Метод контроля скорости роста в установке аммиачной молекулярно-лучевой эпитаксии
МОЛЕКУЛЯРНО-ЛУЧЕВАЯ ЭПИТАКСИЯ
Описание методики эффективного контроля скорость роста в установке аммиачной молекулярно-лучевой эпитаксии
Контроль скоростей роста и потоков реагентов в процессах
Демин В.А.
Директор-координатор по направлению природоподобные технологии
Кандидат физико-математических наук
Форш П.А.
Заместитель директора по научной работе
29.03.25
Получение и измерение давлений в физическом эксперименте
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
29.03.29
Вакуумная техника в физическом эксперименте
02.02.AC
AUTOMATION & CONTROL SYSTEMS
02.05.PM
MATERIALS SCIENCE, MULTIDISCIPLINARY
02.11.IF
ENGINEERING, MULTIDISCIPLINARY
Максим
Занавескин
Леонидович
25%
Иван
Майборода
Олегович
25%
Павел
Перминов
Анатольевич
25%
Евгения
Колобкова
Михайловна
25%
Правительство России
Правительство Российской Федерации
Организация
-
-
НИЦ "Курчатовский институт"
федеральное государственное бюджетное учреждение "Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт"
1027739576006
Организация
Правительство Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения