Устройство СВЧ плазменного реактора с регулированием температуры косвенного нагрева подложки
устройства для генерирования СВЧ плазмы, контроль, стабилизация, регулирование температуры, СВЧ плазма высокой плотности мощности
Изобретение относится к исполнительным механизмам в устройствах для генерирования СВЧ плазмы высокой плотности мощности и может быть использовано для обеспечения контроля, стабилизации, регулирования температуры процесса по заданному алгоритму за счет позицинирования и фиксации держателя в горизонтальной плоскости аксиально оси реактора при осаждении алмазных пленок и покрытий на изделия машиностроения и электроники. Изобретение обеспечивает регулирование и поддержание температуры косвенного нагрева подложки длительное время с высокой точностью и не требует корректировки каких-либо режимных параметров плазмохимического осаждения, что упрощает конструкцию установки, обеспечивает ее автономную работу, и снижает потребляемую мощность.
осаждение алмазных пленок и покрытий на изделия машиностроения и электроники
Конов В.И.
Рук. ЦЕНИ ИОФ РАН
Доктор физико-математических наук
Гарнов С.В.
Директор ИОФ РАН
29.19.16
Физика тонких пленок. Поверхности и границы раздела
55.22.23
Неметаллические покрытия
01.00.00
Natural Sciences
02.05.QG
MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS
Виктор
Ральченко
Григорьевич
предложил подвижную и неподвижную направляющие соединить через их верхние и нижние плечи с помощью упругих пластин
Виталий
Конов
Иванович
предложил подвижный конец сильфонного узла с размещенным на нем штоком размещать с вакуумной стороны камеры
Евгений
Ашкинази
Евсеевич
предложил подвижную часть сильфонного узла жестко соединить с направляющей, связанной с кулачковой муфтой, закрепленной на ведущем валу шагового двигателя привода
Станислав
Рыжков
Геннадиевич
предложил регулирование температуры процесса по заданному алгоритму за счет позицинирования и фиксации держателя в горизонтальной плоскости аксиально оси реактора
Андрей
Большаков
Петрович
предложил подвижную и неподвижную направляющие, соединенные через их верхние и нижние плечи с помощью пластин, упругость которых регулируется гайками
Александр
Шубников
Валерьевич
предложил второй конец вала шагового двигателя, снабдить кулачком взаимодействующим с датчиком угла поворота, причем эксцентриситет (е) кулачкового механизма равен ходу держателя от среднего положения h0 до крайнего ± h.
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ИОФ РАН
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ ФЕДЕРАЛЬНЫЙ ИССЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ЦЕНТР "ИНСТИТУТ ОБЩЕЙ ФИЗИКИ ИМ. А.М. ПРОХОРОВА РОССИЙСКОЙ АКАДЕМИИ НАУК"
1027700378595
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения