Узел нагрева и позиционирования подложек
подложки термическое, электроннолучевое и лазерное испарение ионно-плазменное распыление функциональные тонкопленочные слои
Полезная модель относится к электротехнике и может быть использована при проектировании и изготовлении исследовательских установок осаждения функциональных тонкопленочных слоев различными методами ионно-плазменного распыления, термического, электроннолучевого и лазерного испарения. Технический результат состоит в возможности одновременного осаждения слоев в идентичных условиях на несколько подложек, находящихся при различной температуре. Поставленная цель достигается установкой на вращающуюся планшайбу УНПП нескольких держателей подложек со встроенными нагревателями, температура которых задается и поддерживается индивидуально. Предложенная конструкция дает возможность получения за один цикл осаждения полной информации о температурной зависимости скорости осаждения, структуры и функциональных характеристик осаждаемых слоев.
Проектирование и изготовление исследовательских установок осаждения функциональных тонкопленочных слоев различными методами ионно-плазменного распыления, термического, электроннолучевого и лазерного испарения
Абил
Асваров
Шамсудинович
внс
Кандидат физико-математических наук
Отсутствует
N-8071-2016
15126969600
114199
РОССИЯ
Акай
Муртазаев
Курбанович
директор
РОССИЯ
29.19.03
Теория конденсированного состояния
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Ахмед
Ахмедов
Кадиевич
разработка концепции, изготовление прототипа
РОССИЯ
Абил
Асваров
Шамсудинович
тестирование и доводка прототипа
РОССИЯ
ФАНО России
Федеральное агентство научных организаций
5137746009462
Организация
Правительство Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ИФ ДФИЦ РАН
Институт физики им. Х.И. Амирханова - обособленное подразделение Федерального государственного бюджетного учреждения науки Дагестанского федерального исследовательского центра Российской академии наук
1020502464421
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Структурные подразделения обособленных подразделений юридических лиц