
Татьяна
Савицкая
Николаевна
Разработка кода программы
РОССИЯ
Илья
Курганов
Геннадьевич
Разработка кода программы
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИПТМ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И ОСОБОЧИСТЫХ МАТЕРИАЛОВ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
1035006105166
ДМИТРИЙ
РОЩУПКИН
ВАЛЕНТИНОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения