Газоразрядный источник излучения с длиной волны 126 нм
БАРЬЕРНЫЙ РАЗРЯД ДИМЕР АРГОНА ДИФФУЗНАЯ ПЛАЗМА ВАКУУМНОЕ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОЕ (ВУФ) ИЗЛУЧЕНИЕ
Изобретение относится к источникам излучения. Конкретно - к газоразрядным источникам излучения с длиной волны 126 нм возбуждаемых барьерным разрядом, и предназначено для использования в фотохимии, очистки поверхностей полупроводников, тестирования фотоионизационных приборов и в других областях. 
Газоразрядный источник излучения с длиной волны 126 нм возбуждаемом барьерным разрядом содержит колбу, продуваемую аргоном выполненную из двух кварцевых трубок большего и меньшего диаметров сваренных у одного торца и расположенных соосно. Трубка большего диаметра имеет отверстие в области сварки для выхода аргона из колбы после его возбуждения в окружающий воздух, а с другой стороны к трубке крепится выходное окно из материала с малым поглощением в ВУФ области спектра. У выходного окна трубки большего диаметра, выполнены два конусных углубления, имеющие угол у вершины 40-70 градусов. Конусные углубления в полости которых вставлены металлические электроды, соединённые с импульсным источником питания, расположены таким образом, что их центральные оси находятся на прямой линии, проходящей через центральную ось кварцевых трубок под прямым углом. Для наддува аргона в область между электродами трубка меньшего диаметра имеет отверстие, присоединённое к системе подачи аргона в колбу, а вторая сторона трубки установлена вплотную к внешней поверхности конусных углублений трубки большего диаметра.
Фотохимия; Полупроводниковая промышленность; Тестирование фотоионизационных приборов.
29.27.43
Газовый разряд
29.27.51
Применение плазмы
29.27.15
Излучение плазмы
Дмитрий
Сорокин
Алексеевич
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"O-9126-2014"
"24376969300"
"614296"
"0000-0002-6884-2525"
РОССИЯ
Виктор
Скакун
Семенович
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"-"
"7002486731"
"40357"
"-"
РОССИЯ
Виктор
Тарасенко
Федотович
"Доктор физико-математических наук"
"Профессор"
"P-1163-2015"
"140364810035"
"18759"
"0000-0001-5706-3211"
РОССИЯ
Виктор
Панарин
Александрович
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"-"
"36947665700"
"505811"
"-"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИСЭ СО РАН
Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук
1027000871666
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения