Программа для моделирования параметров изотермического и термоупругого демпфирования подвижного электрода емкостных радиочастотных микромеханических переключателей с электростатическим механизмом активации
термоупругое демпфирование изотермическое демпфирование демпфирование переключатель РЧ МЭМС радиочастотные микроэлектромеханические системы МЭМС микроэлектромеханические системы микромеханика
Разработанная программа на языке программирования MATLAB и объемом в 16 Кб предназначена для моделирования параметров изотермического и термоупругого демпфирования подвижного электрода емкостных радиочастотных микромеханических переключателей с электростатическим механизмом активации. Данная программа позволяет рассчитывать параметры изотермического демпфирования, происходящего при постоянной температуру между подвижным электродом, закрепленным и подвешенным по краям с помощью упругих элементов подвеса, и неподвижными нижними управляющими электродами, расположенными симметрично под подвижным электродом конструкции. При электростатической активации подвижный электрод притягивается к неподвижным нижним управляющим электродам, сжимая при этом находящийся под ним воздух. Процесс сжатия происходит по-разному и главным образом зависит от выбранной конструкции радиочастотного микромеханического переключателя, т. е. от путей и возможности бокового удаления сжимаемого при этом воздуха. Заданным граничным условие в данном случае является случай, когда все стороны под подвижным электродом открыты, что является наиболее распространенным вариантом при проектировании данного типа радиочастотных переключателей. Параметры демпфирования в рассматриваемой колебательной системе оказывают прямое влияние на добротность или фактор качества, высокая величина которого необходима при проектировании радиочастотных микромеханических переключателей. Также разработанная программа позволяет моделировать параметры термоупругого демпфирования, возникающего в описываемой колебательной системе. При термоупругом демпфировании связь поля деформации с температурным полем обеспечивает возникновение механизма рассеивания энергии, который позволяет данной системе расслабиться и вернуться в равновесное состояние. Релаксация термоупругого твердого тела достигается за счет необратимого потока тепла, обусловленного локальными градиентами температуры, действующими на подвижный электрод радиочастотного микромеханического переключателя при коммутации радиочастотных сигналов высокой частоты и мощности.
Направлением использования является моделирования параметров изотермического и термоупругого демпфирования подвижного электрода емкостных радиочастотных микромеханических переключателей с электростатическим механизмом активации.
Игорь
Лысенко
Евгеньевич
Научный руководитель
Доктор технических наук
Доцент
E-5794-2014
55971078200
160157
https://sfedu.ru/www/stat_pages22.show?p=UNI/s1/D&params=(p_per_id=%3E-3001052)
РОССИЯ
Алексей
Ткаченко
Вячеславович
Директор
РОССИЯ
47.45.99
Прочие элементы СВЧ-техники
47.33.31
Интегральные микросхемы
47.14.07
Проектирование и конструирование полупроводниковых приборов и приборов микроэлектроники
02.10.NS
NANOSCIENCE & NANOTECHNOLOGY
Алексей
Ткаченко
Вячеславович
Разработка всей программы в целом
РОССИЯ
Игорь
Лысенко
Евгеньевич
Формализация задачи
РОССИЯ
ФОНД СОДЕЙСТВИЯ ИННОВАЦИЯМ
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "ФОНД СОДЕЙСТВИЯ РАЗВИТИЮ МАЛЫХ ФОРМ ПРЕДПРИЯТИЙ В НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКОЙ СФЕРЕ"
1027739479734
Организация
Федеральное государственное бюджетное учреждение "Фонд содействия развитию малых форм предприятий в научно-технической сфере"
Федеральные государственные бюджетные учреждения
ООО "РЧ МИКРОСИСТЕМЫ"
ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "РАДИОЧАСТОТНЫЕ МИКРОСИСТЕМЫ"
1196196049840
Организация
Организации, учрежденные юридическими лицами или гражданами, или юридическими лицами и гражданами совместно
Общества с ограниченной ответственностью