Способ формирования планарных структур методом атомно-силовой литографии
планарные структуры, кремниевая пластина
Сущность изобретения заключается в том, что способ формирования планарных серебряных структур на поверхности кремниевых пластин включает осаждение металлических частиц, которое происходит за счет локальной диссоциации соли серебра, индуцированной при приложении отрицательной разницы потенциалов между проводящей иглой атомно-силового микроскопа и поверхностью образца, на которой происходит формирование рельефа, для этого поверхность кремниевой пластины предварительно очищают и насыщают солями серебра, после чего размещают на электропроводящей подложке, игла АСМ двигается с частотой от 0,16 до 1,12 Гц при разности потенциалов от -7 до -12 В, при комнатной температуре и нормальной влажности, что позволяет формировать рельеф с топологией заданной траекторией движении иглы с шириной от 40 до 200 нм, высотой от 2 до 40 нм.
Технический результат - обеспечение возможности формирования рельефа из серебряных кластеров с контролируемой морфологией на поверхности кремниевых пластин. Использование: для создания планарных структур
Кучерик А.О.
В.н.с. каф. ФиПМ
Кандидат физико-математических наук
Федин А.В.
Проректор по НиИР
29.33.47
Воздействие лазерного излучения на вещество
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
01.01.UR
PHYSICS, MATHEMATICAL
Анастасия
Шагурина
Юрьевна
Апробация способа
Алексей
Кучерик
Олегович
Разработка способа
Игорь
Скрябин
Олегович
Постановка эксперимента
Стелла
Кутровская
Владимировна
Патентный поиск
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ВлГУ
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Владимирский государственный университет имени Александра Григорьевича и Николая Григорьевича Столетовых"
1023301283290
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения