Метод получения в СВЧ плазме алмазных покрытий со сниженными напряжениями на кремниевой подложке, приводящий к уменьшению прогиба подложки с покрытием
поликристаллический алмаз покрытия СВЧ-плазма CVD алмаз снижение деформации
Данный РИД (результат интеллектуальной деятельности) имеет практическое народно-хозяйственное значение. Разработка является способом уменьшения деформации (прогиба) подложки с алмазным покрытием, что позволяет проводить далее интеграцию полупроводниковых структур и приборов, например, транзисторов на GaN, на теплоотводящем алмазном слое, и повысить характеристики приборов за счет усиленной диссипации выделяющегося тепла.
Данное ноу-хау может быть использовано при создании приборов СВЧ электроники, в частности транзисторов на GaN с алмазным теплоотводом.
Виталий
Конов
Иванович
руководитель центра
Доктор физико-математических наук
Академик
A-5543-2016
55395206900
0000-0002-1135-5566
РОССИЯ
Сергей
Гарнов
Владимирович
директор
РОССИЯ
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
29.19.33
Диэлектрики
29.27.43
Газовый разряд
01.03.UB
PHYSICS, APPLIED
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Виталий
Конов
Иванович
РОССИЯ
Виктор
Ральченко
Григорьевич
РОССИЯ
Вадим
Седов
Станиславович
РОССИЯ
Артем
Мартьянов
Константинович
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИОФ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "ИНСТИТУТ ОБЩЕЙ ФИЗИКИ ИМ. А.М. ПРОХОРОВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
1027700378595
СЕРГЕЙ
ГАРНОВ
ВЛАДИМИРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения