СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ЭМИТИРУЮЩЕЙ ПОВЕРХНОСТИ АВТОЭМИССИОННЫХ КАТОДОВ
лазерное излучение полевая эмиссия восстановленный оксид графена углеродные нанотрубки
Изобретение относится к области электроники, в частности, к способам изготовления автоэмиссионных катодов на основе углеродных наноматериалов. Технический результат заключается в улучшении стабильности эмиссии и увеличении эмиссионного тока посредством увеличения однородности формируемой структуры за счет удаления агломератов восстановленного оксида графена и углеродных нанотрубок при центрифугировании суспензии, увеличении адгезии углеродных нанотрубок к поверхности и уменьшения контактного сопротивления между углеродными нанотрубками и подложкой из-за сваривания углеродных нанотрубок со слоем восстановленного оксида графена, который приварен к подложке. Способ формирования эмитирующей поверхности автоэмиссионных катодов включает изготовление суспензии восстановленного оксида графена и суспензии углеродных нанотрубок, центрифугирование суспензии восстановленного оксида графена, формирование слоя восстановленного оксида графена путём нанесения его суспензии на нагретую подложку и облучение в вакууме сформированного слоя восстановленного оксида графена лазерным излучением в импульсном режиме, центрифугирование суспензии углеродных нанотрубок, нанесение суспензии углеродных нанотрубок на нагретую подложку со слоем восстановленного оксида графена с последующим облучением в вакууме сформированного слоя лазерным излучением в импульсном режиме.
Изобретение может быть использовано для изготовления элементов и приборов вакуумной электроники, таких как рентгеновские трубки, автоэмиссионные дисплеи и вакуумные СВЧ-приборы.
Ольга
Глухова
Евгеньевна
Заведующая кафедрой
Доктор физико-математических наук
Профессор
C-5497-2013
55900629900
33028
https://www.sgu.ru/person/gluhova-olga-evgenevna
0000-0002-5670-2058
РОССИЯ
Алексей
Чумаченко
Николаевич
Ректор
РОССИЯ
47.09.48
Наноматериалы для электроники
29.19.22
Физика наноструктур. Низкоразмерные структуры. Мезоскопические структуры
29.19.25
Взаимодействие проникающего излучения с твердыми телами
01.03.UB
PHYSICS, APPLIED
01.03.UI
PHYSICS, MULTIDISCIPLINARY
Ольга
Глухова
Евгеньевна
РОССИЯ
Артем
Куксин
Викторович
РОССИЯ
Александр
Герасименко
Юрьевич
РОССИЯ
Юрий
Шаман
Петрович
РОССИЯ
Евгений
Кицюк
Павлович
РОССИЯ
РНФ
Российский научный фонд
1137799022261
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Фонды
ФГБОУ ВО "СГУ имени Н.Г.Чернышевского", Саратовский университет, СГУ
Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Саратовский национальный исследовательский государственный университет имени Н. Г. Чернышевского"
1026402674935
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения