Способ и устройство управления концентрацией азота в плёнках AlN получаемых при магнетронном распылении
МАГНЕТРОН НИТРИД АЛЮМИНИЯ ОСАЖДЕНИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ ФИЗИКА ПЛАЗМЫ
При проведении процесса напыления при давлениях меньше 0.1 Па, длина свободного пробега частиц имеет порядок 10 см. Во время осаждения пленок AlN становится актуальной проблема получения заданной стехиометрии данных пленок, т.к. исследования состава пленок показали, что концентрация азота в пленках значительно ниже требуемой. В традиционных магнетронных распылительных системах подвод газовой смеси осуществляется непосредственно в камеру. Для повышения эффективности формирования пленок нитрида алюминия необходимо увеличить поток азота именно к подложке. Для этого в конструкцию магнетронной ростовой станции предлагаем включить дополнительный элемент в виде направленной на подложку магистрали азота. Данное решение позволит получать пленки с необходимым атомарным соотношением Al:N.
Возможность получения тонких пленок AlN стехиометрического состава методом магнетронного распыления
Сергей
Чепкасов
Юрьевич
Младший научный сотрудник
Отсутствует
Отсутствует
AAR-1005-2020
57192072789
1075312
https://research.nsu.ru/ru/persons/schepkasov
0000-0001-9462-0259
РОССИЯ
Михаил
Федорук
Петрович
ректор
РОССИЯ
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
01.03.UF
PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
01.03.UP
PHYSICS, PARTICLES & FIELDS
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Сергей
Чепкасов
Юрьевич
50 %
РОССИЯ
Павел
Гейдт
Викторович
50 %
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
Новосибирский государственный университет; НГУ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Новосибирский национальный исследовательский государственный университет"
1025403658565
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения