Съемный контейнер для подложкодержателя установки вакуумного напыления // Патент на полезную модель РФ № 198976RU. Опубликовано: 05.08.2020, Бюл. № 22.
ПОДЛОЖКОДЕРЖАТЕЛЬ КОНТЕЙНЕР ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ
Съемный контейнер для подложкодержателя установки вакуумного напыления относится к элементам внутрикамерных устройств и может
быть использован при нанесении металлических и полупроводниковых пленок для покрытия деталей, применяемых в изделиях  электронной, приборостроительной и оптической промышленностей. Устройство позволяет увеличивать количество образцов без
механического вмешательства в «тело» образца. Техническим результатом полезной модели является рост производительности и качества напыляемых образцов, который достигается тем, что в съемном контейнере для подложкодержателя установки вакуумного напыления, состоящем из основания с ячейками для образцов и системы фиксации, новым является то, что содержит кольцо фиксации подложек по внешнему краю и шайбу для крепления по внутреннему, при этом ячейки для расположения образцов выполнены в теле основания в виде двухуровневого углубления, нижний уровень которого по размерам меньше верхнего. Съемный контейнер для подложкодержателя установки вакуумного напыления позволяет максимально быстро производить загрузкувыгрузку образцов, сокращая время их пребывания на воздухе, что значительно повышает качество получаемых материалов, а простота конструкции способствует росту производительности процесса напыления.
Для нанесения металлических и полупроводниковых пленок для покрытия деталей, применяемых в изделиях электронной, приборостроительной и оптической промышленностей.
Геннадий
Патрин
Семенович
Директор
Доктор физико-математических наук
Профессор
https://publons.com/researcher/M-6554-2016/
https://www.scopus.com/authid/detail.uri?authorId=6603747697
РОССИЯ
Дмитрий
Балаев
Александрович
Директор ИФ СО РАН
РОССИЯ
29.03.29
Вакуумная техника в физическом эксперименте
47.09.48
Наноматериалы для электроники
02.03.PU
MECHANICS
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Василий
Юшков
Иванович
55%
РОССИЯ
Игорь
Турпанов
Александрович
15%
РОССИЯ
Геннадий
Патрин
Семенович
15%
РОССИЯ
Александр
Кобяков
Васильевич
15%
РОССИЯ
ФИЦ КНЦ СО РАН; КНЦ СО РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ НАУЧНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "КРАСНОЯРСКИЙ НАУЧНЫЙ ЦЕНТР СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
1022402133698
АЛЕКСАНДР
ШПЕДТ
АРТУРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ФИЦ КНЦ СО РАН; КНЦ СО РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ НАУЧНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "КРАСНОЯРСКИЙ НАУЧНЫЙ ЦЕНТР СИБИРСКОГО ОТДЕЛЕНИЯ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
1022402133698
АЛЕКСАНДР
ШПЕДТ
АРТУРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения