Датчик низкого вакуума
ДАТЧИК ПИРАНИ ИЗМЕРЕНИЕ ВАКУУМА
Полезная модель «Датчик низкого вакуума» относится к вакуумной технике, в частности приборам для измерения низкого вакуума. Он может быть использован при создании аналитических и технологических вакуумных камер для контроля уровня вакуума и работы вакуумных насосов в электронной промышленности, приборостроении, ядерной физике и медицине.
Термические датчики низкого давления (тип Пирани) известны более 100 лет, тем не менее до сих пор физические основы их работы не до конца ясны. В настоящее время основное внимание уделяется обеспечению быстродействия датчиков и точности измерений, что важно в связи с широким использованием низковакуумных систем для создания аналитических приборов и низковакуумных узлов масс-спектрометров.
Целью создания настоящей полезной модели является создание конструкции низковакуумного датчика, обеспечивающего высокое быстродействие с временем отклика, не превышающем 1 с во всем диапазоне рабочих давлений (1000 – 10^-2 мбар), а также высокий уровень воспроизводимости измерений: не хуже ±15% в том же диапазоне давлений.
При создании аналитических и технологических вакуумных камер для контроля уровня вакуума и работы вакуумных насосов в электронной промышленности, приборостроении, ядерной физике и медицине
Евгений
Рутьков
Викторович
научный сотрудник
Доктор физико-математических наук
Профессор
-
-
РОССИЯ
Дмитрий
Салин
Борисович
Генеральный директор
РОССИЯ
81.29.21
Вакуумметрия и вакуумметры
01.07.RO
MULTIDISCIPLINARY SCIENCES
Дмитрий
Салин
Борисович
РОССИЯ
Николай
Галль
Ростиславович
РОССИЯ
Ольга
Беляева
Андреевна
РОССИЯ
Евгений
Рутьков
Викторович
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "СВС"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "СОВРЕМЕННЫЕ ВАКУУМНЫЕ СИСТЕМЫ"
1177847291819
Дмитрий
Салин
Борисович
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью