Магнетронное распылительное устройство
ионно-плазменное распыление, магнетрон, мишень, катод тлеющего разряда, вакуумная камера
Изобретение относится устройствам ионно-плазменного распыления в скрещенных магнитном и электрических полях, и может быть использовано в качестве базового распылительного оборудования. 
    Технический результат изобретения заключается в повышении эффективности использования оборудования в составе системы вакуумного распыления в магнетронах и установках катодного осаждения за счет повышения общего эксплуатационного ресурса мишени, а также в упрощении конструкции устройства и повышении надежности при эксплуатации. 
     В магнетронном распылительном устройстве, содержащем мишень, являющуюся катодом тлеющего разряда, связанную с мишенью магнитную систему, вакуумную камеру, являющуюся анодом тлеющего разряда, и источник питания тлеющего разряда, соединенный отрицательным полюсом с мишенью, а положительным полюсом - с вакуумной камерой, магнитная система выполнена в виде прилегающего к мишени кольцевого магнита
Базовое распылительное оборудование в устройствах  ионно-плазменного распыления в скрещенных магнитном и электрических полях
Галина
Чучева
Викторовна
Зам. директора
Доктор физико-математических наук
Профессор
-
-
-
-
РОССИЯ
Владимир
Смирнов
Михайлович
директор
РОССИЯ
29.27.07
Элементарные процессы в плазме
29.27.03
Общие свойства плазмы
02.05.PJ
MATERIALS SCIENCE, PAPER & WOOD
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Валерий
Лузанов
Альбертович
Предложил конструкцию устройства
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ФИРЭ им. В.А.Котельникова РАН
Фрязинский филиал Федерального государственного бюджетного учреждения науки Институт радиотехники и электроники им. В.А.Котельникова Российской академии наук
1027700183708
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Филиалы юридических лиц