Способ определения локальной кривизны и формы поверхности пластин и структур
анализ поверхностей определение локальной кривизны поверхности микроэлектронные технологии
Изобретение относится к способам анализа поверхностей произвольной формы с использованием значений кривизны локальных областей. Задача изобретения – унификация определения кривизны и радиуса кривизны при исследованиях близких к сферической форме пластин и структур для проведения сравнительного анализа в рамках одной партии, проведение оценки локальной формы поверхности исходя из знака рассчитанных величин, повышение наглядности и удобства анализа карт поверхности пластин и структур.
Для преодоления технологических барьеров в соответствии с дорожной картой сквозной цифровой технологии «компоненты робототехники и сенсорика»
Алексей
Переверзев
Леонидович
Руководитель ЛИЦ
Доктор технических наук
Доцент
C-9418-2017
57150587000
211223
0000-0002-5834-5138
РОССИЯ
Сергей
Гаврилов
Александрович
Проректор
РОССИЯ
59.35.71
Узлы, блоки, элементы, детали приборов для измерения состава и физико-химических свойств веществ и материалов
59.14.21
Проектирование и конструирование электронных измерительных приборов
55.30.33
Технологическая оснастка, периферийные устройства и вспомогательное оборудование роботов и манипуляторов
47.13.10
Технология и оборудование для производства изделий электронной техники СВЧ-диапазона
01.02.ET
COMPUTER SCIENCE, INFORMATION SYSTEMS
Анна
Дедкова
Александровна
проведение патентного поиска, написание текста заявки
РОССИЯ
ФОНД НТИ
ФОНД ПОДДЕРЖКИ ПРОЕКТОВ НАЦИОНАЛЬНОЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЙ ИНИЦИАТИВЫ
1167700062529
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Фонды
МИЭТ;  Национальный исследовательский университет "МИЭТ"; НИУ МИЭТ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники"
1027739615584
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения