Программный комплекс для управления режимами работы источника плазмы
ВЧ-разряд полый катод нанотехнологии АСУ ТП источник плазмы
Программа предназначена для автоматизированного управления широкоапертурным источником плазмы низкого давления. Программа может использоваться в установках плазменного напыления и травления материалов микроэлектроники. Тип ЭВМ: PC. ОС: Windows 7 и выше. Функциональные возможности: ПО позволяет через интерфейс USB посредством графического интерфейса управлять работой широкоапертурного источника плазмы, а именно управлять включением источника, регулировать мощность, контролировать давление буферного газа в рабочем реакторе, управлять массовым расходом буферного газа через источник, выводить на экран статус текущего состояния источника. При этом программное обеспечение циклически опрашивает датчики давления, расхода, температуры, сравнивает с допустимыми значениями, сигнализируя о выходе контролируемых параметров за границы допустимых значений.
Программа может использоваться в установках плазменного напыления и травления материалов микроэлектроники.
Гаджи
Шахсинов
Шабанович
Генеральный директор
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
F-1195-2014
56288136400
146735
http://cathedra.dgu.ru/OfTheDepartment.aspx?id=2563&Pers_id=6228
0000-0001-7061-6220
РОССИЯ
Гаджи
Шахсинов
Шабанович
Генеральный директор
РОССИЯ
29.27.51
Применение плазмы
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Гаджи
Шахсинов
Шабанович
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
СЕРГЕЙ
ПОЛЯКОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "КИНЕТИК-ПЛАЗМА"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "КИНЕТИК-ПЛАЗМА"
1220500003900
ГАДЖИ
ШАХСИНОВ
ШАБАНОВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью