Программа для реализации двумерного электростатического анализа параметризуемого интегрального микромеханического туннельного акселерометра
система автоматизированного проектирования интегральный микромеханический туннельный акселерометр
Программа предназначена для проведения двумерного электростатического анализа конструкции интегрального микромеханического туннельного акселерометра с параметризуемыми физическими и геометрическими характеристиками в системе автоматизированного проектирования ANSYS. С помощью программы можно оптимизировать параметры конструкции акселерометра.
С помощью программы можно оптимизировать параметры конструкции акселерометра.
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
Алексей
Ткаченко
Вячеславович
"Отсутствует"
"Отсутствует"
РОССИЯ
Игорь
Лысенко
Евгеньевич
"Доктор технических наук"
"Доцент"
РОССИЯ
Алина
Исаева
Сергеевна
"Кандидат технических наук"
"Отсутствует"
РОССИЯ
Марк
Денисенко
Анатольевич
"Кандидат технических наук"
"Отсутствует"
РОССИЯ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1026103165241
ИННА
ШЕВЧЕНКО
КОНСТАНТИНОВНА
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ АВТОНОМНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ЮЖНЫЙ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ УНИВЕРСИТЕТ"
1026103165241
ИННА
ШЕВЧЕНКО
КОНСТАНТИНОВНА
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные автономные учреждения