Программа расчета полного вторично-эмиссионного сигнала в растровом электронном микроскопе
Растровый электронный микроскоп Вторичная электронная эмиссия
Программа предназначена для расчета суперпозиции сигналов, образованных обратно отраженными и истинно вторичными электронами от протяженных структур с трапецеидальным или прямоугольным профилем и может быть использована для моделирования сигнала при режимах работы микроскопа в широком диапазоне ускоряющих напряжений (от 50 эВ до 50 кэВ). Программа может быть использована для повышения эффективности исследования поверхности объектов с помощью растрового электронного микроскопа и быстрой метрологии структур нанометрового диапазона.
Программа может быть использована при проектировании и использовании растровых электронных микроскопов
Вячеслав
Казьмирук
Васильевич
Заведующий лабораторией
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
L-2112-2018
36870303500
РОССИЯ
Дмитрий
Рощупкин
Валентинович
директор
РОССИЯ
29.35.43
Электронная и ионная микроскопия
29.35.37
Электронная и ионная эмиссия
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Татьяна
Савицкая
Николаевна
Разработка кода программы
РОССИЯ
Илья
Курганов
Геннадьевич
Разработка кода программы
РОССИЯ
Вячеслав
Казьмирук
Васильевич
Разработка теоретической основы кода программы
РОССИЯ
Александр
Подкопаев
Александрович
Разработка кода программы
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИПТМ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ИНСТИТУТ ПРОБЛЕМ ТЕХНОЛОГИИ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ И ОСОБОЧИСТЫХ МАТЕРИАЛОВ РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК
1035006105166
ДМИТРИЙ
РОЩУПКИН
ВАЛЕНТИНОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения