Вакуумный комплекс термического отжига полупроводниковых пластин
диффузия ионно-имплантированных материалов в полупроводниковых структурах термический отжиг полупроводниковых пластин термическая обработка полупроводниковых пластин
Сущность изобретения заключается в том, что в вакуумный комплекс термического отжига полупроводниковых пластин, содержащий рабочую камеру, включающую нагреватель и держатель пластин, сопряженный с первым приводом, и включающую также первый модуль откачки, введена перегрузочная камера с модулем охлаждения, сопряженная с рабочей камерой и включающая манипулятор с захватом пластин, при этом модуль охлаждения расположен в перегрузочной камере и выполнен в виде корпуса с полостью, сопряженного с источником хладагента, причем в корпусе сформированы первые отверстия, расположенные в сторону захвата пластин, в котором выполнены вторые отверстия.
Изобретение относится к области электронной техники и может быть использовано в процессах термической обработки полупроводниковых пластин, например диффузии ионно-имплантированных материалов в полупроводниковых структурах.
Вадим
Одиноков
Васильевич
Заместитель генерального директора по науке
Доктор технических наук
Профессор
-
-
РОССИЯ
Михаил
Бирюков
Георгиевич
Генеральный директор
РОССИЯ
47.13.11
Технология и оборудование для производства полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
Александр
Шубников
Валерьевич
РОССИЯ
Юрий
Бараник
Семенович
РОССИЯ
Илья
Иванов
Александрович
РОССИЯ
Вадим
Одиноков
Васильевич
РОССИЯ
МИНПРОМТОРГ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО ПРОМЫШЛЕННОСТИ И ТОРГОВЛИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1047796323123
ДЕНИС
МАНТУРОВ
ВАЛЕНТИНОВИЧ
Организация
Министерство промышленности и торговли Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
АО НИИТМ
Акционерное общество "Научно-исследовательский институт точного машиностроения"
1027700037749
Организация
Приватизированные предприятия
Непубличные акционерные общества