Мощный источник направленного экстремального ультрафиолетового излучения c длиной волны 9 – 12 нм для проекционной литографии высокого разрешения
Рентгенотехника ЭУФ излучение проекционная литография
Изобретение относится к области рентгенотехники. Технический результат – возможность получения направленного узкополосного ЭУФ излучения с длиной волны в диапазоне 9-12 нм для проекционной литографии высокого разрешения с высокой средней мощностью. Сопло Лаваля системы газонапуска имеет диаметр, обеспечивающий формирование слабо расходящейся струи инертного газа. Система газонапуска включает в себя газоприемник, расположенный на оси струи инертного газа на расстоянии от сопла, представляющий собой трубу переменного диаметра с входным отверстием, перехватывающим всю струю инертного газа, и снабженный блоком рекуперации газа, включающим в себя высокопроизводительный вакуумный насос, ресиверы и вакуум-компрессор и обеспечивающим сбор и повторную подачу газа в систему газонапуска. В центре многослойного рентгеновского зеркала выполнено отверстие для введения излучения импульсного лазера в вакуумную камеру перпендикулярно оси струи инертного газа, причем фокус излучения импульсного лазера расположен на обращенной к центру рентгеновского зеркала поверхности струи инертного газа между соплом и газоприемником. Сорт газа, плотность газовой струи, мощность излучения лазера, размер его фокального пятна подобраны так, чтобы обеспечить пробой газа, нагрев электронов, образование многозарядных ионов с зарядом, оптимальным для генерации линий ЭУФ излучения, лежащих в диапазоне 9-12 нм.
Микроэлектроника
29.31.17
Оптика атомов и ионов
Илья
Абрамов
Сергеевич
"Кандидат физико-математических наук"
"Отсутствует"
"P-6992-2017"
"57189989903"
"0000-0003-0033-1793"
РОССИЯ
Сергей
Голубев
Владимирович
"Доктор физико-математических наук"
"Профессор"
"AAU-8904-2020"
"7004970929"
"121212"
"https://ipfran.ru/institute/staff/gol"
"0000-0003-0585-2475"
РОССИЯ
Николай
Чхало
Иванович
"Доктор физико-математических наук"
"Отсутствует"
"ABH-3273-2020"
"6602549515"
"19176"
"http://www.ipmras.ru/institute/persons/staff/74-chkhalo-nikolay-ivanovich/"
"0000-0003-0653-0857"
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИПФ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ НАУЧНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР ИНСТИТУТ ПРИКЛАДНОЙ ФИЗИКИ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
1025203020193
ГРИГОРИЙ
ДЕНИСОВ
ГЕННАДЬЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения