Распылительное устройство
Плазма вакуум распыление поверхности осаждение покрытия
Изобретение относится к устройствам для осаждения покрытий на изделия в вакуумной камере, в том числе покрытий из ферромагнитных материалов. 
Технический результат – расширение эксплуатационных возможностей за счет повышения эффективности использования материала мишени, а также возможности распылять мишени из ферромагнитных материалов. 
Распылительное устройство, содержит плоскую круглую мишень, являющуюся катодом тлеющего разряда, вакуумную камеру, являющуюся анодом тлеющего разряда, источник питания тлеющего разряда, соединенный отрицательным полюсом с мишенью, а положительным полюсом – с вакуумной камерой, плоскую металлическую сетку, установленную параллельно распыляемой поверхности мишени и источник постоянного напряжения, соединенный отрицательным полюсом с сеткой, а положительным полюсом – с вакуумной камерой. На фиг. 1 показана схема распылительного устройства. 1 ил.
Область проектирования и изготовления инновационных конструкций вакуумно-плазменного оборудования.
Александр
Метель
Сергеевич
Профессор
Доктор физико-математических наук
Доцент
L-8736-2013
6506816930
125667
РОССИЯ
Владимир
Серебренный
Валерьевич
Ректор
РОССИЯ
55.09.01
Общие вопросы
02.03.DT
THERMODYNAMICS
Александр
Метель
Сергеевич
разработка технического решения по созданию устройства для осаждения покрытий на изделия
РОССИЯ
Сергей
Григорьев
Николаевич
разработка общей конструкции устройства
РОССИЯ
Марина
Волосова
Александровна
эксперимент. исследование модели устройства
РОССИЯ
Юрий
Мельник
Андреевич
разработка конструкции сетки
РОССИЯ
Энвер
Мустафаев
Серверович
разработка и исследование распыления мишени
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГБОУ ВО «МГТУ «СТАНКИН»
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
1037700246451
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения