Устройство для соединения  полупроводниковых пластин
полупроводниковые пластины, соединение, бондинг
Полезная модель относится к области соединения (сращивания, бондинга) полупроводниковых пластин. В результате использования предлагаемого устройства обеспечивается повышение качества сращиванияполупроводниковых пластин за счёт уменьшения дефектов на поверхности пластин. Данный результат достигается за счёт использования в конструкции устройства для низкотемпературного прямого соединения полупроводниковых пластин следующих ключевых элементов: основание, центрифуга с каруселью с узлами крепления полупроводниковых пластин, крышка для создания замкнутого пространства над соединяемымиполупроводниковыми пластинами, узел нагрева, реакционная камера для соединения пластин, реакционная камера для отмывки пластин, шлюз между реакционными камерами, механизм перемещения пластин между реакционными камерами, насос для формирования вакуумной атмосферы, система выбора подачи реагентов в зависимости от типа соединяемых полупроводниковых пластин.
соединение полупроводниковых пластин в  производстве микроэлектронных изделий, сенсоров, МЭМС-датчиков;формирование вакуумной или газонаполненной полости между полупроводниковыми пластинами
Евгений
Гусев
Эдуардович
научный сотрудник
Кандидат технических наук
Отсутствует
L-7383-2016
57190162351
5303-8211
РОССИЯ
Максим
Махиборода
Александрович
генеральный директор
РОССИЯ
29.19.13
Механические свойства твердых тел
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Максим
Махиборода
Александрович
разработка концепции изобретения
Михаил
Фомичёв
Юрьевич
оформление текста заявки
Евгений
Гусев
Эдуардович
составление формулы изобретения
Николай
Дюжев
Алексеевич
разработка концепции изобретения
Максим
Чиненков
Юрьевич
оформление текста заявки
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "Сенсор Микрон"
Общество с ограниченной ответственностью "Сенсор Микрон"
1057748434006
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью