Автоэмиссионная ячейка на эмиттер из графена, полученного плазменным травлением карбида кремния
Автоэмиссия Карбид кремния Плазменное травление Графен
Полезная модель может быть использована при производстве устройств на основе полупроводниковых технологий микро- и наноэлектроники, предназначенных для отображения и визуализации информации, а также излучения света. При этом автоэмиссионая ячейка на основе наноразмерного углеродного материала состоит из подложки, выполненную из карбида кремния, поверхность которой была модифицирована в виде остроконечных конусов, верхний слой которых преобразован в наноразмерный слой углерода, за счет чего были сформированы острия эмиссии, которые выступают в качестве эмиттирующего участка получаемого устройства. Технический результат предлагаемой полезной модели состоит в создании высокоэффективной автоэмиссонной ячейки за счет повышения плотности автоэмиссионного тока, временной стабильности параметров катода и уменьшения работы выхода электронов с поверхности катода, а также уменьшения потребления энергии, благодаря применению современных методик и материалов наноэлектроники. 2 ил.
Настоящая полезная модель относится к области микро- и наноэлектроники, а именно к электровакуумным устройствам, основанных на эмиссии электронов. Данное изобретение может быть интегрировано в высокотехнологические макроскопические системы отображения и визуализации информации.
Виктор
Климин
Сергеевич
Доцент
Кандидат технических наук
Отсутствует
E-6680-2014
57191376740
РОССИЯ
Анатолий
Метелица
Викторович
Проректор по научной и исследовательской деятельности
РОССИЯ
47.09.48
Наноматериалы для электроники
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Алексей
Резван
Анатольевич
Автор
РОССИЯ
Виктор
Климин
Сергеевич
Автор
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
Южный федеральный университет,  ФГАОУ ВО "ЮФУ"
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Южный федеральный университет"
1026103165241
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью