Форвакуумный плазменный источник импульсного электронного пучка на основе контрагированного дугового разряда
Контрагированный дуговой разряд Форвакуумный диапазон давлений Импульсный электронный пучок Плазменный источник электронов
Техническое решение относится к области плазменной техники и может быть применено в электроннолучевой технологии, в частности, при разработке устройств, предназначенных для генерации импульсных электронных пучков, и технологиях модификации поверхности материалов.
Сущность заявляемого технического решения заключается в том, что в известном форвакуумном источнике импульсного низкоэнергетичного электронного пучка, содержащем цилиндрический катод, заключенный в трубчатый керамический изолятор, поджигающий электрод, размещенный на внешней стороне керамического изолятора, полый цилиндрический анод, размещенный соосно с катодом, сеточный эмиссионный электрод, который электрически отделен от анода изолятором, высоковольтный изолятор сложной формы и сеточный ускоряющий электрод, между катодом и полым анодом установлен электрически изолированный промежуточный плоский электрод, имеющий узкий контрагирующий канал, выполненный соосно с катодом и имеющий оптимальные геометрические параметры, а поступление рабочего газа в катодную область разряда осуществляется через контрагирующий канал из анодной области.
Техническое решение обеспечило увеличение электрической прочности ускоряющего промежутка форвакуумного импульсного источника электронов посредством существенного снижения доли паров, микрокапель и ионов материала катода, проникающих в полый анод и приводящих к формированию загрязнений на эмиссионном сеточном электроде, а также практически исключило проникновение материала катода в ускоряющий промежуток и область транспортировки пучка.
Разработанный форвакуумный плазменный источник импульсного электронного пучка на основе контрагированного дугового разряда будет использоваться для генерации пучковой плазмы и обработки различных материалов пучком электронов в форвакуумном диапазоне давлений.
Андрей
Казаков
Викторович
доцент
Кандидат технических наук
Отсутствует
N-6258-2016
23485394400
740488
0000-0002-3031-0240
РОССИЯ
Ольга
Аркатова
Евгеньевна
Начальник отдела менеджмента качества (ОМК) ТУСУР
РОССИЯ
29.27.51
Применение плазмы
01.03.UB
PHYSICS, APPLIED
Андрей
Казаков
Викторович
РОССИЯ
Алиса
Никоненко
Владимировна
РОССИЯ
Николай
Панченко
Алексеевич
РОССИЯ
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
МИНИСТЕРСТВО НАУКИ И ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
1187746579690
Петр
Мордовской
Григорьевич
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные казенные учреждения
ТУСУР, ФГБОУ ВО "ТУСУР", ФГБОУ ВО "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ", ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ ОБРАЗОВАТЕЛЬНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ "ТОМСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ И РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ"
1027000867068
ВИКТОР
РУЛЕВСКИЙ
МИХАЙЛОВИЧ
Организация
Министерство науки и высшего образования Российской Федерации
Федеральные государственные бюджетные учреждения