Керамический корпус для газочувствительного полупроводникового сенсора
НАНОТЕХНОЛОГИИ, ГАЗОВЫЕ СЕНСОРЫ, НАНОЭЛЕКТРОНИКА, МЭМС, НАНОМАТЕРИАЛЫ
Полезная модель относится к конструктивным элементам микроэлектронных и микромеханических устройств, а более конкретно - к корпусам полупроводниковых газовых сенсоров и может найти широкое применение в измерительной технике, предназначенной для  определения типов различных газов и их количественного содержания в воздухе. Технический результат полезной модели направлен на упрощение технологии изготовления и повышении надежности корпусированных газочувствительных полупроводниковых сенсоров.
Полезная модель может найти широкое применение в измерительной технике, предназначенной для  определения типов различных газов и их количественного содержания в воздухе.
Самотаев Н.Н.
Доцент
Кандидат технических наук
Каргин Н.И.
И.о. проректора
59.35.29
Приборы для измерения состава и физико-химических свойств газов
61.43.39
Средства химической защиты
01.03.UB
PHYSICS, APPLIED
01.04.EI
CHEMISTRY, PHYSICAL
Дмитрий
Филипчук
Валерьевич
Разработка формулы, описания, рисунков и реферата полезной модели.
Николай
Самотаев
Николаевич
Разработка формулы, описания, рисунков и реферата полезной модели.
Константин
Облов
Юрьевич
Разработка формулы, описания, рисунков и реферата полезной модели.
Евгений
Онищенко
Михайлович
Разработка формулы, описания, рисунков и реферата полезной модели.
Минобрнауки России
Министерство образования и науки Российской Федерации
1047796287440
Организация
Министерство образования и науки Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НИЯУ МИФИ
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"
1037739366477
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения