Способ определения коэффициента уточнения объёма объектов на поверхности с использованием АСМ с учётом высоты объектов
АТОМНО СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ ТОПОГРАФИЯ ПОВЕРХНОСТИ ЛОКАЛЬНЫЕ ОБЪЕКТЫ КОНВОЛЮЦИЯ ФОРМЫ ЗОНДА ШЕРОХОВАТОСТЬ
Метод атомно-силовой микроскопии основан на использовании механического зонда для получения изображения поверхности. При сканировании поверхности образца консоль отклоняется от равновесного положения в зависимости от рельефа, величина этого отклонения регистрируется системой детектирования, одновременно с этим, системой детектирования регистрируется рельеф поверхности. Для получения информации о размерах зерен и правильной количественной интерпретации полученных АСМ результатов необходим учет влияния формы зонда, т.к. возникает ограничение, связанное с геометрией иглы и геометрическими особенностями установки кантилевера. Поэтому предлагаем учесть коэффициент уточнения объема объектов для определения реальной топографии поверхностных неоднородностей. Разработка выполнена с использованием оборудования ЦКП «ВТАН» НГУ.
Экспрессная характеризация нанорельефа тонких плёнок AlN и создание квазиоптических фильтров (корректировка значений диэлектрической проницаемости).
Алина
Лапега
Витальевна
Младший научный сотрудник
Отсутствует
Отсутствует
AAR-8331-2020
—
1076143
0000-0002-2821-0830
РОССИЯ
Дмитрий
Чуркин
Владимирович
проректор по научно-исследовательской деятельности
РОССИЯ
29.19.13
Механические свойства твердых тел
90.27.27
Измерения геометрических величин
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Алина
Лапега
Витальевна
РОССИЯ
Павел
Гейдт
Викторович
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
НОВОСИБИРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ, НГУ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "НОВОСИБИРСКИЙ НАЦИОНАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1025403658565
МИХАИЛ
ФЕДОРУК
ПЕТРОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения