СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ КОРРОЗИОННОСТОЙКОГО ПОКРЫТИЯ
коррозионностойкие покрытия износостойкие покрытия ударостойкие и трещиностойкие покрытия
Изобретения относятся к способам нанесения коррозионно-стойких, износостойких, ударостойких и трещиностойких покрытий и могут быть использованы в химической, машиностроительной, горно- и нефтедобывающей промышленности, в инструментальном и ремонтном производствах для повышения защитных свойств поверхности инструмента и пар трения в агрессивной среде, в частности в 3% NaCl и 5% NaOH, а также повышения их теплостойкости при обработке в условиях сухого трения. Согласно способу проводят ионную очистку подложки дуговым испарителем в течение 5-15 мин при напряжении на подложке: 800…900 В, давлении в вакуумной камере Р=0,5 •10-3 Па.. После нанесения на подложку подслоя TiN наносят чередующиеся слои нитрида хрома и алюминия Cr1-xAlxN с диаметром кристаллитов 30-50 нм и 60-100 нм методом ИМР при управлении четырех магнетронов с двумя хромовыми мишенями и двумя алюминиевыми мишенями импульсными источниками питания при напряжении смещения на подложке 80-90 В. Чередующиеся слои нитрида хрома и алюминия Cr1-xAlxN с диаметром кристаллитов 30-50 нм и 60-100 нм наносят в газовой смеси азота и аргона при давлении 0,4-0,5 Па, устанавливают мощности на двух магнетронах с хромовыми мишенями NCr=3,5-4,0 кВт и на двух магнетронах с алюминиевыми мишенями NAl=3,0-3,2 кВт. При осаждении слоя Cr1-xAlxN с диаметром кристаллитов 30-50 нм магнетронное распыление проводят при работающих двух хромовых и двух алюминиевых мишеней при содержании азота 5-10 % и вращающейся подложке в течение не менее 40-50 мин. При осаждении слоя Cr1-xAlxN с диаметром кристаллитов 60-100 нм магнетронное распыление проводят при содержании азота 15-20 % в течение не менее 10-20 мин. При осаждении аморфного слоя Cr1-xAlxN магнетронное распыление проводят при содержании азота 20-25 % в течение не менее 10-15 мин. Осаждение чередующихся слоёв повторяют не менее двух раз и верхним наносят слой Cr1-xAlxN с диаметром кристаллитов 30-50 нм. Нанесение слоёв проводят на расстоянии от мишеней до подложки 160-170 мм, со скоростью вращения подложки 20-25 об/мин и температуре подложки 200-250 °С. Обеспечивается получение покрытия с высокими коррозионностойкими, износостойкими, ударостойкими и трещиностойкими свойствами и высокой адгезионной прочностью подслоя с материалом подложки и между слоями.
Изобретение относится к способам нанесения коррозионно-стойких, износостойких, ударостойких и трещиностойких покрытий и может быть использовано в химической, машиностроительной, горно- и нефтедобывающей промышленности, в инструментальном и ремонтном производствах для повышения защитных свойств поверхности инструмента и пар трения в агрессивной среде, в частности в 3% NaCl и 5% NaOH, а также повышения их теплостойкости при обработке в условиях сухого трения.
Андрей
Паньков
Анатольевич
Профессор  каф. МКМК
Доктор физико-математических наук
Доцент
-
-
РОССИЯ
Анатолий
Ташкинов
Александрович
Ректор
РОССИЯ
55.22.19
Металлические покрытия
55.09.43
Композиционные материалы
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
02.05.QH
MATERIALS SCIENCE, COMPOSITES
Анна
Каменева
Львовна
автор
РОССИЯ
Наталья
Бублик
Владимировна
автор
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ПНИПУ, ФГБОУ ВО  "Пермский  национальный исследовательский политехнический  университет", ФГБОУ ВО "ПНИПУ"
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего  образования "Пермский национальный исследовательский политехнический университет"
1025900513924
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения