ГАЗОВЫЙ ДАТЧИК ПАРОВ ЭТАНОЛА И МЕТАНОЛА
сенсор паров этанола и метанола газовый датчик линейно-цепочечный углерод оксид меди
Изобретение относится к созданию газовых датчиков на основе оксида меди и углеродных наноматериалов, которые могут быть использованы для контроля и мониторинга паров этанола и метанола. Газовый датчик паров метанола и этанола содержит подложку из диэлектрического материала с осажденными методом терморезистивного испарения в вакууме на нее полупроводниковых пленок Cu(x)O и затем ионно-плазменным синтезом пленки линейно-цепочечного углерода путем осаждения в вакууме графита, испаряемого импульсным дуговым разрядом с помощью плазмы, создаваемой дуговым разрядом вне области разрядного промежутка в виде компенсированных бестоковых форсгустков углеродной плазмы плотностью 5·10^12-1·10^13 см-3, длительностью 200-400 мкс, частотой следования 2-3 Гц, при стимуляции углеродной плазмы инертным газом в виде потока ионов с энергией 150-2000 эВ, направленного перпендикулярно потоку углеродной плазмы и обработанной полученной металло-углеродной системы термическим отжигом в печи при температурах 250-400С в течение 20-120 минут для получения композитной пленки Cu(x)O/ЛЦУ, пленочные электроды, которые выполнены путем термического осаждения в вакууме пленки из металлов. Технический результат - высокая чувствительность, расширение температурного диапазона работы датчика, меньшая энергозатратность.
Разработка может быть использовано в промышленности при детектировании утечек.
Павел
Платонов
Сергеевич
техник
Отсутствует
Отсутствует
-
-
РОССИЯ
Павел
Платонов
Сергеевич
техник
РОССИЯ
29.19.31
Полупроводники
01.04.EI
CHEMISTRY, PHYSICAL
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Александр
Смирнов
Вячеславович
РОССИЯ
Павел
Платонов
Сергеевич
РОССИЯ
Дмитрий
Петров
Владимирович
РОССИЯ
Валерий
Казаков
Алексеевич
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
"ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ \"ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ\""
"ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ"
Международная организация
РОССИЯ
Павел
Платонов
Сергеевич
Физическое лицо
РОССИЯ