Способ изготовления электронных детекторов терагерцовой частоты
наномикроструктуры, лазерные технологии, терагерцовый детектор
Изобретение относится к оптическим технологиям получения структурных образований нано- и микрометровых размеров, в частности к лазерным методам формирования на подложках наноструктур, к технологиям изготовления быстродействующих детекторов электромагнитных колебаний терагерцового диапазона. 
Задачей, решаемой предлагаемым изобретением, является увеличение разрешающей способности способа лазерно-пиролитического нанесения анодного электрода туннельного МДМ диода.
Решение задачи достигается тем, что в способе изготовления детекторов терагерцового диапазона электромагнитных волн с туннельными МДМ диодами, включающем последовательное формирование на поверхности полупроводниковой пластины слоя металла катода, тонкого слоя туннельного изолятора, слоя вспомогательного изолятора с отверстиями, лазерно-пиролитическое нанесение металла анода и формирование микрополосковой линии, в соответствии с изобретением, слой вспомогательного изолятора напыляют в вакууме на слой туннельного изолятора с предварительно осаждённым на его поверхность слоем не соприкасающихся между собой наносфер, после чего получают отверстия удалением наносфер и затем формируют анодный электрод адресуемым лазерно-пиролитическим нанесением металла в атмосфере, содержащей пары летучего химического соединения металла, на участок вспомогательного изолятора с перекрытием краёв отверстия, продолжая нанесение до формирования микрополосковой линии.
Техническим результатом изобретения является создание способа изготовления детекторов  терагерцового диапазона электромагнитных волн.
беспроводные линии связи, волоконные линии связи, терагерцовое радиовидение, беспроводные сети на кристалле или в корпусе
Дмитрий
Чесноков
Владимирович
Руководитель по научным исследованиям и разработкам
Кандидат технических наук
Доцент
L-1729-2016
22133663100
181128
0000-0001-7803-9042
РОССИЯ
Нурлан
Усубалиев
Абдыназарович
Генеральный директор
РОССИЯ
29.19.31
Полупроводники
29.35.47
Твердотельные приборы СВЧ-диапазона
47.03.05
Теоретические основы полупроводниковых приборов, микроэлектроники
47.03.10
Теоретические основы электронной техники СВЧ
47.13.35
Лазерные технологии в электронном производстве
02.02.IQ
ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC
02.02.EU
COMMUNICATION
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
01.03.SY
OPTICS
01.03.UK
PHYSICS, CONDENSED MATTER
Дмитрий
Чесноков
Владимирович
РОССИЯ
Нурлан
Усубалиев
Абдыназарович
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "СОЛЕННА"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "СОЛЕННА"
1215400023959
НУРЛАН
УСУБАЛИЕВ
АБДЫНАЗАРОВИЧ
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью