Устройство полирования подложки пучком ионов
быстрые атомы распыление поверхности осаждение покрытия Плазма вакуум
Изобретение относится к области обработки изделий ускоренными ионами и предназначено для получения изделий с повышенными характеристиками за счет полирования поверхности пучком ионов. Технический результат – повышение производительности процесса полирования пучком ионов. Устройство полирования подложки пучком ионов содержит вакуумную камеру, установленный на вакуумной камере источник пучка ионов, вращающийся держатель подложки, размещенный внутри вакуумной камеры с углом падения ионов на поверхность подложки α от 75° до 87°, и установленную внутри вакуумной камеры напротив подложки мишень магнетронной распылительной системы. На фиг. 1 показана схема устройства полирования подложки пучком ионов с большим углом падения на ее поверхность. На фиг. 2 показана схема процесса распыления выступов на поверхности подложки пучком ионов с большим углом падения на поверхность и одновременного осаждения на нее покрытия.
Область проектирования и изготовления инновационных конструкций вакуумно-плазменного оборудования, а также совершенствование установок, используемых в промышленности и лабораториях.
Изобретение относится к ионно-плазменной технологии и может быть использовано для полирования изделий в вакууме.
Александр
Метель
Сергеевич
Профессор
Доктор физико-математических наук
Доцент
L-8736-2013
6506816930
125667
РОССИЯ
Владимир
Серебренный
Валерьевич
Ректор
РОССИЯ
29.27.51
Применение плазмы
29.27.43
Газовый разряд
29.27.23
Пучки в плазме
01.03.UB
PHYSICS, APPLIED
01.03.UF
PHYSICS, FLUIDS & PLASMAS
Сергей
Григорьев
Николаевич
РОССИЯ
Энвер
Мустафаев
Серверович
РОССИЯ
Александр
Метель
Сергеевич
РОССИЯ
Марина
Волосова
Александровна
РОССИЯ
Юрий
Мельник
Андреевич
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФГБОУ ВО «МГТУ «СТАНКИН»
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования «Московский государственный технологический университет «СТАНКИН»
1037700246451
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения