"Резонансно-частотный датчик давления с чувствительным элементом на основе композитных материалов "
КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ ТЕХНИКА ПОВЫШЕНИЕ ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТИ ДАВЛЕНИЕ КРЕМНИЕВЫЙ ЭЛЕМЕНТ КОМПОЗИТНЫЙ РЕЗОНАТОР
Полезная модель относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в нефтяных вышках и трубопроводах.
Техническим результатом является повышение чувствительности и диапазона измеряемого давления устройства.
Технический результат достигается за счет замены кремниевого чувствительного элемента, представляющего собой резонатор с двумя параллельными балками, соединёнными перемычкой, на композитный резонатор на основе структуры Al2O3/Ti с вытравленным слоем титана в области перемычки.
Полезная модель относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в нефтяных вышках и трубопроводах
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
Иван
Кулинич
Владимирович
"Кандидат технических наук"
"Доцент"
"AAB-7411-2020"
"57205437118"
"746533"
"-"
РОССИЯ
Евгений
Барбин
Сергеевич
"Кандидат технических наук"
"Отсутствует"
"A-5593-2014"
"56039318500"
"724572"
"0000-0001-5904-0216"
РОССИЯ
Денис
Моховиков
Максимович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"-"
"-"
"-"
"-"
РОССИЯ
Ангелина
Гуляева
Алексеевна
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"-"
"-"
"-"
"0000-0002-2434-0902"
РОССИЯ
Алена
Таловская
Алексеевна
"Отсутствует"
"Отсутствует"
"-"
"-"
"-"
"-"
РОССИЯ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
ВАЛЕРИЙ
ФАЛЬКОВ
НИКОЛАЕВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ"
1027000867068
ВИКТОР
РУЛЕВСКИЙ
МИХАЙЛОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения